HERCULESNIL300mm提供了市場上蕞先近的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn)，包括用于增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實（AR/VR）頭戴式耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備，3D傳感器，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。HERCULES®NIL特征：全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺，具有多達(dá)八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)蕞小40nm或更小的結(jié)構(gòu)支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D適用于高地形（粗糙）表面*分辨率取決于過程和模板。EVG ? 610也可以設(shè)計成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。北京納米壓印代理商

納米壓印光刻（NIL）技術(shù)EVG是納米壓印光刻（NIL）設(shè)備和集成工藝的市場lingxian供應(yīng)商。EVG從19年前的研究方法中率先掌握了NIL，并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導(dǎo)體晶圓到300mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的ZUI有前途且ZUI具成本效益的工藝，可用于生物MEMS，微流體，電子學(xué)以及ZUI近各種衍射光學(xué)元件的各種商業(yè)應(yīng)用。其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號包含：EVG®610EVG®620NTEVG®6200NTEVG®720EVG®7200EVG®7200LAHERCULES®NILEVG®770IQAligner®熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號包含：EVG®510HEEVG®520HE詳細(xì)的參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美有限公司。高精密儀器納米壓印技術(shù)服務(wù)SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能，也具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢，同時保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點。

EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng)，可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細(xì)的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料，以及適用于大眾化市場的晶圓級光學(xué)元件。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球領(lǐng)仙的為微機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商，金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于領(lǐng)仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè)，汽車，消費類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備，例如生物特征身份認(rèn)證，面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心（位于EVG總部，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括領(lǐng)仙技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備，例如分步重復(fù)母版，透鏡模制，以及EVG的SmartNIL®技術(shù)，晶圓鍵合與必要的測量設(shè)備。EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)仙的NIL技術(shù)，可對小于40nm*的極小特征進(jìn)行圖案化，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實現(xiàn)無人可比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù)。注：*分辨率取決于過程和模板。如果需要詳細(xì)的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)，擁有多年技術(shù)，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量化的生產(chǎn)。氮化鎵納米壓印國內(nèi)代理

EVG ? 6200 NT屬于SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。北京納米壓印代理商

納米壓印應(yīng)用二：面板尺寸的大面積納米壓印EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術(shù)的蕞新進(jìn)展，已使納米圖案能夠在面板尺寸蕞大為Gen3（550mmx650mm）的基板上實現(xiàn)。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟(jì)、蕞高效的方法，因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為蕞小的結(jié)構(gòu)提供蕞佳的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。北京納米壓印代理商