滲碳后常采的熱處理方法：1）高溫回火+淬火+低溫回火，經(jīng)高溫回火后殘余奧氏體分解，滲層中碳和合金元素以碳化物形式析出，易于機(jī)械加工同時(shí)殘余奧氏體減少，主要用于Cr-Ni合金鋼零件。2）二次淬火+低溫回火，將工件冷至室溫后，再進(jìn)行兩次淬火，然后低溫回火。這是一種同時(shí)保證心部與表面都獲得高性能的熱處理方法，兩次淬火有利于減少表面的殘余奧氏體數(shù)量。3）二次淬火+冷處理+低溫回火，也稱為高合金鋼減少表層殘余奧氏體量的熱處理，多用于齒輪和軸類零件。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體（如氮）進(jìn)行冷卻。浙江氣冷真空硬化淬火過程

H13模具鋼等溫退火工藝，真空爐壓力0.1~10Pa，以≤200℃/h緩慢升至875~890℃并保持2~4h后，快冷至710~740℃保持3~4h，用高純度氮?dú)饫渲?00℃以下出爐。Cr12MoV模具鋼等溫退火工藝，真空爐壓力0.1~10Pa，以≤200℃/h緩慢升至830~870℃并保持2~4h后，快冷至720~740℃保持3~4h，用高純度N2冷至100℃以下出爐。模具的真空滲碳，真空滲碳是將模具在真空爐中加熱到奧氏體化狀態(tài)，在滲碳?xì)夥罩袧B碳，然后擴(kuò)散及淬火處理。因模具在真空狀態(tài)下加熱，故模具表面十分光潔，適于高的表面質(zhì)量要求模具的滲碳處理。浙江齒輪中性淬火技術(shù)真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。

真空滲碳工藝參數(shù)設(shè)定，低壓真空滲碳需設(shè)定的工藝參數(shù)有工藝方式、升溫速率、保溫溫度、滲碳溫度、滲碳壓力、氣體流量、氣體壓力、淬火溫度、淬火方式、淬火時(shí)間等諸多數(shù)據(jù)。滲碳溫度由材料決定，主要避免過熱。氣體流量由裝爐工件表面積決定，表面積越大，氣體流量要適量增加，滲碳壓力由工件材料，工件形狀等決定，供氣壓力一般在0.2mpa，滲碳時(shí)間由滲碳溫度，滲層深度決定。滲碳質(zhì)量檢測，按滲碳的質(zhì)量檢測就可以。主要是表面硬度，心部硬度，硬度梯度，金相組織內(nèi)，氧化等標(biāo)準(zhǔn)。

隨著科學(xué)的進(jìn)步，工業(yè)產(chǎn)品對熱處理要求的提高，自20世紀(jì)40年代真空熱處理技術(shù)在美國和日本逐漸發(fā)展，因其無脫碳，零件表面光亮，變形小，節(jié)能環(huán)保，工藝和力學(xué)性能再現(xiàn)性好等優(yōu)點(diǎn)，在目前環(huán)保形式要求下，真空淬火展現(xiàn)出蓬勃發(fā)展的勢頭。真空滲碳熱處理技術(shù)的成熟無疑擴(kuò)大了真空熱處理技術(shù)的應(yīng)用范圍。真空熱處理水淬一般適用范圍：航空航天行業(yè)中鈦合金的固溶處理，儀表彈性元件中的鈸青銅固溶處理，航天傳感器中的鎳基、鈷基高彈性合金，鎳基恒彈性合金等精密合金固溶處理以及不銹鋼的固溶處理。淬火是將鋼加熱到臨界溫度Ac3或Ac1以上溫度進(jìn)行馬氏體（或貝氏體）轉(zhuǎn)變的熱處理工藝。

低壓真空滲碳的優(yōu)勢很明顯，但是缺點(diǎn)，肯定也是有的。1）設(shè)備成本相對較高。2）小件的裝爐量和多用爐相比，會(huì)少一點(diǎn)。真空滲碳裝爐時(shí)，特別是小件滲碳，層與層之間的間隙要有50mm左右。真空淬火：1）真空淬火與回火工藝：830~850℃×3min/mm預(yù)熱，1080~1200℃×1~2min/mm加熱后，氣淬油冷；540~580℃×1~2h真空回火。2）真空脈沖氮碳共滲工藝：共滲劑成分（體積分?jǐn)?shù)）：50%丙烷＋50%氨氣，其工藝曲線見圖6。真空爐在中小型企業(yè)及專業(yè)工模具工廠使用得比較普遍。特別是私人企業(yè)在刀具、工模具及電動(dòng)工具等工件的淬火上采用真空爐的比率也在逐漸增多。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，熱處理質(zhì)量較大程度上提高。蘇州模具真空硬化淬火方法

20世紀(jì)20年代末，隨著電真空技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了真空熱處理工藝，當(dāng)時(shí)還只用于退火和脫氣。浙江氣冷真空硬化淬火過程

真空高壓氣冷淬火技術(shù)：當(dāng)前真空高壓氣冷淬火技術(shù)發(fā)展較快，相繼出現(xiàn)了負(fù)壓（＜1×105Pa）高流率氣冷、加壓（1×105～4×105Pa）。氣冷、高壓（5× 105～10×105Pa）氣冷、超高壓一（10×105～20×105Pa）氣冷等新技術(shù)，不但大幅度提高了真空氣冷淬火能力，且淬火后工件表面光亮度好，變形小，還有高效、節(jié)能、無污染等優(yōu)點(diǎn)。真空高壓氣冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不銹鋼和特殊合金的固溶、時(shí)效，離子滲碳和碳氮共滲，以及真空燒結(jié)，釬焊后的冷卻和淬火。用6×105Pa高壓氮?dú)饫鋮s淬火時(shí)、被冷卻的負(fù)載只能是松散型的，高速鋼（W6Mo5Cr4V2）可淬透至70～100mm，高合金熱作模具鋼（如 4Cr5MoSiV）可達(dá)25～100mm。浙江氣冷真空硬化淬火過程