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DLC涂層的主要性能1、力學(xué)性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達(dá)50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達(dá)21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度。薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個(gè)重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜比較好具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強(qiáng)度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強(qiáng)度,在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強(qiáng)度達(dá)44N-74N,制備的膜導(dǎo)總體厚度可達(dá)5um。?DLC是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,是耐磨涂層。鎮(zhèn)江鍍黑DLC檢測
DLC涂層的高硬度,防粘連及自潤滑性是有色金屬鉆孔,攻牙,鏡面銑削加工刀具理想的防護(hù)涂層,它在解決粘刀,粘著磨損方面比普通涂層有更出色的表現(xiàn),這涂層刀具的使用壽命是普通刀具的數(shù)倍,加工出來的產(chǎn)品光潔度更高。由于DLC具有極低的摩擦系數(shù)(0.06~0.1)和自潤滑性,涂以DLC的刀具是干切削的比較好選擇。與沒有涂層的刀具相比,在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降6%;。與其它涂層的刀具相比(如涂以TiN,TiAlN),在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降23%;同樣也是因?yàn)镈LC的低摩擦系數(shù)可使金屬切削(鋁合金切削)的切削力大為下降,從而部分降低能源消耗。鎮(zhèn)江涂層DLC加工中心DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺,不易被發(fā)現(xiàn),進(jìn)一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。
1.類金剛石薄膜(DLC)具有優(yōu)良的摩擦性能和力學(xué)性能,也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性,可被廣泛應(yīng)用于骨科、心血管和牙科等領(lǐng)域,是一種很有前途的生物醫(yī)學(xué)材料。
2.實(shí)驗(yàn)結(jié)論表明DLC有著較好的抗凝血性能,并且與其他醫(yī)用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發(fā)現(xiàn)DLC抑菌能力并不突出,但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數(shù)等措施使其成為較為理想的無機(jī)抑菌薄膜材料。兩種性能的結(jié)合使DLC可能成為人體植入材料的表面鍍層。
1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時(shí),薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段增透效果。類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結(jié)合強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)。
DLC熱穩(wěn)定性由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料,熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應(yīng)用的一個(gè)重要因素,在300℃以上退火時(shí)即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變,為此,人們進(jìn)行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn):Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性,含20at%Si的DLC膜在740℃退火時(shí)才出現(xiàn)sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩(wěn)定性。
耐腐蝕性純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續(xù)性所致。 DLC涂層在模具上的應(yīng)用,其他零部件:軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動(dòng)滾輪等。無錫防銹DLC加工中心
DLC是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時(shí)又具有石墨結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì)。鎮(zhèn)江鍍黑DLC檢測
1. 為避免刀具過熱發(fā)生變形影響加工精度和延長其使用壽命,通常使用切削液。要解決減少或免除切削液帶來的問題,刀具鍍層不僅應(yīng)使刀具具有長壽命,且應(yīng)有自潤滑的功能。類金剛石涂層DLC的出現(xiàn)在對某些材料的機(jī)械加工方面顯示出優(yōu)勢,但經(jīng)過多年的研究表明類金剛石涂層DLC的內(nèi)應(yīng)力高、熱穩(wěn)定性差和與黑色金屬間的觸媒效應(yīng)使SP3結(jié)構(gòu)向SP2轉(zhuǎn)變等三種缺點(diǎn),決定了它目前只能應(yīng)用于加工有色金屬,因而限制了它在機(jī)加工方面的進(jìn)一步應(yīng)用。鎮(zhèn)江鍍黑DLC檢測
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