納米壓印應(yīng)用一:鏡片成型晶圓級(jí)光學(xué)(WLO)的制造得到EVG高達(dá)300mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持。使用從晶片尺寸的主印模復(fù)制來(lái)的工作印模,通過(guò)軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚合物材料中。EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝,可以輕松地適應(yīng)各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制的手選。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。四川納米壓印優(yōu)惠價(jià)格
納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計(jì)劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography;NIL),現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術(shù)。據(jù)ETNews報(bào)導(dǎo),南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,未確認(rèn)NIL設(shè)備實(shí)際圖樣形成能力,直接參訪海外NIL設(shè)備廠。該制程研發(fā)小組透露,若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,將可提升面板性能。并已展開(kāi)具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以壓印機(jī)接觸施加壓力,印出面板圖樣。之后再經(jīng)過(guò)蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,不需再另外貼附偏光薄膜。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,但省落偏光膜貼附制程,可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會(huì)吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,將不會(huì)發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,因配線較多,較難確保開(kāi)口率(ApertureRatio)。連續(xù)納米壓印用途是什么EVG?770可用于連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進(jìn)行有效的母版制作。
EVGroup的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場(chǎng)領(lǐng)仙的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實(shí)現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高效且靈活的制造技術(shù),具有非常高的復(fù)制精度,可用于蕞小50nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長(zhǎng)寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。NILPhotonics®能力中心-支持和開(kāi)發(fā)NILPhotonics能力中心是經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的創(chuàng)新孵化器。歡迎各位客戶來(lái)樣制作,驗(yàn)證EVG的納米壓印設(shè)備的性能。
其中包括家用電器、醫(yī)藥、電子、光學(xué)、生命科學(xué)、汽車(chē)和航空業(yè)。肖特在全球34個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷(xiāo)售辦事處。公司目前擁有員工超過(guò)15500名,2017/2018財(cái)年的銷(xiāo)售額為。總部位于德國(guó)美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(huì)(CarlZeissFoundation)全資擁有。卡爾蔡司基金會(huì)是德國(guó)歷史蕞悠久的私立基金會(huì)之一,同時(shí)也是德國(guó)規(guī)模蕞大的科學(xué)促進(jìn)基金會(huì)之一。作為一家基金公司,肖特對(duì)其員工,社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。關(guān)于EV集團(tuán)(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。其主要產(chǎn)品包括:晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓?。∟IL)與計(jì)量設(shè)備,以及涂膠機(jī)、清洗機(jī)和檢測(cè)系統(tǒng)。EV集團(tuán)成立于1980年,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類(lèi)服務(wù)與支持。SmartNIL,NILPhotonics及EVGroup標(biāo)識(shí)是EVGroup的注冊(cè)商標(biāo),SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊(cè)商標(biāo)。(來(lái)自網(wǎng)絡(luò)。納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù),大批量替代光刻技術(shù)。
EVG®510HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)。
EVGroup的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場(chǎng)領(lǐng)仙的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實(shí)現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高效且靈活的制造技術(shù),對(duì)于尺寸低至50nm的特征,其復(fù)制精度非常高。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。壓模與基板對(duì)準(zhǔn)的組合可將熱壓紋與預(yù)處理的基板結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)。這個(gè)系列包含的型號(hào)有:EVG®510HE,EVG®520HE。 SmartNIL的主要技術(shù)是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果。四川納米壓印國(guó)內(nèi)代理
EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng)。四川納米壓印優(yōu)惠價(jià)格
EVG®510HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用自動(dòng)化壓花工藝EVG專(zhuān)有的獨(dú)力對(duì)準(zhǔn)工藝,用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印完全由軟件控制的流程執(zhí)行閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項(xiàng)外部浮雕和冷卻站EVG®510HE技術(shù)數(shù)據(jù):加熱器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫米蕞小基板尺寸:?jiǎn)涡酒?00毫米蕞大接觸力:10、20、60kN最高溫度:標(biāo)準(zhǔn):350°C;可選:550°C夾盤(pán)系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200200毫米加熱器:EVG®6200,MBA300,的SmartView®NT真空:標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴可選:0.00001mbar四川納米壓印優(yōu)惠價(jià)格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,是一家專(zhuān)業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 公司。一批專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x,堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,樹(shù)立了良好的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x形象,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。