掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。掃描電子顯微鏡已被普遍應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,*在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。掃描電鏡可進(jìn)行樣品的原位動態(tài)觀察和特定環(huán)境實(shí)驗(yàn),在材料、納米、冶金、機(jī)械、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有普遍的用途。浙江推薦的掃描電鏡公司
掃描電鏡在化學(xué)中的應(yīng)用 掃描電鏡技術(shù)在材料學(xué)的應(yīng)用十分普遍,比如,可用掃描電鏡觀察研究薄膜傳感器壓阻的靈敏度,用于觀測碳化硅顆粒增強(qiáng)的鋁基復(fù)合材料的界面反應(yīng)產(chǎn)物的形貌。 五、在工業(yè)中的應(yīng)用 1)在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用 由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機(jī)械性能鈔好,因而適用的范圍廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。 一般半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程中包括了切割、研磨,拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列序,正是在這些過程中,會造成表而的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化,所以幾乎每一 個步驟都需對擴(kuò)散區(qū)的深度進(jìn)行測量或者直接看到擴(kuò)散區(qū)的實(shí)際分布情況,而生產(chǎn)大型集成電路更是如此。因此,掃描電鏡被普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,比如,用于質(zhì) 量監(jiān)控與公益診斷、器件分析、失效分析和可靠性研究、電子材料研制分析等。廣東靠譜的掃描電鏡拍照掃描電鏡不用于創(chuàng)建圖像的光,因?yàn)樗纬稍斐傻恼掌窃诤谏桶咨?/p>
掃描電子顯微鏡電子器發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過較為后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(Au E)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。
掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能,是用途較為為普遍的一種儀器,它可以觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1~100 nm范圍內(nèi),在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景,將成為未來材料研究的重點(diǎn)方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率,現(xiàn)已普遍用于觀察納米材料。掃描電鏡樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。
掃描電鏡技術(shù)在醫(yī)學(xué)形態(tài)學(xué)的研究中已成為不可缺少的科研工具與手段。在醫(yī)學(xué)中,掃描電鏡技術(shù)應(yīng)用于疾病模型、培養(yǎng)細(xì)胞或組織鑒定、傷情診斷,藥理作用與效果 的觀察、疑難病癥的電鏡診斷等。比如,應(yīng)用掃描電鏡對人腦原發(fā)性膠質(zhì)瘤的瘤細(xì)胞和問質(zhì)的超微形態(tài)特征進(jìn)行研究直觀地觀察到瘤組織內(nèi)各種成分之間的相互關(guān)系, 以供鑒別診斷。4)古生物學(xué) 古生物學(xué)是研究過去的生物及其發(fā)展的科學(xué)。掃描電鏡技術(shù)不*能夠研究微體古生物整體形態(tài),而目可以深入現(xiàn)察殼體內(nèi)細(xì)小突起的數(shù)量關(guān)系及分布轉(zhuǎn)點(diǎn),為古生物群 體的鑒定以及形態(tài)分類提供真實(shí)的依據(jù)。比如,應(yīng)用掃描電鏡對隕石進(jìn)行研究,為進(jìn)一步了解宇宙、地球以及生命起源提供了寶貴的資料。掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段。浙江推薦的掃描電鏡公司
掃描電鏡可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。浙江推薦的掃描電鏡公司
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時,也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對X射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。 浙江推薦的掃描電鏡公司
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