以專門作為工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20。寶來利真空底板11、寶來利真空側(cè)壁12、第二底板21和第二側(cè)壁22均可由金屬材料組成，其中，第二底板21和第二側(cè)壁22則優(yōu)先選用熱傳導效果較好的金屬材料組成，例如可選不銹鋼或鋁合金等材料。除上述結(jié)構(gòu)形式外，外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20還可以共用一個底板，真空鍍膜設(shè)備用一圈隔離板對外腔體10進行分割即可。但為了將內(nèi)反應(yīng)腔20的空間盡可能地縮小到所需范圍，且真空鍍膜設(shè)備大限度地降低非必要的空間，該實施方式中設(shè)置了寶來利真空底板11和第二底板21相互分離的設(shè)置結(jié)構(gòu)，以在垂直方向上縮小內(nèi)反應(yīng)腔20的空間。其中，寶來利真空底板11、寶來利真空側(cè)壁12和密封蓋板30三者相互密閉連接共同構(gòu)成了與外部大氣隔離的具有封閉結(jié)構(gòu)的外腔體10。而內(nèi)反應(yīng)腔20則位于該外腔體10之內(nèi)，但是第二側(cè)壁22與密封蓋板30之間并未形成封閉式接觸，兩者之間屬于分離式設(shè)計結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)也就使得外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間在仍屬于相互連通的結(jié)構(gòu)構(gòu)造，用該結(jié)構(gòu)可以將真空設(shè)備中的部分構(gòu)件分離，將工藝過程中非必要的機械結(jié)構(gòu)部件設(shè)置于外腔體10中，而與工藝反應(yīng)相關(guān)的結(jié)構(gòu)部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中。在工藝反應(yīng)過程中，由于工藝反應(yīng)區(qū)的壓力要大于外腔體10中的壓力。 寶來利光學纖維真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細膩有光澤，有需要可以來咨詢！江蘇金屬涂層真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商家

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因此，即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通，但外腔體10中的污染物也很難進入到內(nèi)反應(yīng)腔20中，從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此，外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境，因此，當對外腔體10進行抽真空處理時，內(nèi)反應(yīng)腔20也同時進行抽真空處理。本實施方式中，自動門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上，所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13，所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后，自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在，經(jīng)檢測若有工件存在，則控制自動門打開，工件在傳送裝置的作用下進入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動門控制器再控制自動門關(guān)閉。可以理解的是，傳送裝置包括轉(zhuǎn)動軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動軸上的傳送帶，以及驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)，例如電機。其中，傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺相對應(yīng)。繼續(xù)參照圖2，為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控，第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對所述內(nèi)反應(yīng)腔20進行控溫的溫控裝置，以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。 江蘇金屬涂層真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商家