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青島涂層DLC加工

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-09

DLC涂層簡(jiǎn)介

DLC涂層在在刀具上的應(yīng)用,采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能,從而大幅度提高機(jī)械加工效率。DLC涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時(shí)又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì)。

類金剛石(DLC)涂層是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨涂層使用。

DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術(shù)生產(chǎn),包括物物物理相沉積 (PVD) ,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) ,離子束輔助沉積 (IBAD) ,陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積 (PLD) 。所有這些過(guò)程的共同點(diǎn)是真空環(huán)境,其中高能預(yù)處理碳原子在與基板表面接觸時(shí)會(huì)迅速冷卻。 DLC幾種常見制備方法:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法、脈沖激光沉積法、磁過(guò)濾陰極真空電弧法、磁控濺射法。青島涂層DLC加工

1. 類金剛石碳膜(Diamond-like carbon films,簡(jiǎn)稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等,可較為用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng),并同過(guò)該系統(tǒng)中的磁過(guò)濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來(lái)進(jìn)行DLC膜的開發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)較為用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域,用于摩擦、光學(xué)功能等用途。我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段,有巨大市場(chǎng)潛力。青島壓鑄模具DLC功能1. 類金剛石薄膜(DLC)具有優(yōu)良的摩擦性能和力學(xué)性能,也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性。

1. 為提高船用低速柴油機(jī)柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命,采用離子鍍技術(shù)與多弧磁控耦合鍍膜技術(shù)分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。利用掃描電鏡(SEM)、輪廓儀和X射線衍射儀(XRD)技術(shù)表征了TiN與DLC涂層的微觀形貌、表面粗糙度及物相組成,采用納米壓痕儀檢測(cè)了TiN與DLC涂層的納米硬度及彈性模量;運(yùn)用劃痕法和壓痕法測(cè)試了TiN和DLC涂層的結(jié)合力,通過(guò)往復(fù)磨損試驗(yàn)考察了這2種涂層在空氣中與在重柴油環(huán)境下的摩擦系數(shù),同時(shí)結(jié)合光學(xué)顯微鏡定性評(píng)判TiN和DLC涂層磨損程度,通過(guò)臺(tái)架試驗(yàn)評(píng)價(jià)了TiN涂層與DLC涂層柱塞的實(shí)際磨損情況。結(jié)果表明:這2種涂層晶體生長(zhǎng)良好、結(jié)構(gòu)連續(xù)致密,均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象,DLC涂層相對(duì)光滑,粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm; DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層;無(wú)論在空氣中還是重油環(huán)境下,TiN涂層摩擦系數(shù)均高于DLC涂層,耐磨性低于DLC涂層;臺(tái)架試驗(yàn)后TiN涂層柱塞表面出現(xiàn)比較明顯的平行狀溝槽磨痕,而且整體磨損比較嚴(yán)重,而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺,不易被發(fā)現(xiàn),進(jìn)一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。

1. 類金剛石(DLC)薄膜由于其優(yōu)異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關(guān)節(jié)材質(zhì)中。該文綜述了DLC薄膜在人工關(guān)節(jié)摩擦副表面改性的研究現(xiàn)狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內(nèi)應(yīng)力。介紹了提高DLC膜基結(jié)合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進(jìn)展。接著,對(duì)不同DLC薄膜人工關(guān)節(jié)摩擦副的研究成果進(jìn)行了闡述。然后,針對(duì)DLC薄膜存在的問(wèn)題提出了今后DLC薄膜人造關(guān)節(jié)的研究方向。關(guān)節(jié)置換術(shù)是目前解決關(guān)節(jié)疾病明顯直接、有效的手段,隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的增長(zhǎng),人工關(guān)節(jié)在我國(guó)的需求量不斷增加。通過(guò)比較發(fā)現(xiàn),類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關(guān)節(jié)耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應(yīng)用前景。DLC涂層在醫(yī)療器械的應(yīng)用,以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對(duì)蛋白質(zhì)的吸附率高,對(duì)血小板的吸附率低。

2、DLC摩擦性能DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤(rùn)滑作用,環(huán)境也對(duì)摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來(lái)說(shuō),DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì),這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達(dá)0.13-0.15的摩擦系數(shù)。DLC適合用于各種醫(yī)療器械、精密五金零配件、五金電子零件及汽車、摩托車零配件、航天航空配件、新能源等。河北壓鑄模具DLC產(chǎn)品介紹

在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動(dòng)機(jī)中,DLC的活塞環(huán)可在無(wú)潤(rùn)滑油的干摩擦下起到好的潤(rùn)滑和耐磨減磨作用。青島涂層DLC加工

1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨(dú)特的性質(zhì)。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。

2. 利用DLC來(lái)制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。

3. 甲烷濃度對(duì)DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢(shì)。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時(shí),薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段增透效果。 青島涂層DLC加工

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標(biāo)簽: 氮化鉻 DLC 氮化鈦 PVD涂層