【濺射的四要素】：①靶材物質(zhì)，②電磁場，③底物，④一整套完整配備的鍍膜設(shè)備 【濺射收益】：1)離子每一次撞擊靶材時，靶材所釋放出的靶材原子；2)影響濺射收益的因素： ①等離子體中離子動能, ②入射離子的入射角度; 3)Zui大濺射收益的決定因素：①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質(zhì); 4)入射角度的影響因素 ①由電場決定,②靶材表面于入射源的相對角度。 【濺射率】： 定義：每單位時間內(nèi)靶材物質(zhì)所釋放出的原子個數(shù)。 濺射率的影響因素：①離子動能（取決于電源電壓和氣體壓力）②等離子密度（取決于氣體壓力和電流）。統(tǒng)計學(xué)公式：Rs(統(tǒng)計學(xué))=d/t。 注：濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間，因此在腔室內(nèi)所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜，久之會產(chǎn)生污染。所以真空濺射腔室內(nèi)必須進行定期清潔。 真空鍍膜設(shè)備技術(shù)教程。北京pvd真空鍍膜設(shè)備公司

【光譜分光不良的補救（補色）之其他情況】： 分光不良分為二種情況：一是全部膜系鍍制完成后，經(jīng)測試分光不良，此類不良主要按六節(jié)所述方法處理，一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷（包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷）造成的分光不良，一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確，補救成功率比較高。 中斷的原因形式之其他情況： 對于用錯程序，錯誤操作（預(yù)熔未關(guān)閉擋板等）人為中斷需要補救的；以及反光膜、濾光膜鍍后需要補救的情況處理方案： 模擬：將實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設(shè)計程序的優(yōu)化目標值。通過計算機模擬（一般是Zui后一層的膜厚確認），找到與實現(xiàn)測試值結(jié)果相應(yīng)的膜系數(shù)據(jù)。 優(yōu)化：根據(jù)模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，輸入產(chǎn)品要求的優(yōu)化目標值，通過加層、優(yōu)化后續(xù)膜層的方法，重新優(yōu)化設(shè)計一個補救膜系。 試鍍：確認、完善補救膜系效果 補救鍍：完成補救工作 北京pvd真空鍍膜設(shè)備公司真空鍍膜設(shè)備參數(shù)怎么調(diào)？

【真空鍍膜改善基片與膜的結(jié)合】： 1. 加強去油去污處理，如是超聲波清洗，重點考慮去油，若是手擦，考慮先用碳酸鈣粉擦再清擦； 2. 加強鍍前烘烤； 3. 有條件時，機組安裝冷凝及（POLYCOLD）； 4. 提高真空度； 5. 有條件時，機組安裝離子源； 6. 膜料的去潮； 7. 保持工作環(huán)境的干燥； 8. 對于多層膜，在膜系設(shè)計時，就要考慮第yi層膜與基片的匹配； 9. 采取研磨液復(fù)新去除鏡片表面的腐蝕層； 10. 有時候適當(dāng)降低蒸發(fā)速率對膜強度的提高有幫助，對提高膜表面光滑度有積極意義。

【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜內(nèi)白霧】： 白霧形成在膜內(nèi)，無法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片臟 2. 鏡片表面腐蝕污染 3. 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配 4. 氧化物充氧不夠 5. 第yi層氧化鋯膜料，可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象 6. 基片進罩前（洗凈后）受潮氣污染 7. 洗凈或擦拭不良，洗凈痕跡，擦拭痕跡 8. 真空室臟、水汽過重 9. 環(huán)境濕度大 改善對策：基片本身的問題可能時主要的鍍膜室盡量彌補，鍍膜本身Zui大的可能室膜料匹配問題。 1. 改進膜系，第yi層不用氧化鋯 2. 盡量減少真空室開門時間 3. 真空室在更換護板、清潔后，Zui好能空罩抽真空烘烤一下，更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈 4. 改善環(huán)境 5. 妥善保護進罩前在傘片上的鏡片，免受污染 6. 改善洗凈、擦拭效果 7. 改善膜匹配（考慮第yi層用Al2O3） 8. 改善膜充氧和蒸發(fā)速率（降低） 9. 加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。 10. 拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。 真空鍍膜設(shè)備故障維修技巧有哪些？

【真空鍍膜設(shè)備之真空的獲得】： 真空泵：真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 A、粗真空泵（Rough Vacuum Pump）：一般用于抽粗真空，有油泵和 干泵。從結(jié)構(gòu)上可分幾種： 旋轉(zhuǎn)葉片泵：油泵，極限真空可達10&3Torr，抽速1~650CFM 隔膜泵：干泵，極限真空1Torr左右，抽速<10CFM 往復(fù)式活塞泵：干泵，極限真空10&2Torr，抽速6~32CFM 渦旋式真空泵：干泵，極限真空10&2Torr，抽速12~25CFM 螺旋泵：干泵，極限真空10&3Torr，抽速30~318CFM 真空鍍膜設(shè)備抽真空步驟。河南小型真空鍍膜設(shè)備

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【真空蒸鍍的歷史】：1857年Michael FaradayZui早提出基本原理，而后、1930年代由于油擴散式真空泵實用化、蒸鍍主要用于制作鏡片防反射膜。第二次世界大戰(zhàn)時，其他的光學(xué)機器對材料的需求提高，真空蒸鍍也因此快速發(fā)展。 【真空蒸鍍的原理】：在真空狀態(tài)下，加熱蒸發(fā)容器中的靶材，使其原子或分子逸出，沉積在目標物體表面，形成固態(tài)薄膜。依蒸鍍材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 誘導(dǎo)、雷射等加熱方式。蒸鍍材料有鋁、亞鉛、金、銀、白金、鎳等金屬材料與可產(chǎn)生光學(xué)特性薄膜的材料，主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物與氟化物。蒸鍍除金屬外，樹脂與玻璃也可以使用、近年來連紙也變成可蒸鍍。 【蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)缺點】： 優(yōu)點：設(shè)備簡單、容易操作；成膜的速率快，效率高。 缺點：薄膜的厚度均勻性不易控制，蒸發(fā)容器有污染的隱患，工藝重復(fù)性不好，附著力不高。 北京pvd真空鍍膜設(shè)備公司