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來源: 發(fā)布時間:2024-07-16

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避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔20相對較小,因此可以有效減少工藝原料的浪費,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同時,由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少,可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度,使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化,進而提高工藝質(zhì)量。需要說明的是,內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔體10內(nèi),但內(nèi)反應(yīng)腔20和外腔體10處于可連通狀態(tài),并非完全隔絕,當對外腔體10進行抽真空處理時,內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)也同時進行抽真空操作。外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20處于相互連通的狀態(tài),只是在外腔體10內(nèi)劃分出了一個立體空間以進行工藝反應(yīng)。本實施方式中,參照圖2,所述外腔體10包括寶來利真空底板11和沿所述寶來利真空底板11周向設(shè)置的寶來利真空側(cè)壁12;所述內(nèi)反應(yīng)腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向設(shè)置的第二側(cè)壁22;所述寶來利真空底板11與所述第二底板21相互分離設(shè)置,所述寶來利真空側(cè)壁12與所述第二側(cè)壁22相互分離設(shè)置;寶來利真空側(cè)壁12與蓋設(shè)于所述寶來利真空側(cè)壁12上的密封蓋板30密閉連接,所述第二側(cè)壁22與所述密封蓋板30相互分離設(shè)置。該結(jié)構(gòu)中,相當于用第二底板21和第二側(cè)壁22在外腔體10中分割出一個更小的空間。浙江2350真空鍍膜機供應(yīng)商品質(zhì)真空鍍膜機膜層致密,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!

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真空鍍膜設(shè)備在操作過程中,膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當、磁場設(shè)計不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下:距離問題:靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化,會影響濺射的均勻性。磁場設(shè)計問題:磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場的設(shè)計,如果磁場分布和強度不均,則會導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問題:如乙炔在反應(yīng)濺射過程中引入不均,也會導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問題,可以考慮以下方案:調(diào)整靶材與基片間的距離:確保兩者間距離適宜,以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場設(shè)計:通過改善和優(yōu)化磁場的分布及強度,提高靶材表面離子轟擊的均勻性,進而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材:在濺射過程中,改變它們的相對位置和角度,使得材料能夠更均勻地分布在基片上。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,貨架鍍膜,有需要可以咨詢!上海瞄準鏡真空鍍膜機廠家直銷

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