【光學(xué)鍍膜之良好的薄膜需要具備哪些特性】 通俗的定義為在正常狀況下,其應(yīng)用功能不會失效。想要達(dá)到這個目的,一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的內(nèi)應(yīng)力、針kong密度很少、夠強的機械性能、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學(xué)侵蝕性。薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響,隨后的熱處理亦扮演重要角色。 沉積的薄膜有內(nèi)應(yīng)力的存在,其來源為: (1)薄膜和基材之間的晶格失配 (2)薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異 (3)晶界之間的互擠 光學(xué)鍍膜機的主要應(yīng)用。山西sit2050光學(xué)鍍膜機
【光學(xué)薄膜制備技術(shù)之物理qi相學(xué)沉積(PVD)】 物理qi相沉積法,簡單地說是在真空環(huán)境中加熱薄膜材料使其成為蒸汽,蒸汽再凝結(jié)到溫度相對低的基片上形成薄膜。根據(jù)膜料汽化方式的不同,又分為熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍及離子輔助鍍技術(shù)。 1) 熱蒸發(fā):光學(xué)薄膜器件主要采用真空環(huán)境下的熱蒸發(fā)方法制造,此方法簡單、經(jīng)濟、操作方便。 2) 濺射:指用高速正離子轟擊膜料(靶)表面,通過動量傳遞,使其分子或原子獲得足夠的動能而從靶表面逸出(濺射),在被鍍件表面凝聚成膜。其膜層附著力強,純度高,可同時濺射多種不同成分的合金膜或化合物。 3) 離子鍍:兼有熱蒸發(fā)的高成膜速率和濺射高能離子轟擊獲得致密膜層的雙優(yōu)效果,離子鍍膜層附著力強、致密。離子鍍常見類型:蒸發(fā)源和離化方式。 4) 離子輔助鍍:在熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中增設(shè)離子發(fā)生器—離子源,產(chǎn)生離子束,在熱蒸發(fā)進(jìn)行的同時,用離子束轟擊正在生長的膜層,形成致密均勻結(jié)構(gòu)(聚集密度接近于1),使膜層的穩(wěn)定性提高,達(dá)到改善膜層光學(xué)和機械性能。 浙江精密光學(xué)鍍膜機廣東光學(xué)鍍膜機廠家。
【減反射膜的原理】 減反射膜是以光的波動性和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。二個振幅相同,波長相同的光波疊加,那么光波的振幅增強;如果二個光波原由相同,波程相差,如果這二個光波疊加,那么互相抵消了。 1)振幅條件:膜層材料的折射率必須等于鏡片片基材料折射率的平方根。 2)位相條件:膜層厚度應(yīng)為基準(zhǔn)光的1/4波長。d=λ/4 λ=555nm時,d=555/4=139nm 對于減反射膜層,許多眼鏡片生產(chǎn)商采用人眼敏感度較高的光波(波長為555nm)。當(dāng)鍍膜的厚度過?。ā?39nm),反射光會顯出淺棕黃色,如果呈藍(lán)色則表示鍍膜的厚度過厚( 〉139nm)。鍍膜反射膜層的目的是要減少光線的反射,但并不可能做到?jīng)]有反射光線。鏡片的表面也總會有殘留的顏色,我們也會發(fā)現(xiàn)殘留顏色在鏡片凸面與凹面的曲率不同也使鍍膜的速度不同,因此在鏡片中yang部分呈綠色,而在邊緣部分則為淡紫紅色或其它顏色。 3)鍍減反射膜技術(shù) :有機鏡片鍍膜的難度要比玻璃鏡片高。玻璃材料能夠承受300 °C以上的高溫,而有機鏡片在超過100 °C時便會發(fā)黃,隨后很快分解。
【光學(xué)真空鍍膜之電子qiang蒸鍍系統(tǒng)注意事項】 光學(xué)真空鍍膜機電子qiang蒸鍍法比傳統(tǒng)熱電阻式加熱法的熱轉(zhuǎn)換效率高而秏能少,對蒸鍍材料的選擇方面受限較少。以純元素之蒸鍍而言,電阻式蒸鍍受限于加熱溫度,多半只從事鋁、鉻、金、銀等少數(shù)幾種薄膜,電子束蒸鍍則可制鍍高熔點材料如鎢、鉬等金屬和活性甚強的鈦、鈮等金屬,即便是很難使用濺鍍技術(shù)制備的磁性材料如鐵、鈷、鎳等金屬,亦能夠蒸鍍出品質(zhì)良好的薄膜。為了顧及薄膜純度,在操作技巧上純元素之蒸鍍通常采取高真空度與高蒸鍍速率的鍍膜條件?;衔锊牧先缪趸?、硫化物、氮化物及氟化物等皆可使用電子qiang蒸鍍方式,部份材料在被電子束加熱蒸發(fā)過程中會因高熱而發(fā)生解離現(xiàn)象,這也是蒸鍍法的主要缺點,通常是采用反應(yīng)式蒸鍍方式解決,為了確保薄膜形成時缺乏的部份能利用基板高溫在反應(yīng)過程將其補足,在操作上鍍膜速率必須適切地降低。部分屬于絕緣性的化合物在連續(xù)被電子轟擊時會有負(fù)電荷累積問題,使得后續(xù)電子受負(fù)電位排斥而無法完全抵達(dá)待鍍材料表面,因此坩堝座在電路設(shè)計上是使其呈接地電位,以協(xié)助累積之負(fù)電荷順利導(dǎo)出,這在小型坩堝是相當(dāng)有效,但對大型坩堝則很難避免有些許鍍膜速率不穩(wěn)定情形。 成都光學(xué)鍍膜機的生產(chǎn)廠家。
【鍍膜玻璃的主要產(chǎn)生法之化學(xué)沉積法】化學(xué)氣相沉積(chemical vapour deposition, CVD) 是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物或單質(zhì)氣體,供給基板,利用氣相反應(yīng),在基板表面上反應(yīng)沉積出所需固體薄膜的工藝技術(shù),該技術(shù)已成為鍍膜玻璃生產(chǎn)的主要制備技術(shù)。 在線CVD法鍍膜技術(shù),是在浮法玻璃生產(chǎn)過程中,連續(xù)沉積化合物薄膜的CVD工藝技術(shù),是目前世界上比較先進(jìn)的鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)。它是以潔凈、高速牽引(8-15m/min)、高溫(600℃)的浮法玻璃為沉積襯底。換言之,薄膜沉積前,玻璃襯底即將離開錫槽但尚未進(jìn)人退火窯,且未被處理凈化。國外*早采用在線CVD法連續(xù)沉積Sn02薄膜,而我國*早是用該法生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃。目前,我國已基本掌握了在線CVD法鍍膜技術(shù),能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃、在線Low-E玻璃和在線自潔凈玻璃。在線鍍膜玻璃生產(chǎn)線包括:原料→熔窯→錫槽→退火窯→切割→裝箱。 光學(xué)鍍膜機故障解決方法?浙江精密光學(xué)鍍膜機
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【鍍膜玻璃的主要產(chǎn)生法之真空磁控濺射法】磁控濺射法的生產(chǎn)方式包括間歇式和連續(xù)式生產(chǎn)法,其中連續(xù)式生產(chǎn)法又可分為水平和垂直連續(xù)式生產(chǎn)兩種。其中,水平連續(xù)式生產(chǎn)法是玻璃基片在水平輸送過程中完成全部加工工藝的生產(chǎn)方式,以具有3個濺射室的雙端機。 磁控濺射鍍膜的優(yōu)點主要有:①對靶材的面積和形狀不作要求,且可實現(xiàn)大面積鍍膜,且膜層均勻性好、膜厚可控、濺射工藝重復(fù)性好;②可用的膜材廣fan,只要能做成靶材的任何材料都可實現(xiàn)濺射,因此可制備絕大多數(shù)材料的薄膜,包括合金和化合物等;③薄膜與基片的附著力強,膜層純度高、致密;④成膜速度快,生產(chǎn)效率高。 山西sit2050光學(xué)鍍膜機
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