雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式*包含一個**的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式**是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當將說明書作為一個整體,各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。蒸發(fā)鍍膜機離子鍍膜機車燈鍍膜機寶來利真空BLL多弧離子PVD鍍膜設(shè)備CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線蒸發(fā)鍍膜機離子鍍膜機車燈鍍膜機汽車燈具,高等燈具反光碗的鍍膜,通過蒸鍍,硅油保護膜一次性完成,具有寶來利真空的反射率和耐腐蝕性能。丹陽市寶來利真空機電有限公司多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種鍍膜技術(shù),將各種氣體寶來利真空BLL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn)。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,衛(wèi)浴產(chǎn)品鍍膜,有需要可以咨詢!浙江手機屏真空鍍膜機哪家便宜
結(jié)合圖1和圖2所示,頂蓋22遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有動觸點224;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點123,靜觸點123位于寶來利真空凹槽21與抽氣管3之間;動觸點224與外部電源電性連接;靜觸點123與氣缸53電性連接;利用動觸點224與靜觸點123的接觸來控制氣缸53的運行,防止氣缸53長時間運行,節(jié)約能源。在進一步的實施例中,結(jié)合圖1所示,鍍膜機1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)13及換向器;開關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接;換向器與電磁鐵122電性連接;利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來改變磁極,進行頂蓋22的打開與閉合。在進一步的實施例中,結(jié)合圖4所示,頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225;便于在抽氣時氣體的排出。應(yīng)當理解的是,對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進或變換,而所有這些改進和變換都應(yīng)屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。浙江工具真空鍍膜機推薦貨源品質(zhì)真空鍍膜機,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢!
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真空鍍膜設(shè)備在操作過程中,膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當、磁場設(shè)計不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下:距離問題:靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化,會影響濺射的均勻性。磁場設(shè)計問題:磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場的設(shè)計,如果磁場分布和強度不均,則會導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問題:如乙炔在反應(yīng)濺射過程中引入不均,也會導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問題,可以考慮以下方案:調(diào)整靶材與基片間的距離:確保兩者間距離適宜,以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場設(shè)計:通過改善和優(yōu)化磁場的分布及強度,提高靶材表面離子轟擊的均勻性,進而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材:在濺射過程中,改變它們的相對位置和角度,使得材料能夠更均勻地分布在基片上。品質(zhì)真空鍍膜機膜層致密,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
本實用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時,由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,裝飾鍍膜,有需要可以咨詢!1200真空鍍膜機廠家
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進一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機械模塊部件、工藝模塊部件和本實用新型所述的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi),部分所述機械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實用新型實施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實用新型提供的真空反應(yīng)腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;并且,內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動門,工件自外腔體經(jīng)自動門進入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當于設(shè)置了兩個腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動門進入內(nèi)反應(yīng)腔中進行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應(yīng)區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對較小。浙江手機屏真空鍍膜機哪家便宜