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干涉測量隔振臺輪廓測量應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2022-03-31

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體帶表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。裝載設(shè)備:掃描電子顯微鏡,如AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統(tǒng),顯微硬度測量儀,醫(yī)療檢測設(shè)備等。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為激光干涉計、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。干涉測量隔振臺輪廓測量應(yīng)用

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地板上沒有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為加速度)加上AVI產(chǎn)品開啟隔振功能后,加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為加速度)HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應(yīng)器LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz.感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。謝謝!瑞士隔振臺原理TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。

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使用AVI系統(tǒng)時,系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處,還是使用未接地的延長電纜,都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全,請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開此設(shè)備之前,請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入通風(fēng)槽。在取下任何蓋子之前,斷開電源。請向合格人員咨詢服務(wù)。不要在可能報炸的環(huán)境中使用。保險絲位于控制單元后側(cè)的電源插座中。未先拔下電源線,不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確保控制單元中的通風(fēng)縫沒有被覆蓋,并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導(dǎo)致過熱,從而引發(fā)火災(zāi)。對于控制單元和隔離元件之間的連接,瑾使用提供的D-Sub 15電纜(m/f)。

手次使用AVI系統(tǒng)時,將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮,16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后,您可以將隔離開關(guān)推到打開位置(黑色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起,表示系統(tǒng)正在隔離。把手輕輕地放在桌面上??赡軙幸粋€或多個LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進(jìn)行復(fù)雜的過程。

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LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。干涉測量隔振臺輪廓測量應(yīng)用

HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動式隔振系統(tǒng)。干涉測量隔振臺輪廓測量應(yīng)用

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時,避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率:1,2-200Hz負(fù)載范圍:0-800公斤(單個):400公斤干涉測量隔振臺輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) ,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),我們相信誠實正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,將為公司和個人帶來共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀行業(yè)出名企業(yè)。