【真空鍍膜磁控濺射法】: 濺射鍍膜Zui初出現(xiàn)的是簡單的直流二極濺射,它的優(yōu)點是裝置簡單,但是直流二極濺射沉積速率低;為了保持自持放電,不能在低氣壓(<0.1 Pa)下進(jìn)行;不能濺射絕緣材料等缺點限制了其應(yīng)用。 磁控濺射是由二極濺射基礎(chǔ)上發(fā)展而來,在靶材表面建立與電場正交磁場,解決了二極濺射沉積速率低,等離子體離化率低等問題,成為目前鍍膜工業(yè)主要方法之一。磁控濺射與其它鍍膜技術(shù)相比具有如下特點:可制備成靶的材料廣,幾乎所有金屬,合金和陶瓷材料都可以制成靶材;在適當(dāng)條件下多元靶材共濺射方式,可沉積配比精確恒定的合金;在濺射的放電氣氛中加入氧、氮或其它活性氣體,可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體分子的化合物薄膜;通過精確地控制濺射鍍膜過程,容易獲得均勻的高精度的膜厚;通過離子濺射靶材料物質(zhì)由固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子態(tài),濺射靶的安裝不受限制,適合于大容積鍍膜室多靶布置設(shè)計;濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點,很適合于大批量,高效率工業(yè)生產(chǎn)。近年來磁控濺射技術(shù)發(fā)展很快,具有代表性的方法有射頻濺射、反應(yīng)磁控濺射、非平衡磁控濺射、脈沖磁控濺射、高速濺射等。 真空鍍膜設(shè)備使用時,需要注意哪些問題?河南真空鍍膜設(shè)備制造商
【離子鍍的歷史】: 真空離子鍍膜技術(shù)是近幾十年才發(fā)展起來的一種新的鍍膜技術(shù)。在離子鍍技術(shù)興起的40多年來取得了巨大的進(jìn)步,我國也有將近30多年的離子鍍研究進(jìn)程。 【離子鍍的原理】: 蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱為離子鍍。蒸發(fā)源接陽極,工件接陰極,當(dāng)通以三至五千伏高壓直流電以后,蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生輝光放電。由于 真空罩內(nèi)充有惰性氬氣,在放電電場作用下部分氬氣被電離,從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負(fù)高壓的吸引,猛烈地轟擊工件表 面,致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出,從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后,接通蒸發(fā)源交流電源,蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā),進(jìn)入輝光放電區(qū)并 被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子,在陰極吸引下,隨同氬離子一同沖向工件,當(dāng)拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘 附于工件表面的鍍層。 【離子鍍的優(yōu)缺點】: 優(yōu)點:膜層附著力好,膜層致密,具有繞度性能,能在形狀復(fù)雜的零件表面鍍膜。 缺點:離子鍍的應(yīng)用范圍不廣;膜與基體間存在較寬的過渡界面。會有氣體分子吸附。廣西磁控濺射真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備詳細(xì)鍍膜方法。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜強(qiáng)度】: 膜強(qiáng)度時鏡片鍍膜的一項重要指標(biāo),也是鍍膜工序Zui常見的不良項。 膜強(qiáng)度的不良(膜弱)主要表現(xiàn)為: 1. 擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生成片脫落 2. 擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生點狀脫落 3. 水煮15分鐘后用專yong膠帶拉撕產(chǎn)生點狀或片狀脫落 4. 用專yong橡皮頭、1Kg力摩擦40次,有道子產(chǎn)生 5. 膜層擦拭或未擦拭出現(xiàn)龜裂紋、網(wǎng)狀細(xì)道子 改善思路:基片與膜層的結(jié)合是首要考慮的,其次是膜表面硬度光滑度以及膜應(yīng)力。
【真空鍍膜改善薄膜應(yīng)力】: 1. 鍍后烘烤,Zui后一層膜鍍完后,烘烤不要馬上停止,延續(xù)10分鐘“回火”。讓膜層結(jié)構(gòu)趨于穩(wěn)定。 2. 降溫時間適當(dāng)延長,退火時效。減少由于真空室內(nèi)外溫差過大帶來的熱應(yīng)力。 3. 對高反膜、濾光膜等在蒸鍍過程中,基片溫度不宜過高,高溫易產(chǎn)生熱應(yīng)力。并且對氧化鈦、氧化鉭等膜料的光學(xué)穩(wěn)定性有負(fù)面影響。 4. 鍍膜過程離子輔助,減少應(yīng)力。 5. 選擇合適的膜系匹配,第yi層膜料與基片匹配。 6. 適當(dāng)減小蒸發(fā)速率。 7. 對氧化物膜料全部充氧反應(yīng)鍍,根據(jù)不同膜料控制氧進(jìn)氣量。 真空鍍膜設(shè)備真空四個階段。
【光學(xué)鍍膜的目的】:
&反射率的提高或透射率的降低
&反射率的降低或透射率的提高
&分光作用:中性分光、變色分光、偏極光分光
&光譜帶通、帶止及長波通或短波通之濾光作用
&相位改變
&液晶顯示功能之影顯
&色光顯示、色光反射、偽chao及有價證券之防止
&光波的引導(dǎo)、光開關(guān)及集體光路
a. 在膜層中,波的干涉結(jié)果,如R%, T%都是與膜質(zhì)本身和兩邊界邊的折射率率有關(guān)系,相位變化也是如此。
b. 由于干涉作用造成的反射率有時升高,有時反而降低,都要視磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,則反射率會提高(Ns為基底),若Nf
真空鍍膜設(shè)備培訓(xùn)資料。河南真空鍍膜設(shè)備制造商
在復(fù)雜背景下,我國機(jī)械及行業(yè)設(shè)備急需加快轉(zhuǎn)型升級,向全球產(chǎn)業(yè)鏈、價值鏈的中高端環(huán)節(jié)發(fā)展;企業(yè)要強(qiáng)化管理,積極攻克高端領(lǐng)域,夯實發(fā)展基礎(chǔ),重視創(chuàng)新驅(qū)動,加快結(jié)構(gòu)調(diào)整和升級。機(jī)械企業(yè)常常利用虛擬制造技術(shù)來提升反應(yīng)能力,而虛擬制造技術(shù)也是機(jī)械制造領(lǐng)域中最重點的技術(shù)。對現(xiàn)代化私營有限責(zé)任公司企業(yè)來說,具備敏捷的反應(yīng)能力是未來努力的方向。在我國經(jīng)濟(jì)步入發(fā)展新常態(tài)后,光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備行業(yè)也處于新舊增長模式轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵時期,實施轉(zhuǎn)換的獨一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展。通過機(jī)器人替代、軟件信息化、柔性化生產(chǎn)等方式,生產(chǎn)型企業(yè)可實現(xiàn)上下游信息透明、協(xié)作設(shè)計與生產(chǎn),提升了生產(chǎn)服務(wù)的質(zhì)量與效率。河南真空鍍膜設(shè)備制造商
四川錦成國泰真空設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)高品質(zhì)管理的追求。錦成國泰擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備。錦成國泰致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。錦成國泰創(chuàng)始人陳喬,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。