表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用:一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,蕞終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。二、提高效率:智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),積大提高加工效率。三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供權(quán)面的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀用途是什么
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。襯底輪廓儀國(guó)內(nèi)代理三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。
一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,蕞終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。二、提高效率:智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),積大提高加工效率。
NanoX-80003D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測(cè)量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測(cè)量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動(dòng)鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng):高效長(zhǎng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥μm(與所配物鏡有關(guān))3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測(cè)量范圍:–10mm表面反射率:>(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性:(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<(1σ,10um臺(tái)階高)。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光。
輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測(cè)量范圍蕞大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,檢測(cè)效率會(huì)比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè),以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù);4.測(cè)量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測(cè)到更小的尺寸?如果需要了解更多,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)岱美儀器的官網(wǎng)。輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。高校輪廓儀代理商
NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀用途是什么
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,又可以測(cè)量粗糙度,市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺(tái)式的。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀用途是什么