超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術(shù)的發(fā)展,薄膜厚度越來越薄。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術(shù)節(jié)點的a20范圍內(nèi)。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,XRR是的測量技術(shù)。由于具有出色的適應(yīng)能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是**用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進(jìn)行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設(shè)計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準(zhǔn)直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉(SRM1976)的準(zhǔn)直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE。D8測角儀巨有市場超前地精確度,為布魯克獨有的準(zhǔn)直保證奠定了基礎(chǔ)。蘇州結(jié)構(gòu)解析檢測分析
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薄膜和涂層分析采用的原理與XRPD相同,不過進(jìn)一步提供了光束調(diào)節(jié)和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鑒定、晶體質(zhì)量、殘余應(yīng)力、織構(gòu)分析、厚度測定以及組分與應(yīng)變分析。在對薄膜和涂層進(jìn)行分析時,著重對厚度在nm和μm之間的層狀材料進(jìn)行特性分析(從非晶和多晶涂層到外延生長薄膜)。D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件可進(jìn)行以下高質(zhì)量的薄膜分析:掠入射衍射X射線反射法高分辨率X射線衍射倒易空間掃描。由于具有出色的適應(yīng)能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是**用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進(jìn)行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設(shè)計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準(zhǔn)直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。
材料屬性D2PHASER是一款便攜的臺式XRD儀器,主要用于研究和質(zhì)控。您可以使用TOPAS軟件提供的基本參數(shù)方法研究晶體結(jié)構(gòu)、研究快速可靠的SAXS測量的納米結(jié)構(gòu)或研究微觀結(jié)構(gòu)(微晶尺寸)。SAXS—分析SBA-15介觀催化劑(PDF)Er-Melilite的晶體結(jié)構(gòu)(PDF)陽極焦炭(LC值)分析(PDF)DIFFRAC.DQUANT:對殘余奧氏體進(jìn)行合規(guī)量化(PDF)布魯克為礦物和采礦業(yè)提供了先進(jìn)的解決方案,旨在以可靠的方式,支持地質(zhì)學(xué)家和礦產(chǎn)勘探者隨時隨地開展礦床發(fā)現(xiàn)和分析工作。涉及高通量篩選(HTS)和大區(qū)域掃描分析時,D8 DISCOVER是較好解決方案。
二氧化鋯多晶型分析引言二氧化鋯化學(xué)性質(zhì)不活潑,且具有高熔點、高電阻率、高折射率和低熱膨脹系數(shù)等獨特的物理化學(xué)性質(zhì),使它成為重要的耐高溫材料、陶瓷絕緣材料和陶瓷遮光劑。其結(jié)構(gòu)主要有三種晶型:單斜相、四方相以及立方相。不同晶體結(jié)構(gòu)對應(yīng)的物理化學(xué)性質(zhì)有較大區(qū)別,X射線衍射是區(qū)分二氧化鋯晶型的主要手段之一。同時利用先進(jìn)的Rietveld方法可對二氧化鋯多晶型樣品進(jìn)行快速定量分析。實例二氧化鋯多晶型定性分析左插圖:微量的二氧化鋯單斜相右插圖:二氧化鋯四方相和立方相區(qū)分明顯這種X射線源可提供高亮度光束,對mm大小的樣品研究,或使用μm大小光束進(jìn)行微區(qū)X射線衍射研究的理想選擇。透射
D8D對地質(zhì)構(gòu)造研究,借助μXRD,哪怕是很小的包裹體定性相分析和結(jié)構(gòu)測定都不在話下。蘇州結(jié)構(gòu)解析檢測分析
D8ADVANCEPlus是D8ADVANCE的又一版本,是面向多用途、多用戶實驗室的X射線平臺。它可理想地滿足您對所有樣品類型的需求,包括粉末、塊狀材料、纖維、片材和薄膜(非晶、多晶和外延):典型的X射線粉末衍射(XRD)對分布函數(shù)(PDF)分析小角X射線散射(SAXS)和廣角X射線散射(WAXS)X射線反射率(XRR)和高分辨XRD(搖擺曲線,倒易空間掃描)環(huán)境條件下和非環(huán)境條件下該系統(tǒng)的一大優(yōu)勢在于它能夠在多達(dá)6種不同的光束幾何之間進(jìn)行切換:從用于粉末的Bragg-Brentano聚焦幾何到用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何以及兩者之間的切換。您只需按下按鈕,整個軟件盡在掌握。蘇州結(jié)構(gòu)解析檢測分析
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