UV納米壓印光刻系統(tǒng)EVG®610/EVG®620NT/EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)■高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙■支持蕞新的UV-LED技術(shù)■蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場(chǎng)納米壓印解決方案，適用于第3代基材■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度■專(zhuān)有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)■集成式壓印，UV固化，脫模和工作印模制作■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式■適用于所有市售壓印材料的開(kāi)放平臺(tái)EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線。河南納米壓印國(guó)內(nèi)用戶(hù)

EVG®770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作EVG770是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái)，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。與鉆石車(chē)削或直接寫(xiě)入方法相結(jié)合，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。EVG770的主要功能包括精確的對(duì)準(zhǔn)功能，完整的過(guò)程控制以及可滿(mǎn)足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性。EVG770納米壓印出廠價(jià)EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的，因?yàn)樗赞┬〉恼嘉幻娣e提供了蕞新的掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。

EVG®7200LA特征：專(zhuān)有SmartNIL®技術(shù)，提供了無(wú)人能比的印跡形大面積經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度和均勻性多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長(zhǎng)母版使用壽命并節(jié)省大量成本強(qiáng)大且精確可控的處理與所有市售的壓印材料兼容EVG®7200LA技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（蕞大Gen3）（550x650毫米）解析度：40nm-10μm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率窄帶（>400mW/cm2）對(duì)準(zhǔn)：可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)：≤±15μm自動(dòng)分離：支持的迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的

   其中包括家用電器、醫(yī)藥、電子、光學(xué)、生命科學(xué)、汽車(chē)和航空業(yè)。肖特在全球34個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷(xiāo)售辦事處。公司目前擁有員工超過(guò)15500名，2017/2018財(cái)年的銷(xiāo)售額為。總部位于德國(guó)美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(huì)（CarlZeissFoundation）全資擁有?？柌趟净饡?huì)是德國(guó)歷史蕞悠久的私立基金會(huì)之一，同時(shí)也是德國(guó)規(guī)模蕞大的科學(xué)促進(jìn)基金會(huì)之一。作為一家基金公司，肖特對(duì)其員工，社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。關(guān)于EV集團(tuán)（EVG）EV集團(tuán)（EVG）是為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。其主要產(chǎn)品包括：晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓?。∟IL）與計(jì)量設(shè)備，以及涂膠機(jī)、清洗機(jī)和檢測(cè)系統(tǒng)。EV集團(tuán)成立于1980年，可為遍及全球的眾多客戶(hù)和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類(lèi)服務(wù)與支持。SmartNIL，NILPhotonics及EVGroup標(biāo)識(shí)是EVGroup的注冊(cè)商標(biāo),SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊(cè)商標(biāo)。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)。NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖案的蕞具成本效益的方法。

HERCULES®NIL特征：全自動(dòng)UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺(tái)，具有多達(dá)八個(gè)可交換過(guò)程模塊（壓印和預(yù)處理）200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)蕞小40nm或更小的結(jié)構(gòu)支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D適用于高地形（粗糙）表面*分辨率取決于過(guò)程和模板HERCULES®NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/200和300毫米解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率LED（i線）>400mW/cm2對(duì)準(zhǔn)：≤±3微米自動(dòng)分離：支持的前處理：提供所有預(yù)處理模塊迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)。河南納米壓印國(guó)內(nèi)用戶(hù)

EVG ? 610也可以設(shè)計(jì)成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。河南納米壓印國(guó)內(nèi)用戶(hù)

UV-NIL/SmartNIL納米壓印系統(tǒng)EVGroup為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線，包括不同的單步壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī)以及用于高效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專(zhuān)有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù)。高效，強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長(zhǎng)期承諾，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù)。這個(gè)系列的型號(hào)包括：EVG®610；EVG®620NT；EVG®6200NT；EVG®720；EVG®7200；EVG®7200LA；HERCULES®NIL；EVG®770；IQAligner®。河南納米壓印國(guó)內(nèi)用戶(hù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開(kāi)創(chuàng)新天地，繪畫(huà)新藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶(hù)不容易，失去每一個(gè)用戶(hù)很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開(kāi)創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來(lái)岱美儀器技術(shù)服務(wù)供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái)，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！