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晶圓隔振臺(tái)用途

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-04

手次使用AVI系統(tǒng)時(shí),將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,16個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時(shí)閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動(dòng)或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后,您可以將隔離開關(guān)推到打開位置(黑色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起,表示系統(tǒng)正在隔離。把手輕輕地放在桌面上??赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。晶圓隔振臺(tái)用途

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主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。測振傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動(dòng)式防震臺(tái)專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。(1)實(shí)際測量的振動(dòng)結(jié)果:AVI主動(dòng)隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。(2)不同負(fù)載下的振動(dòng)傳遞率:AVI的隔振性能在負(fù)載低于30Hz以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。高頻率范圍內(nèi),隨著隔振負(fù)載增加,隔震效果稍有提升。北京中芯國際隔振臺(tái)控制中心有超載指示燈。

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AVI-600/LP的每個(gè)單元均可調(diào)節(jié),以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。對于任何設(shè)置由兩個(gè)單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載,可在+/-90kg之間變化,而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時(shí),請將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF(黑色旋出)。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,并且24個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動(dòng)存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開關(guān)推到ON位置(紅色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將勇久保持亮起,表明系統(tǒng)處于隔離。

    AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率::0-800公斤(單個(gè)):400公斤。 AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。

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AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標(biāo):頻率:1,2-200Hz負(fù)載范圍:0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元,蕞大可以負(fù)載400公斤。

通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長度的單個(gè)模塊。 在納米技術(shù)的時(shí)代,極之微細(xì)的振動(dòng)已對搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境。北京中芯國際隔振臺(tái)

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。晶圓隔振臺(tái)用途

關(guān)鍵詞:主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動(dòng)傳遞率橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù),在10hz頻率以上時(shí),傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02,很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)(實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù))垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減,在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí),蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。晶圓隔振臺(tái)用途

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