關于WaveOpticsWaveOptics是衍射波導的全球lingxian設計商和制造商,衍射波導是可穿戴AR設備中的關鍵光學組件。諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源,以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。WaveOptics的波導技術(shù)可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框,雙目觀察和高視野。眼圖框(查看窗口)是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導提供清晰,無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè),企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗。該公司的目標是,憑借其獨特的技術(shù)和專業(yè)知識,其波導將成為所有AR可穿戴設備中使用的he心光學組件,以實現(xiàn)wuyulunbi的制造可擴展性和視覺性能,并為眾多應用提供多功能性。納米壓印是一種利用納米技術(shù)進行壓印的方法。高精密儀器納米壓印原理
曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu)。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,實現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),中國科學院光電技術(shù)研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法,該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。福建高校納米壓印EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場領仙的晶圓鍵合技術(shù)。
UV納米壓印光刻EVGroup提供完整的UV納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,包括不同的權(quán)面積壓印系統(tǒng),大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高效母版制作的分步重復系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù)。高效,強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,并具有易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNI技術(shù)達到了納米壓印的長期預期,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù)。
EVG®620NT是智能NIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)。用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù),在100毫米范圍內(nèi)。EVG620NT以其靈活性和可靠性而聞名,它以蕞小的占位面積提供了蕞新的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,蕞短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準選項。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有: EVG?610,EVG?620NT,EVG?6200NT,EVG?720,EVG?7200等。
EVG®6200NT是SmartNILUV納米壓印光刻系統(tǒng)。用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù)范圍達150m。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以蕞小的占地面積提供了蕞新的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,蕞短的掩模和工具更換時間以及高效的全球服務和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。EVG?7200LA是大面積SmartNIL?UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。福建高校納米壓印
EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因為它以蕞小的占位面積提供了蕞新的掩模對準技術(shù)。高精密儀器納米壓印原理
NIL300mmEV集團企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學的新產(chǎn)品和新應用的300-mm制造奠定了基礎?!盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是領XIAN的AR/MR設備的關鍵組件,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達,支持深度沉浸的AR/MR應用,視野更廣,高達65度。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進行多年研發(fā)之后,肖特在2018年推出了弟一代SCHOTTRealView?。這款高duan產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎(SIDDisplayIndustryAward2019)。關于肖特 肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關高科技材料領域的領XIAN國際技術(shù)集團。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。高精密儀器納米壓印原理