飛秒激光技術在航空發(fā)動機制造上的應用：長久以來，我國發(fā)動機制造技術始終是制約航空航天事業(yè)發(fā)展的瓶頸，產(chǎn)品的質(zhì)量不過關來自兩方面：一是材料技術；二是材料加工技術。飛秒激光鉆孔恰恰解決了這個難題！在航空航天領域，燃氣渦輪是發(fā)動機的三大關鍵部件之一，其性能直接決定了發(fā)動機的好壞。然而航空發(fā)動機的渦輪葉片工作溫度至少為1400攝氏度，因此必須對高溫部件，尤其是葉片必須使用精確的冷卻技術。葉片冷卻一般通過大量不同直徑的氣膜孔來實現(xiàn)，孔徑約為100~700微米，且空間分布復雜，多為斜孔，角度為15°到90°不等，為了提高冷卻效率，開孔形狀往往成扇形或者矩形，這給加工帶來極大的難度。目前主流的方法是高速電火花，但工具電極制造極為困難，加工好的部件易磨損，加工速度慢，排除孔內(nèi)的加工屑比較困難，不易散熱，根本不適合大批量生產(chǎn)。此外，現(xiàn)代發(fā)動機葉片表面通常要覆蓋一層熱障涂層、一般是陶瓷材料，采用傳統(tǒng)電火花無法加工，是未來先進發(fā)動機制造的關鍵技術。隨著未來發(fā)動機葉片材料逐漸走向非金屬化，電火花加工更不靠譜，而飛秒激光加工具有材料適應廣、定位精度高、無機械變形、無直接接觸等各種優(yōu)點，非常適合加工微型孔。在激光切割行業(yè)中，適合于超薄金屬箔材料切割的種類也分為納秒紫外激光切割以及飛秒激光器切割等。超快飛秒激光MLCC

激光打孔工藝可分為長脈沖（ms級）和短脈沖（ns、ps、fs級）激光工藝，注意脈沖寬度是個時間單位，不是長度單位，其中ps皮秒激光和fs飛秒激光也被行業(yè)內(nèi)叫做超快激光。兩種工藝相比各有優(yōu)缺點，同樣是氣化材料加工小孔，前者因為其單個脈沖照射時間更長，能提供更多能量快速去除材料，相當于大刀闊斧效率高；后者能量細小峰值功率高，可瞬間氣化微量材料，素有冷加工的美譽，相當于小刀精啄，幾乎沒有重熔層，表面質(zhì)量更好，專業(yè)一點講就是超快激光由于脈沖持續(xù)時間遠小于材料中受激電子通過轉(zhuǎn)移、轉(zhuǎn)化等形式的能量釋放時間，只需考慮電子吸收入射光子的激發(fā)和儲能過程，加上高達TW（10^12W）級的峰值功率，能量在只有幾個納米厚度內(nèi)迅速聚集，瞬間產(chǎn)生的超高電子溫度值遠超材料汽化溫度，材料直接從固態(tài)轉(zhuǎn)為氣態(tài)，在表面形成高密度、超熱、高壓的等離子體狀態(tài)，實現(xiàn)非熱熔性加工。超快飛秒激光MLCC飛秒激光尤其適合加工藍寶石、玻璃、陶瓷等脆性材料和熱敏性材料，因此適合于電子產(chǎn)業(yè)微細加工行業(yè)應用。

飛秒激光是一種激光技術，其脈沖時間極短，一般在飛秒（即百萬億分之一秒）量級。這種極短的脈沖時間使得飛秒激光在材料加工領域具有獨特的優(yōu)勢，尤其在對材料進行精細加工時表現(xiàn)突出。利用飛秒激光對碳化硅進行打孔和切割可以實現(xiàn)精密、高效的加工。由于飛秒激光的脈沖時間極短，它可以在幾乎不引起熱損傷的情況下加工材料，從而避免了碳化硅等難加工材料常見的裂紋和變形問題。同時，飛秒激光加工的高精度和高靈活性也使得它成為對碳化硅進行微細加工的理想選擇。飛秒激光加工碳化硅的關鍵是選擇合適的激光參數(shù)（例如激光功率、脈沖頻率、聚焦方式等），以及適當?shù)墓に嚳刂疲ɡ鐨怏w保護、加工速度等），以確保實現(xiàn)所需的加工質(zhì)量和精度。此外，后續(xù)的表面處理也可能是必要的，以去除可能形成的氧化物或殘留物，并使加工表面達到所需的光滑度和質(zhì)量。

相比傳統(tǒng)的機械打孔方式，飛秒激光微孔加工具有更高的精度和更小的孔徑。同時，由于激光加工是非接觸式的，可以避免機械應力對材料的影響，從而提高了加工質(zhì)量和加工效率。此外，飛秒激光打孔還可以在復雜形狀的云母片上實現(xiàn)高精度的打孔，為后續(xù)的電路布線和元件安裝提供了便利。除了打孔之外，飛秒激光切割設備也在云母片的加工中得到了廣泛應用。與打孔類似，飛秒激光切割設備通過將激光束聚焦在云母片上，利用激光的高能量和高精度特性實現(xiàn)材料的切割。在切割過程中，激光能量作用于材料表面，產(chǎn)生高溫和等離子體，使得材料在瞬間產(chǎn)生微裂紋并沿著預定的路徑擴展，實現(xiàn)材料的分離。相比傳統(tǒng)的切割方式，飛秒激光切割具有更高的精度和更小的切縫。同時，由于激光加工是非接觸式的，可以避免機械應力和熱影響對材料的影響，從而提高了切割質(zhì)量和效率。此外，飛秒激光切割還可以實現(xiàn)復雜形狀的切割和微細結構的制作，為云母片的進一步應用提供了更多的可能性。飛秒激光微孔加工和切割設備在云母片的加工中具有明顯的優(yōu)勢和應用前景。隨著技術的不斷發(fā)展和完善，相信這一領域?qū)〉酶嗟耐黄坪蛣?chuàng)新。飛秒激光鉆孔尤其擅長加工?0.2以下的微孔。

我們正在生產(chǎn)使用激光的超精密鉆孔產(chǎn)品。可對PCD、PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼、鉬等各種材質(zhì)的產(chǎn)品進行細孔加工。激光鉆孔是一種使用高功率相干激光束快速加熱材料以產(chǎn)生汽化現(xiàn)象并加工孔的技術。從而實現(xiàn)高效、高質(zhì)量的孔加工。尤其擅長加工?0.2以下的微孔。使用飛秒激光可以實現(xiàn)?0.01mm的鉆孔，并且正在不斷開發(fā)以實現(xiàn)比這更小尺寸的微米級孔。與一般的MCT鉆孔不同，激光加工具有熱處理后易于加工孔的優(yōu)點，因此即使在經(jīng)過強度/硬度或熱處理的產(chǎn)品中也可以實現(xiàn)一定質(zhì)量的孔。超快飛秒激光切割機適用于超薄金屬銅箔、鋁箔、不銹鋼箔、等材料微細精密加工，切割無變形、精度高。北京飛秒激光切割

使用飛秒激光可以實現(xiàn)?0.01mm的鉆孔，并且正在不斷開發(fā)以實現(xiàn)比這更小尺寸的微米級孔。超快飛秒激光MLCC

飛秒激光加工應用于金屬掩模板加工：新加坡南洋科技大學VenkatakrishnanK等人利用飛秒激光直寫方法制作了以金屬薄膜為吸收層、石英為基底的金屬掩模板，并將前入射與后入射兩種方案做了比較，發(fā)現(xiàn)采用前入射的方法能夠得到更小的特征尺寸和好的邊緣質(zhì)量。并且利用飛秒激光超衍射極限加工有效地修補了金屬鎘掩模板的缺陷，修復的線寬達到小雨100nm的精度。目前構建的飛秒激光修正光掩模板工具已在IBM的伯林頓、福蒙特州的掩模制作設備中運行。這對微電子技術的發(fā)展將具有重要意義。超快飛秒激光MLCC