所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空反應(yīng)腔室,其結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20;所述內(nèi)反應(yīng)腔20的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門23,所述自動(dòng)門23連接自動(dòng)門控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動(dòng)門23進(jìn)入所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。本實(shí)施方式提供的真空反應(yīng)腔室,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔20為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內(nèi)反應(yīng)腔20中的區(qū)域?yàn)楣に嚪磻?yīng)區(qū),形成相對(duì)封閉的工藝環(huán)境,相關(guān)工藝反應(yīng)在內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動(dòng)門23進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,效果佳,有需要可以咨詢!浙江雙門真空鍍膜設(shè)備工廠直銷
這樣就可以及時(shí)打開密封門,將基板取出準(zhǔn)備下一次鍍膜,能夠有效防止鍍膜材料噴濺,且省去坩堝降溫的時(shí)間,提高了工作效率。(2)、該高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,通過腔體左側(cè)的頂部固定連接有電機(jī),并且電機(jī)輸出軸的一端固定連接有雙向螺紋桿,雙向螺紋桿表面的兩側(cè)且位于腔體的內(nèi)部均螺紋連接有活動(dòng)塊,兩個(gè)活動(dòng)塊的底部均固定連接有限位板,電機(jī)工作能夠調(diào)整兩個(gè)限位板之間的距離,使限位板能夠固定不同大小的基板,擴(kuò)大了適用范圍,適用性更強(qiáng),提高了實(shí)用性。附圖說明圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的立體圖;圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的剖視圖;圖3為本實(shí)用新型圖2中a處的局部放大圖;圖4為本實(shí)用新型寶來利真空密封蓋結(jié)構(gòu)的立體圖;圖5為本實(shí)用新型第二密封蓋結(jié)構(gòu)的立體圖。圖中:1腔體、2基板、3坩堝、4支撐腿、5密封門、6支撐板、7防護(hù)框、8寶來利真空滑軌、9活動(dòng)板、10寶來利真空伸縮桿、11第二伸縮桿、12寶來利真空密封蓋、13第二密封蓋、14加熱板、15降溫板、16電機(jī)、17雙向螺紋桿、18活動(dòng)塊、19限位板、20第二滑軌、21抽風(fēng)機(jī)、22風(fēng)管。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然。 燈管真空鍍膜設(shè)備推薦廠家品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層不易褪色,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖1可得,沉降組件包括沉降管51、擠壓管52、氣缸53及水箱55;沉降管51安裝在抽氣管3上;擠壓管52安裝在沉降管51遠(yuǎn)離真空泵4的側(cè)壁上、且擠壓管52與沉降管51之間連通;水箱55安裝在真空泵4與擠壓管52中間、且水箱55與擠壓管52之間連通;氣缸53安裝在擠壓管52遠(yuǎn)離沉降管51一側(cè);擠壓管52內(nèi)設(shè)有活塞54;氣缸53的伸縮軸穿過擠壓管52并與活塞54連接;通過擠壓活塞54,對(duì)擠壓管52內(nèi)的水?dāng)D壓,使其噴出到沉降管51中,沉降粉塵。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖1和圖3可得,沉降管51遠(yuǎn)離擠壓管52一側(cè)設(shè)有出水口;出水口上設(shè)有塞蓋511;擠壓管52靠近沉降管51處設(shè)有第二過濾網(wǎng)521;當(dāng)沉降管51內(nèi)水過多時(shí),打開塞蓋511排出廢水及粉塵,第二過濾網(wǎng)521用于防止粉塵進(jìn)行擠壓管52中污染水源。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖2所示,頂蓋22側(cè)壁設(shè)有寶來利真空凸塊221;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁靠近頂蓋22處設(shè)有寶來利真空凹槽21;寶來利真空凸塊221嵌于寶來利真空凹槽21中;頂蓋22遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)與寶來利真空凹槽21靠近抽氣管3一側(cè)通過彈簧連接;寶來利真空凸塊221與寶來利真空凹槽21配合用于對(duì)頂蓋22的移動(dòng)方向進(jìn)行限位,保證其準(zhǔn)確的蓋在出氣管11口上。在進(jìn)一步的實(shí)施例中。
結(jié)合圖1和圖2所示,頂蓋22遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有動(dòng)觸點(diǎn)224;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點(diǎn)123,靜觸點(diǎn)123位于寶來利真空凹槽21與抽氣管3之間;動(dòng)觸點(diǎn)224與外部電源電性連接;靜觸點(diǎn)123與氣缸53電性連接;利用動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123的接觸來控制氣缸53的運(yùn)行,防止氣缸53長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,節(jié)約能源。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖1所示,鍍膜機(jī)1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)13及換向器;開關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接;換向器與電磁鐵122電性連接;利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來改變磁極,進(jìn)行頂蓋22的打開與閉合。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖4所示,頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225;便于在抽氣時(shí)氣體的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是,對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換,而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。 寶來利3D鏡頭真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細(xì)膩有光澤,有需要可以來咨詢!
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