激光干涉位移傳感器激光干涉儀:超精密皮米位移傳感器可實時測量位移、運動和振動,并具有10MHz的數(shù)據(jù)帶寬。一個控制器可連接三個傳感測頭。
認證精度穩(wěn)定的激光源可確保在納米范圍內獲得認證的重復性和準確性。PTB(德國聯(lián)邦物理技術研究院)已正式測試井證明了lDS3010的高精度。此外,每個IDS3010都是NIST可追蹤的。大距離范圍IDS3010夠進行從幾毫米到30m的動態(tài)位移測量。高達10Mhz的高帶寬,即使在遠距離情況下也可以進行振動檢測。緊湊和模塊設計IDS3010控制器和傳感器頭的基于光纖的微型化設計允許集成到空間受限的系統(tǒng)中。它的模塊化使更換和重新安排變得容易。真空兼容傳感頭和光纖甚至可以在極端環(huán)境下工作,例如高真空,超高真空,低溫或輻射惡劣的環(huán)境。 馬波斯測量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎您的來電哦!江西stil傳感器技術
什么是光譜共焦技術?
光譜共焦位移傳感器提供比較好的技術以滿足非接觸尺寸測量**苛刻的要求?;谑褂每臻g彩色編碼的創(chuàng)新光學原理,光譜共焦傳感器使用戶能夠以非凡的精確度對任何類型的材料進行測量。傳感器適用于絕大多數(shù)行業(yè):計量或研究實驗室中的高精度儀器,工業(yè)生產線上的質量控制。用于工業(yè)環(huán)境中的設計,傳感器的各系列,吸引集成器與測量檢測機器輕松連接,這歸功于為每臺儀器提供的動態(tài)鏈接庫(DLL)。
光譜共焦成像基于2個原則:l共焦成像l光軸的彩色編碼。
共焦裝置是一種光學裝置,光學系統(tǒng)在物體的表面上產生點光源S的圖像S’。反向散射光由相同的光學系統(tǒng)收集,該光學系統(tǒng)在***S’’處成像。***被置于光電探測器的前面,它過濾可以到達光電探測器的光線,因此它也被稱為“空間濾波器”。共焦裝置的特點是具有特殊的信噪比。按照CCI原理,光學系統(tǒng)是彩色光學頭,光電探測器是一個光譜儀。 江西stil傳感器技術馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,竭誠為您。
而光譜共焦測量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點。通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應一個精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。白色光通過一個半透鏡面到達凸透鏡。上述特殊色差就在這里產生。光線照射到被測物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡,返回到傳感器探頭內的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個穿孔蓋板上,小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜,也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強,在CCD感光矩陣上產生一個明顯的波峰。在穿孔蓋板后面,需要一個分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個特制光柵,可以根據(jù)反射光的波長,增強或減弱折射率。因此,CCD矩陣上的每一個位置,對應一個測量物體到探頭的距離。
什么是靜態(tài)噪聲?
靜態(tài)噪聲(StaticNoise,簡稱SN),位于測量范圍中心、完全靜態(tài)的樣品測得的噪聲級別的RMS。我們的參數(shù)表給出了兩個SN值:一個沒有時間平均值,另一個時間平均值為10。這是比較大可接受值。校準后立即測量每個傳感器的SN,并在校準證書中指定。該參數(shù)決定了傳感器的軸向分辨率。
什么是測量精度?測量精度,是將傳感器測量的距離與1納米精度的編碼器確定的樣本位置進行比較時觀察到的比較大誤差。
校準后,此參數(shù)立即如下條件下測量:優(yōu)化率,傾斜角度=0°,時間平均=測量頻率/10,采樣步數(shù)至少為100。對于“自適應LED”模式的傳感器,此模式已啟用。精度對于傳感器和校準臺的短期重復來說是個良好指標。表中的數(shù)值為比較大可接受值:每個傳感器的準確度在校準后立即測量,并在校準證書中指示。測量精度,是將傳感器測量的距離與1納米精度的編碼器確定的樣本位置進行比較時觀察到的比較大誤差。 馬波斯測量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,期待您的光臨!
非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種利用氣體動靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運動平面度及平順性,特別適用于高精度檢測以及超精加工領域。
對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量?直線電機高精度龍門運動機構?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量?共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴展至300mm12英寸產品)?晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動化測量模式?直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測量參數(shù)及標準 馬波斯提供非接觸式傳感器(測量力小)在內的多種傳感器,以及顯象或測量計算機。黑龍江stil傳感器原理
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Zenith 采樣頻率:400 Hz - 5000 Hz
主要優(yōu)勢穩(wěn)定通過15位編碼增強性能,提供測量值穩(wěn)定性非接觸非接觸式技術適用于所以不接觸被測產品的情況下進行測量。
全材料光譜共焦技術可測量各種能夠反射的材料(例如:金屬、玻璃、塑料、漆膜、液體等)。
適配可更換的MARPOSSSTIL光學筆:CL-MG/OP/Endo/Everest系列同步主從模式的多傳感器測量,編碼器觸發(fā)功能。
應用
汽車玻璃
玻璃容器
和包裝行業(yè)(PCB)電子工業(yè)、3C、半導體行業(yè)(硅片)、精密儀器行業(yè)、電動車行業(yè)(電池) 江西stil傳感器技術
馬波斯(上海)測量設備科技有限公司坐落在宜山路2000號利豐廣場,Block棟,C102單元,是一家專業(yè)的馬波斯提供一系列從加工過程檢測工具到刀具在線監(jiān)測等機床領域檢測系統(tǒng),包含了磨削、切割、沖壓成型、壓鑄等。也為手動與自動尺寸檢測提供了一套完整的解決方案。 馬波斯也提供生產線完整性測試,包含:無損及裝配測試與泄漏測試。除外,馬波斯為數(shù)據(jù)采集與分析、工業(yè)控制、生產與工廠自動化提供了硬件與軟件,為客戶提供生產效率,從而降低生產成本。公司。一批專業(yè)的技術團隊,是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎,是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。公司業(yè)務范圍主要包括:機床領域檢測系統(tǒng),標準與非標尺寸檢測,泄漏與裝配測試,工業(yè)電腦與軟件等。公司奉行顧客至上、質量為本的經營宗旨,深受客戶好評。一直以來公司堅持以客戶為中心、機床領域檢測系統(tǒng),標準與非標尺寸檢測,泄漏與裝配測試,工業(yè)電腦與軟件市場為導向,重信譽,保質量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。