薄膜均勻性概念1.厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。2.化學(xué)組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。3.晶格有序度的均勻性: 這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題,具體見下。購買真空鍍膜機(jī),歡迎來無錫光潤(rùn)!山東常用真空鍍膜機(jī)價(jià)格
真空的基本知識(shí)“真空”是指壓力低于一個(gè)大氣壓的任何氣態(tài)的空間。在這種空間中氣體是比較稀薄的,至少比大氣要稀薄,但是“真空”,即沒有任何氣態(tài)微粒的空間是找不到的,就是在遠(yuǎn)離地球一萬公里處、每立方厘米也有3~4千個(gè)空氣的分子。由于真空度大小仍然是氣體壓力大小的問題,所以計(jì)量壓強(qiáng)的單位也就是計(jì)量真空度的單位。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位為帕斯卡(Pa),也可用“托”(Torr)、“巴”(bar)和“毫巴”(mbar)來計(jì)量,他們之間的關(guān)系如下式:1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=1.01×105帕斯卡(Pa)=760托(Torr)=1.01×103毫巴上海新款真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠家無錫真空鍍膜機(jī)售后維修找哪家?
任何固體材料在大氣環(huán)境下都會(huì)溶解和吸附一些氣體,當(dāng)材料置于真空狀態(tài)時(shí)就會(huì)因?yàn)槊摳?、解析而出氣。出氣的速率與材料中的氣體含量成正比。不同的材料解析的氣體成分及解析的溫度及時(shí)間是不同的。各種泵對(duì)不同成分的氣體抽氣速率也是不一樣的。抽真空時(shí),首先抽走的是容器中的大氣(這部份氣體很快被抽走,10-1Pa時(shí)爐內(nèi)氣體基本抽盡),然后是材料表面解吸的氣體、材料內(nèi)部向表面擴(kuò)散出來的氣體,以及通過器壁滲透到真空中的氣體.因此在貨品進(jìn)入爐內(nèi)之后,都要進(jìn)行保溫除氣,因?yàn)樨浧吩谶M(jìn)爐前會(huì)吸附一些雜質(zhì)氣體,我們要通過適當(dāng)?shù)募訜?,讓這些氣體解析脫附貨品的表面。以不銹鋼為例,除了在它表面吸附的氣體之外,在不斷的加熱保溫過程中鋼內(nèi)部還會(huì)析出一些氣體,這些氣體的存在往往對(duì)薄膜的純度和顏色有較大的影響,對(duì)膜層附著力影響也很大。
離子鍍:蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術(shù)的結(jié)合。將基片臺(tái)作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時(shí)發(fā)生電離。正離子被基片臺(tái)負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場(chǎng)對(duì)離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對(duì)基片的濺射清洗作用,使膜層附著強(qiáng)度提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點(diǎn),并有很好的繞射性,可為形狀復(fù)雜的工件鍍膜。上海真空鍍膜機(jī)價(jià)格咨詢,歡迎致電無錫光潤(rùn)!
與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負(fù)電,在達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí),靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對(duì)靶的濺射持續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個(gè)數(shù)量級(jí)。真空鍍膜設(shè)備哪家好?山東常用真空鍍膜機(jī)價(jià)格
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總的來說,光學(xué)鍍膜加工的生產(chǎn)方法主要分為干法和濕法。所謂干法,就是整個(gè)加工過程中沒有液體出現(xiàn)。例如,真空蒸發(fā)是在真空環(huán)境中用電能加熱固體原料,然后升華成氣體,附著在固體基底表面,完成涂層加工。日常生活中看到的裝飾用的金、銀或金屬包裝膜,都是干法鍍膜制造的產(chǎn)品。但考慮到實(shí)際批量生產(chǎn),干涂的適用范圍要小于濕涂。濕涂就是將各種功能的成分混合成液體涂料,然后用不同的加工方法涂覆在基材上,然后將液體涂料干燥固化制成產(chǎn)品。山東常用真空鍍膜機(jī)價(jià)格
無錫光潤(rùn)真空科技有限公司(簡(jiǎn)稱“光潤(rùn)真空”)是從事真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售、制造、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。
光潤(rùn)真空技術(shù)團(tuán)隊(duì)具有20多年真空鍍膜設(shè)備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗(yàn),公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設(shè)備等在國(guó)內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜**設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜**設(shè)備、多弧離子真空鍍膜**設(shè)備等。
公司產(chǎn)品出口法國(guó)、巴基斯坦、越南、印尼、韓國(guó)、泰國(guó)、西班牙、克羅地亞、波蘭、土耳其、巴西、烏克蘭等地。公司堅(jiān)持“表面處理整體解決供應(yīng)商”的經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略,推行“誠(chéng)信、創(chuàng)新、環(huán)?!钡慕?jīng)營(yíng)理念,竭誠(chéng)為國(guó)內(nèi)外用戶服務(wù)。