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福建MEMS微納米加工之聲表面波器件加工

來源: 發(fā)布時間:2024-04-30

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI:

  柔性PI膜是一種由聚酰亞胺(PI)構(gòu)成的薄膜材料,它是通過將均苯四甲酸二酐(PMDA)與二胺基二苯醚(ODA)在強(qiáng)極性溶劑中進(jìn)行縮聚反應(yīng),然后流延成膜,然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有許多獨特的優(yōu)點,如高絕緣性、良好的粘結(jié)性、強(qiáng)的耐輻射性和耐高溫性能,使其成為一種綜合性能很好的有機(jī)高分子材料。

   柔性PI膜的應(yīng)用非常廣,尤其在電子、液晶顯示、機(jī)械、航空航天、計算機(jī)、光伏電池等領(lǐng)域有著重要的用途。特別是在液晶顯示行業(yè)中,柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料,用于制造折疊屏手機(jī)的基板、蓋板和觸控材料。由于OLED顯示技術(shù)的快速發(fā)展,柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一,廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)和其他可折疊設(shè)備的制造。 MEMS的超透鏡是什么?福建MEMS微納米加工之聲表面波器件加工

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MEMS特點:

1.微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短。

2.以硅為主要材料,機(jī)械電器性能優(yōu)良:硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng),密度類似鋁,熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。

3.批量生產(chǎn):用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機(jī)電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可降低生產(chǎn)成本。

4.集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體,或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列,甚至把多種功能的器件集成在一起,形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

5.多學(xué)科交叉:MEMS涉及電子、機(jī)械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科,并集約了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多成果。 河南MEMS微納米加工技術(shù)指導(dǎo)MEMS后發(fā)追趕,國產(chǎn)替代空間廣闊。

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MEMS制作工藝柔性電子的常用材料:

碳納米管(CNT)由于其高的本征載流子遷移率,導(dǎo)電性和機(jī)械靈活性而成為用于柔性電子學(xué)的有前途的材料,既作為場效應(yīng)晶體管(FET)中的溝道材料又作為透明電極。管狀碳基納米結(jié)構(gòu)可以被設(shè)想成石墨烯卷成一個無縫的圓柱體,它們獨特的性質(zhì)使其成為理想的候選材料。因為它們具有高的固有載流子遷移率和電導(dǎo)率,機(jī)械靈活性以及低成本生產(chǎn)的潛力。另一方面,薄膜基碳納米管設(shè)備為實現(xiàn)商業(yè)化提供了一條實用途徑。

光學(xué)領(lǐng)域上面較成功的應(yīng)用科學(xué)研究主要集中在兩個方面:一是基于MOEMS的新型顯示、投影設(shè)備,主要研究如何通過反射面的物理運動來進(jìn)行光的空間調(diào)制,典型標(biāo)識為數(shù)字微鏡陣列芯片和光柵光閥。

二是通信系統(tǒng),主要研究通過微鏡的物理運動來控制光路發(fā)生預(yù)期的改變,較成功的有光開關(guān)調(diào)制器、光濾波器及復(fù)用器等光通信器件。MOEMS是綜合性和學(xué)科交叉性很強(qiáng)的高新技術(shù),開展這個領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)研究,可以帶動大量的新概念的功能器件開發(fā)。 MEMS的磁敏感器是什么?

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高精度姿態(tài)/軌道測量新方法并研制了MEMS磁敏感器、MIMU慣性微系統(tǒng)、MEMS太陽敏感器、納\皮型星敏感器等空間微系統(tǒng),相關(guān)成果填補(bǔ)了多項國內(nèi)空白,已在探月工程、高分專項等國家重大工程以及國內(nèi)外百余顆型號衛(wèi)星中得到應(yīng)用推廣,并實現(xiàn)了出口歐、美、日等國。在我國率先開展了微納航天器的技術(shù)創(chuàng)新與工程實踐,將三軸穩(wěn)定方式用于25kg以下的微小衛(wèi)星,成功研制并運行了國內(nèi)納型衛(wèi)星NS-1衛(wèi)星,也是當(dāng)時世界上在軌飛行的“輪控三軸穩(wěn)定衛(wèi)星”(2004年)。2015年研制并發(fā)射了NS-2(10公斤量級)MEMS技術(shù)試驗衛(wèi)星,成功開展了基于MEMS的空間微型化器組件試驗研究。NS-2衛(wèi)星的有效載荷包括納型星敏感器、低功耗MEMS太陽敏感器、硅基MEMS陀螺、MEMS石英音叉陀螺、MEMS磁強(qiáng)計、北斗-II/GPS接收機(jī)等自主研發(fā)的MEMS器件及微系統(tǒng)。同時還成功研制并發(fā)射皮型ZJ-1(100克量級)MEMS技術(shù)試驗衛(wèi)星,采用單板集成的綜合電子系統(tǒng),搭載試驗商用微型CMOS相機(jī),MEMS磁強(qiáng)計、新型商用電子元器件。MEMS聲表面波(即SAW)器件是什么?福建MEMS微納米加工

MEMS的芯片制造過程是怎么樣的?福建MEMS微納米加工之聲表面波器件加工

MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測:

光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機(jī)理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術(shù)。如要對THz脈沖信號進(jìn)行探測,首先,需將一個未加偏置電壓的PCA放置于太赫茲光路之中,以便于一個光學(xué)門控脈沖(探測脈沖)對其門控。其中,這個探測脈沖和泵浦脈沖有可調(diào)節(jié)的時間延遲關(guān)系,而這個關(guān)系可利用一個延遲線來加以實現(xiàn),爾后,用一束探測脈沖打到光電導(dǎo)介質(zhì)上,這時在介質(zhì)中能夠產(chǎn)生出電子-空穴對(自由載流子),而此時同步到達(dá)的太赫茲脈沖則作為加在PCA上的偏置電場,以此來驅(qū)動那些載流子運動,從而在PCA中形成光電流。用一個與PCA相連的電流表來探測這個電流即可, 福建MEMS微納米加工之聲表面波器件加工