利用常壓化學(xué)氣相沉積法(APCVD)以四氯化鈦(TiCl4)和氨氣(NH3)作為反應(yīng)物在玻璃基板上沉積制備了氮化鈦(TiN)薄膜.分別用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、四探針電阻儀和分光光度計(jì)等對(duì)TiN薄膜的結(jié)晶性能、微觀結(jié)構(gòu)、表面形貌和光學(xué)、電學(xué)性能進(jìn)行了分析.結(jié)果表明,制備的TiN薄膜厚度為500nm,具有NaCl型面心立方結(jié)構(gòu)并表現(xiàn)出(200)晶面的擇優(yōu)取向,薄膜的晶粒大小分布均勻.在可見光區(qū)的透射率達(dá)到60%,反射率小于10%.在近紅外光區(qū)的反射率達(dá)到80%。氮化鈦摩擦系數(shù)較低，可作為高溫潤(rùn)滑劑。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦

氮化鈦陶瓷涂層具有的金黃色外表，涂覆于刀具之上雖擁有優(yōu)化外觀的好處，但主要作用卻并非是為了裝飾，其具有的硬度值在韋氏硬度（HV）高達(dá)2500以上，涂覆于刀具上的厚度一般為3至5微米，相較于未進(jìn)行涂層加工的原產(chǎn)品具有更高的耐磨性和耐熱性，使用壽命也更長(zhǎng)。將這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)中的機(jī)械設(shè)備上，例如在齒輪滾刀上涂覆氮化鈦其壽命可延長(zhǎng)3至4倍，在切削齒輪時(shí)可將切削速度或進(jìn)給量提高更多，從而減少材料機(jī)加工時(shí)間。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)涂層高速刀具的使用率已占高速刀具的70%，汽車行業(yè)中幾乎全部都采用涂層高速鋼刀來加工齒輪，其滾削速度可達(dá)70~150m/㎜。刀具氮化鈦鍍黑鈦19. 氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結(jié)構(gòu)，屬面心立方點(diǎn)陣，晶格常數(shù)a=0.4241nm。

40、氮化鈦(TiN)薄膜獨(dú)特的性能不僅在機(jī)械工業(yè)和商品的表面裝飾行業(yè)上有著適合的應(yīng)用,而且在臨床制品及人工替換領(lǐng)域也展示了潛在的應(yīng)用前景.研究利用大功率偏壓電源的多弧離子鍍技術(shù),采用工具鍍工藝,在Ti-6Al-4V合金材料表面制備了TiN薄膜.用X射線光電子能譜檢測(cè)證明了所制備的薄膜確為TiN機(jī)械性能測(cè)試表明:具有TiN涂層樣品的顯微硬度較為高于Ti合金基材,同時(shí)耐磨性能也明顯得到改善。40、氮化鈦是一種新型多功能材料，具有高硬度、高耐磨性以及高抗氧化性等優(yōu)點(diǎn)，可以作為耐磨涂層使用，同時(shí)氮化鈦涂層的顏色與黃金極為相似，可以沉積在首飾或燈具表面用作裝飾涂層，有著適合的應(yīng)用。在上世紀(jì)70年代，氮化鈦涂層成功應(yīng)用于刀具等切割加工工具上，促進(jìn)了刀具加工行業(yè)的發(fā)展。刀具涂層的常用制備方法為物物理相沉積法(PVD)和化學(xué)氣相沉積法(CVD)兩大類，也是氮化鈦涂層的常用制備方法，具體細(xì)分又有許多種。

薄膜材料簡(jiǎn)介制造業(yè)中高速切削和干式切削等先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展對(duì)刀具提出了較高的要求，作為刀具涂層的薄膜材料TiN不僅要具有較高的硬度，而且要具有優(yōu)良的耐磨性、耐熱性、韌性和良好的化學(xué)穩(wěn)定性等。硬質(zhì)薄膜表面涂層可以實(shí)現(xiàn)上述要求。硬質(zhì)薄膜表面涂層通常指為提高構(gòu)件表面耐磨性、耐腐蝕性、耐高溫性而涂覆于構(gòu)件表面的膜層，厚度為幾納米到幾十微米，材料通常是一些由過渡族金屬與非金屬構(gòu)成的金屬間化合物等。這些化合物一般由金屬鍵、共價(jià)鍵、離子鍵，以及離子鍵和金屬鍵的混合鍵鍵合，具有熔點(diǎn)高、硬度大的特征，通常還具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性?；谝陨咸卣骱蛢?yōu)點(diǎn)，硬質(zhì)薄膜表面涂層已被廣泛應(yīng)用于航空、工模具、電子等加工領(lǐng)域，并且在刀具、模具等方面有力推動(dòng)了制造業(yè)的發(fā)展。氮化鈦是第一種產(chǎn)業(yè)化并被廣泛應(yīng)用的硬質(zhì)薄膜材料。氮化鈦薄膜具有硬度高、耐磨、耐熱、耐腐蝕等特性[1]，為面心立方晶體結(jié)構(gòu)，由金屬鍵、共價(jià)鍵和離子鍵混合而成，同時(shí)具有金屬晶體和共價(jià)晶體的特性。氮化鈦的熔點(diǎn)高于大多數(shù)過渡金屬氮化物，密度低于大多數(shù)金屬氮化物，從而成為一種獨(dú)特的耐火材料。

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號(hào)傳輸，減小功耗，有必要對(duì)后段工藝進(jìn)行改進(jìn)，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質(zhì)濃度和晶體結(jié)構(gòu)三大薄膜電阻影響因素出發(fā)系統(tǒng)研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實(shí)結(jié)構(gòu)中的各種性質(zhì)，重點(diǎn)是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長(zhǎng)，制備循環(huán)次數(shù)的選擇對(duì)薄膜雜質(zhì)濃度、晶體結(jié)構(gòu)及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實(shí)結(jié)構(gòu)中物理形貌、晶體結(jié)構(gòu)和電阻性能的表現(xiàn)和規(guī)律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實(shí)際應(yīng)用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測(cè)試證明PT作用下雜質(zhì)濃度降低，同時(shí)晶體生長(zhǎng)，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時(shí)間和深度，較厚薄膜需多循環(huán)制備以充分處理，發(fā)現(xiàn)薄膜厚度較小時(shí)(本實(shí)驗(yàn)條件下為4nm)，增加循環(huán)次數(shù)雖然進(jìn)一步降低了雜質(zhì)濃度，但會(huì)引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測(cè)發(fā)現(xiàn)由于等離子體運(yùn)動(dòng)的各向異性，真實(shí)結(jié)構(gòu)中PT效率在側(cè)壁遠(yuǎn)低于頂部和底部，這導(dǎo)致側(cè)壁薄膜在PT后更厚。TiN作催化劑載體，可通過提高貴金屬鉑利用率、增強(qiáng)金屬-載體間相互作用、促進(jìn)質(zhì)量/電荷轉(zhuǎn)移及增強(qiáng)耐腐蝕。杭州鍍黑氮化鈦價(jià)格

氮化鈦還可以作為金色涂料應(yīng)用于首飾行業(yè);可以作為替代WC的潛在材料，使材料的應(yīng)用成本大幅度降低。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦

40、氮化鈦涂層所具有的硬度值在維氏硬度（HV）2500以上，在刀具上涂敷3~5微米的氮化鈦涂層，刀具就能擁有更高的耐磨性和耐熱性，大幅度提高刀具壽命和切削加工效率。例如，齒輪滾刀經(jīng)氮化鈦涂敷后壽命能延長(zhǎng)3~4倍，因而可在切削齒輪時(shí)可提高切削速度，從而減少了加工時(shí)間和成本。氮化鈦的涂層沉積工藝為物物理相沉積（PVD），是在真空條件下將鈦蒸發(fā)，并與氮發(fā)生反應(yīng)在刀具表面形成一層非常硬的復(fù)合薄膜。這種加工過程較為重要的特征是在加工時(shí)溫度適合保持在350℃左右，因而高速鋼刀具的固有特性及尺寸都不會(huì)受到影響。氮化鈦涂層刀具由于其優(yōu)異性能，很快在工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家得以推廣使用，并為機(jī)械加工行業(yè)帶來巨大的經(jīng)濟(jì)效益。日本是該領(lǐng)域的靠前者之一，許多日本的刀具公司都能供應(yīng)含有氮化鈦涂層的產(chǎn)品，其中有些賣給了歐洲部分國(guó)家和美國(guó)，多數(shù)進(jìn)入了日本本國(guó)市場(chǎng)。我國(guó)對(duì)氮化鈦涂層刀具的使用起步較晚，但已有不少廠家開始推廣使用，經(jīng)濟(jì)效益極為可觀。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦

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