【光學(xué)真空鍍膜之電子qiang蒸鍍系統(tǒng)注意事項】 光學(xué)真空鍍膜機(jī)電子qiang蒸鍍法比傳統(tǒng)熱電阻式加熱法的熱轉(zhuǎn)換效率高而秏能少,對蒸鍍材料的選擇方面受限較少。以純元素之蒸鍍而言,電阻式蒸鍍受限于加熱溫度,多半只從事鋁、鉻、金、銀等少數(shù)幾種薄膜,電子束蒸鍍則可制鍍高熔點(diǎn)材料如鎢、鉬等金屬和活性甚強(qiáng)的鈦、鈮等金屬,即便是很難使用濺鍍技術(shù)制備的磁性材料如鐵、鈷、鎳等金屬,亦能夠蒸鍍出品質(zhì)良好的薄膜。為了顧及薄膜純度,在操作技巧上純元素之蒸鍍通常采取高真空度與高蒸鍍速率的鍍膜條件?;衔锊牧先缪趸?、硫化物、氮化物及氟化物等皆可使用電子qiang蒸鍍方式,部份材料在被電子束加熱蒸發(fā)過程中會因高熱而發(fā)生解離現(xiàn)象,這也是蒸鍍法的主要缺點(diǎn),通常是采用反應(yīng)式蒸鍍方式解決,為了確保薄膜形成時缺乏的部份能利用基板高溫在反應(yīng)過程將其補(bǔ)足,在操作上鍍膜速率必須適切地降低。部分屬于絕緣性的化合物在連續(xù)被電子轟擊時會有負(fù)電荷累積問題,使得后續(xù)電子受負(fù)電位排斥而無法完全抵達(dá)待鍍材料表面,因此坩堝座在電路設(shè)計上是使其呈接地電位,以協(xié)助累積之負(fù)電荷順利導(dǎo)出,這在小型坩堝是相當(dāng)有效,但對大型坩堝則很難避免有些許鍍膜速率不穩(wěn)定情形。 光學(xué)鍍膜機(jī)常見故障及解決方法。河南開發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)
【光學(xué)真空設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域】 光學(xué)真空鍍膜設(shè)備是現(xiàn)代光學(xué)和光電系統(tǒng)*重要的組成部分,在光通信、光顯示、激光加工、激光融合等高技術(shù)和工業(yè)領(lǐng)域,技術(shù)突破往往成為現(xiàn)代光學(xué)和光電子系統(tǒng)加速發(fā)展的主要原因。光學(xué)鍍膜的技術(shù)性能和可靠性直接影響到應(yīng)用系統(tǒng)的性能、可靠性和成本。 光學(xué)鍍膜其他方面有很多的應(yīng)用,比方說,平時戴的眼鏡、數(shù)碼相機(jī)、各式家電用品,或者是鈔票上的防偽技術(shù),皆能被稱之為光學(xué)鍍膜技術(shù)應(yīng)用之延伸。倘若沒有光學(xué)鍍膜技術(shù)作為發(fā)展基礎(chǔ),近代光電、通訊或是鐳射技術(shù)將無法有所進(jìn)展,這也顯示出光學(xué)鍍膜技術(shù)研究發(fā)展的重要性。 光學(xué)鍍膜系指在光學(xué)元件或du立基板上,制鍍上或涂布一層或多層介電質(zhì)膜或金屬膜或這兩類膜的組合,以改變光波之傳遞特性,包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改變。故經(jīng)由適當(dāng)設(shè)計可以調(diào)變不同波段元件表面之穿透率及反射率,亦可以使不同偏振平面的光具有不同的特性。 廣東光馳光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜機(jī)真空四個階段。
【鍍膜玻璃的主要產(chǎn)生法之化學(xué)沉積法】化學(xué)氣相沉積(chemical vapour deposition, CVD) 是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物或單質(zhì)氣體,供給基板,利用氣相反應(yīng),在基板表面上反應(yīng)沉積出所需固體薄膜的工藝技術(shù),該技術(shù)已成為鍍膜玻璃生產(chǎn)的主要制備技術(shù)。 在線CVD法鍍膜技術(shù),是在浮法玻璃生產(chǎn)過程中,連續(xù)沉積化合物薄膜的CVD工藝技術(shù),是目前世界上比較先進(jìn)的鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)。它是以潔凈、高速牽引(8-15m/min)、高溫(600℃)的浮法玻璃為沉積襯底。換言之,薄膜沉積前,玻璃襯底即將離開錫槽但尚未進(jìn)人退火窯,且未被處理凈化。國外*早采用在線CVD法連續(xù)沉積Sn02薄膜,而我國*早是用該法生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃。目前,我國已基本掌握了在線CVD法鍍膜技術(shù),能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃、在線Low-E玻璃和在線自潔凈玻璃。在線鍍膜玻璃生產(chǎn)線包括:原料→熔窯→錫槽→退火窯→切割→裝箱。
【光學(xué)鍍膜之何為物理蒸鍍】物理蒸鍍就是把物質(zhì)加熱揮發(fā),然后將其蒸氣沉積在預(yù)定的基材上。由于蒸發(fā)源須加熱揮發(fā),又是在真空中進(jìn)行,故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。 其可分為三個步驟 (1)凝態(tài)的物質(zhì)被加熱揮發(fā)成汽相 (2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 (3)蒸汽在基材上冷卻凝結(jié)成薄膜 膜厚的量測方法有哪些呢, 大致上可分為原位量測、離位量測兩類:原位星測系指鍍膜進(jìn)行中量測,普遍使用在物理qi相沉積,如微天平、光學(xué)、電阻量測。 離位量測系指鍍膜完成后量測,對電鍍膜的行使較為普遍,具有了解電鍍效率的目的,如質(zhì)量、剖面計、掃描式電子顯微鏡。 成都國泰光學(xué)鍍膜機(jī)怎么樣?
【光學(xué)薄膜的研究新進(jìn)展之金剛石薄膜及類金剛石薄膜】金剛石被認(rèn)為是自然界中*硬的物質(zhì)。在自然界中,碳以3種同位素異型體的形式存在,非晶態(tài)的炭黑、六方片狀結(jié)構(gòu)的石墨和立方體的金剛石。金剛石薄膜具有高硬度、高密度、熱導(dǎo)率高、全波段透光率高、高絕緣、抗輻射、化學(xué)惰性強(qiáng)和耐高溫、彈性模量大,摩擦系數(shù)jin為0.05。金剛石薄膜的高熱導(dǎo)率、高摩擦系數(shù)和良好的透光性也使其常作為導(dǎo)彈的整流罩材料。 類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)薄膜是碳的一種非晶態(tài),它含有大量的sp3鍵,硬度超過金剛石硬度20%的絕緣硬質(zhì)無定形碳膜,被稱為類金剛石膜,類金剛石膜具有高硬度、高電阻率、熱傳導(dǎo)率高、化學(xué)惰性強(qiáng)、良好的光學(xué)性能等,同時又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳膜。隨著人們研究的深入,人們發(fā)現(xiàn)類金剛石膜具有很大的研究價值和廣fan的應(yīng)用前景,引起學(xué)術(shù)界極大興趣。美國已經(jīng)將類金剛石薄膜材料作為國家21世紀(jì)的戰(zhàn)略材料之一。 光學(xué)鍍膜機(jī)的相關(guān)資料。廣東光馳光學(xué)鍍膜機(jī)
光學(xué)鍍膜機(jī)抽真空步驟。河南開發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)
【光學(xué)鍍膜之CVD化學(xué)氣相沉積法反應(yīng)可以分為哪些步驟】 (1)不同成份氣相前置反應(yīng)物由主流氣體進(jìn)來,以擴(kuò)散機(jī)制傳輸基板表面。理想狀況下,前置物在基板上的濃度是零,亦即在基板上立刻反應(yīng),實(shí)際上并非如此。 (2)前置反應(yīng)物吸附在基板上,此時仍容許該前置物在基板上進(jìn)行有限程度的表面橫向移動。 (3)前置物在基板上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生沉積物的化學(xué)分子,然后經(jīng)積聚成核、遷移、成長等步驟,*后聯(lián)合一連續(xù)的膜。 (4)把多余的前置物以及未成核的氣體生成物去吸附。 (5)被去吸附的氣體,以擴(kuò)散機(jī)制傳輸?shù)街髁鳉庀?,并?jīng)傳送排出。 河南開發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)
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