關于真空泵的發(fā)展,國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,上海工業(yè)真空泵價格,實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,上海工業(yè)真空泵價格,上海工業(yè)真空泵價格,所以應該在國內大力推廣和應用。真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小。上海工業(yè)真空泵價格
歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產干泵的應用還不足1%,國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經濟增長點。上海工業(yè)真空泵價格水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,真空泵是一種旋轉式變容,真空泵必須具有前級泵配合,方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發(fā)出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。噴嘴是影響真空泵性能的重要部件。
水環(huán)真空泵用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡單,維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點,效率低,一般在30%左右,較好的可達50%。真空度低,這不只是因為受到結構上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點,盡管它效率低,仍然得到了普遍的應用。真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。上海工業(yè)真空泵價格
如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。上海工業(yè)真空泵價格
微型真空泵的介質溫度問題。根據(jù)通過泵的介質氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定,完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時,有的高到數(shù)千小時。特別注意,這項參數(shù)是在滿負荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的,是比較惡劣的工況,如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行,該數(shù)值會高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術實力,從產品外觀上可以看出一些,如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產品價格也可略知一二。微型泵的電磁*問題。如果有精密電路控制微型泵,視電路抗*能力而定,可能需要訂購低電磁*的微型泵。上海工業(yè)真空泵價格