F50和F60的晶圓平臺(tái)提供不同尺寸晶圓平臺(tái)。F50晶圓平臺(tái)-100mm用于2"、3"和4"晶圓的F50平臺(tái)組件。F50晶圓平臺(tái)-200mm用于4"、5"、6"和200mm晶圓的F50平臺(tái)組件。F50晶圓平臺(tái)-300mm用于4"、5"、6"、200mm和300mm晶圓的F50平臺(tái)組件。F50晶圓平臺(tái)-450mmF50夾盤組件實(shí)用于4",5",6",200mm,300mm,以及450mm毫米晶片。F50晶圓平臺(tái)-訂制預(yù)訂F50的晶圓平臺(tái),通常在四星期內(nèi)交貨。F60晶圓平臺(tái)-200mm用于4"、5"、6"和200mm晶圓的F60平臺(tái)組件。F60晶圓平臺(tái)-300mm用于4"、5"、6"、200mm和300mm晶圓的F60平臺(tái)組件。測量方式: 紅外干涉(非接觸式)。干涉膜厚儀推薦型號(hào)
氚燈電腦要求60mb硬盤空間50mb空閑內(nèi)存usb接口電源要求100-240vac,50-60hz,a選配以下鏡頭,就可在F20的基礎(chǔ)上升級(jí)為新一代的F70膜厚測量儀。鏡頭配件厚度范圍(Index=)精度光斑大小UPG-F70-SR-KIT15nm-50μmnm標(biāo)配mm(可選配下至20μm)LA-CTM-VIS-1mm50μmmμm5μm150μmmμm10μm產(chǎn)品應(yīng)用,在可測樣品基底上有了極大的飛躍:●幾乎所有材料表面上的鍍膜都可以測量,即使是藥片,木材或紙張等粗糙的非透明基底?!癫AЩ蛩芰系陌宀?、管道和容器?!窆鈱W(xué)鏡頭和眼科鏡片。Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀經(jīng)驗(yàn)**無出其右。干涉膜厚儀推薦型號(hào)厚度范圍: 測量從 1nm 到 13mm 的厚度。 測量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。
F30系列監(jiān)控薄膜沉積,蕞強(qiáng)有力的工具F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k值)和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性。樣品層分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積:可以測量平滑和半透明的,或輕度吸收的薄膜。這實(shí)際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料。各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):極大地提高生產(chǎn)力低成本—幾個(gè)月就能收回成本A精確—測量精度高于±1%快速—幾秒鐘完成測量非侵入式—完全在沉積室以外進(jìn)行測試易于使用—直觀的Windows?軟件幾分鐘就能準(zhǔn)備好的系統(tǒng)型號(hào)厚度范圍*波長范圍F30:15nm-70μm380-1050nmF30-EXR:15nm-250μm380-1700nmF30-NIR:100nm-250μm950-1700nmF30-UV:3nm-40μm190-1100nmF30-UVX:3nm-250μm190-1700nmF30-XT:0.2μm-450μm1440-1690nm
1、激光測厚儀是利用激光的反射原理,根據(jù)光切法測量和觀察機(jī)械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀來測量產(chǎn)品的厚度,是一種非接觸式的動(dòng)態(tài)測量儀器。它可直接輸出數(shù)字信號(hào)與工業(yè)計(jì)算機(jī)相連接,并迅速處理數(shù)據(jù)并輸出偏差值到各種工業(yè)設(shè)備。2、X射線測厚儀利用X射線穿透被測材料時(shí),X射線的強(qiáng)度的變化與材料的厚度相關(guān)的特性,滄州歐譜從而測定材料的厚度,是一種非接觸式的動(dòng)態(tài)計(jì)量儀器。它以PLC和工業(yè)計(jì)算機(jī)為和新,采集計(jì)算數(shù)據(jù)并輸出目標(biāo)偏差值給軋機(jī)厚度控制系統(tǒng),達(dá)到要求的軋制厚度。主要應(yīng)用行業(yè):有色金屬的板帶箔加工、冶金行業(yè)的板帶加工。3、紙張測厚儀:適用于4mm以下的各種薄膜、紙張、紙板以及其他片狀材料厚度的測量。4、薄膜測厚儀:用于測定薄膜、薄片等材料的厚度,測量范圍寬、測量精度高,具有數(shù)據(jù)輸出、任意位置置零、公英制轉(zhuǎn)換、自動(dòng)斷電等特點(diǎn)。5、涂層測厚儀:用于測量鐵及非鐵金屬基體上涂層的厚度.6、超聲波測厚儀:超聲波測厚儀是根據(jù)超聲波脈沖反射原理來進(jìn)行厚度測量的,當(dāng)探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達(dá)材料分界面時(shí),脈沖被反射回探頭,通過精確測量超聲波在材料中傳播的時(shí)間來確定被測材料的厚度。F30-UV測厚范圍:3nm-40μm;波長:190-1100nm。
F3-CS:Filmetrics的F3-CS專門為了微小視野及微小樣品測量設(shè)計(jì),任何人從已線操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測量如聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層厚度.我們具專利的自動(dòng)校正功能大幅縮短測量設(shè)置並可自動(dòng)調(diào)節(jié)儀器的靈敏度,使用免手持測量模式時(shí),只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺(tái)上測量樣品,此時(shí)該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易,軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,N和HT型聚對(duì)二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺的測量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者,可以進(jìn)一步以F3-CS測量折射率,F3-CS可在任何運(yùn)行WindowsXP到Windows864位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行,USB電纜則提供電源和通信功能.F30 系列是監(jiān)控薄膜沉積,蕞強(qiáng)有力的工具。液晶顯示膜厚儀有誰在用
采用Michaelson干涉方法,紅外波段的激光能更好的穿透被測物體,準(zhǔn)確得到測試結(jié)果。干涉膜厚儀推薦型號(hào)
顯微鏡轉(zhuǎn)接器F40系列轉(zhuǎn)接器。Adapter-BX-Cmount該轉(zhuǎn)接器將F40接到OlympusBX或MX上而不必使用Olympus價(jià)格較貴的c-mount轉(zhuǎn)接器。MA-Cmount-F20KIT該轉(zhuǎn)接器將F20連接到顯微鏡上(模仿F40,光敏度低5倍),包括集成攝像機(jī)、光纖、TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標(biāo)準(zhǔn)、F40軟件,和F40手冊。軟件升級(jí):UPG-RT-to-Thickness升級(jí)的厚度求解軟件,需要UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k升級(jí)的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級(jí)的FFT硬涂層厚度測量軟件。包括TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn)。厚度測量范圍0.25um-15um。UPG-RT-to-Color&Regions升級(jí)的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,需要UPG-Spec-to-RT。干涉膜厚儀推薦型號(hào)