本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)：目前，真空設(shè)備，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）和pvd（physicalvaporde****ition，物寶來(lái)利相沉積）設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來(lái)利真空反應(yīng)室通常為單個(gè)反應(yīng)腔室，傳動(dòng)部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個(gè)反應(yīng)腔室內(nèi)，這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉，容易造成工藝環(huán)境污染。另外，設(shè)置單個(gè)反應(yīng)腔室時(shí)，由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大，容易造成工藝所需原料的浪費(fèi)，同時(shí)，還會(huì)造成工藝反應(yīng)過(guò)程中溫度波動(dòng)大，不可控因素較多，從而影響工藝過(guò)程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型的寶來(lái)利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室，以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個(gè)反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問(wèn)題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：一種真空反應(yīng)腔室，包括：用于提供真空環(huán)境的外腔體。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，五金制品鍍膜，有需要可以咨詢(xún)！江蘇防水真空鍍膜機(jī)供應(yīng)商

還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖：圖1為本實(shí)施例中一種真空鍍膜設(shè)備的主視示意圖；圖2為本實(shí)施例中圖1中a處的放大示意圖；圖3為本實(shí)施例中圖1中b處的放大示意圖；圖4為本實(shí)施例中頂蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和***更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的部分實(shí)施例，而不是全部實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的如圖1和圖2所示，構(gòu)造一種真空鍍膜設(shè)備，包括鍍膜機(jī)1；鍍膜機(jī)1底部設(shè)有出氣管11；出氣管11上設(shè)有寶來(lái)利真空連接套12；寶來(lái)利真空連接套12上設(shè)有第二連接套2；第二連接套2中設(shè)有頂蓋22，頂蓋22與寶來(lái)利真空連接套12之間通過(guò)磁吸連接；第二連接套2遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有抽氣管3；抽氣管3遠(yuǎn)離第二連接套2一側(cè)設(shè)有真空泵4；抽氣管3內(nèi)靠近真空泵4一側(cè)設(shè)有寶來(lái)利真空過(guò)濾網(wǎng)41；抽氣管3遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有沉降組件；在抽真空時(shí)，按下開(kāi)關(guān)13，啟動(dòng)真空泵4，電磁鐵122通電產(chǎn)生與磁片223相同的磁性，利用磁鐵的原理。磁控濺射真空鍍膜機(jī)工廠直銷(xiāo)品質(zhì)真空鍍膜機(jī)，請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司，可鍍爐內(nèi)金，有需要來(lái)咨詢(xún)！

結(jié)合圖1和圖2所示，頂蓋22遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有動(dòng)觸點(diǎn)224；第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點(diǎn)123，靜觸點(diǎn)123位于寶來(lái)利真空凹槽21與抽氣管3之間；動(dòng)觸點(diǎn)224與外部電源電性連接；靜觸點(diǎn)123與氣缸53電性連接；利用動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123的接觸來(lái)控制氣缸53的運(yùn)行，防止氣缸53長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，節(jié)約能源。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖1所示，鍍膜機(jī)1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開(kāi)關(guān)13及換向器；開(kāi)關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接；換向器與電磁鐵122電性連接；利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來(lái)改變磁極，進(jìn)行頂蓋22的打開(kāi)與閉合。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖4所示，頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225；便于在抽氣時(shí)氣體的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。

避免工藝污染，提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室，作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔20相對(duì)較小，因此可以有效減少工藝原料的浪費(fèi)，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同時(shí)，由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少，可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度，使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化，進(jìn)而提高工藝質(zhì)量。需要說(shuō)明的是，內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔體10內(nèi)，但內(nèi)反應(yīng)腔20和外腔體10處于可連通狀態(tài)，并非完全隔絕，當(dāng)對(duì)外腔體10進(jìn)行抽真空處理時(shí)，內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)也同時(shí)進(jìn)行抽真空操作。外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20處于相互連通的狀態(tài)，只是在外腔體10內(nèi)劃分出了一個(gè)立體空間以進(jìn)行工藝反應(yīng)。本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D2，所述外腔體10包括寶來(lái)利真空底板11和沿所述寶來(lái)利真空底板11周向設(shè)置的寶來(lái)利真空側(cè)壁12；所述內(nèi)反應(yīng)腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向設(shè)置的第二側(cè)壁22；所述寶來(lái)利真空底板11與所述第二底板21相互分離設(shè)置，所述寶來(lái)利真空側(cè)壁12與所述第二側(cè)壁22相互分離設(shè)置；寶來(lái)利真空側(cè)壁12與蓋設(shè)于所述寶來(lái)利真空側(cè)壁12上的密封蓋板30密閉連接，所述第二側(cè)壁22與所述密封蓋板30相互分離設(shè)置。該結(jié)構(gòu)中，相當(dāng)于用第二底板21和第二側(cè)壁22在外腔體10中分割出一個(gè)更小的空間。寶來(lái)利螺桿真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細(xì)膩有光澤，有需要可以來(lái)咨詢(xún)！

真空鍍膜機(jī)在使用過(guò)程中需要定期進(jìn)行哪些維護(hù)和保養(yǎng)工作？這些工作對(duì)真空鍍膜機(jī)的性能和壽命有何影響？真空鍍膜機(jī)在使用過(guò)程中需要定期進(jìn)行的維護(hù)和保養(yǎng)工作主要包括以下幾個(gè)方面：清洗設(shè)備：定期清洗真空鍍膜機(jī)內(nèi)部，特別是鍍膜室、蒸發(fā)舟等關(guān)鍵部件，以去除積累的塵埃、殘留物和其他雜質(zhì)。這有助于保持設(shè)備的清潔度，提高膜層的均勻性和質(zhì)量。檢查真空系統(tǒng)：定期檢查真空系統(tǒng)的密封性和抽氣效率，確保鍍膜過(guò)程中能夠達(dá)到所需的真空度。這有助于減少氣體殘留對(duì)膜層質(zhì)量的影響。更換易損件：根據(jù)設(shè)備使用情況和廠家建議，定期更換易損件，如蒸發(fā)舟、熱屏蔽板等。這有助于確保設(shè)備的穩(wěn)定性和延長(zhǎng)使用壽命。校準(zhǔn)設(shè)備參數(shù)：定期對(duì)真空鍍膜機(jī)的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)，包括真空度、沉積速度、溫度等。這有助于確保設(shè)備處于比較好工作狀態(tài)，提高膜層的均勻性和穩(wěn)定性。這些維護(hù)和保養(yǎng)工作對(duì)真空鍍膜機(jī)的性能和壽命具有重要影響。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，餐具鍍膜，有需要可以咨詢(xún)！浙江燈管真空鍍膜機(jī)推薦貨源

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