氣相沉積，氣相沉積按形成的基本原理，分為物理的氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）。PVD分為真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍。離子鍍是蒸鍍和濺射鍍相結(jié)合的技術(shù)，離子鍍膜具有粘著力強(qiáng)、均鍍能力好、被鍍基體材料和鍍層材料可以普遍搭配等優(yōu)點(diǎn)，因而獲得較普遍的應(yīng)用。近年來(lái)，多弧離子鍍受到人們的重視。目前，在模具上應(yīng)用較多的是離子鍍TiN，這種膜不僅硬度高，而且膜的韌性好、結(jié)合力強(qiáng)、耐高溫。在TiN基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多元膜，如（TiAl）N、（TiCr）N等，性能優(yōu)于TiN，是一類更有前途的新型薄膜。CVD是用化學(xué)方法使反應(yīng)氣體在基礎(chǔ)材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成覆蓋層（TiC、TiN）的方法。CVD有多種方法。真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。江蘇直接中性淬火方法

行業(yè)使用情況，目前使用國(guó)內(nèi)外真空設(shè)備的數(shù)量，椐不完全統(tǒng)計(jì)有2000余臺(tái)套，其中分別在工模具、軸承、油泵油咀、液壓件、齒輪、硬質(zhì)合金等行業(yè)使用。模具制造的成本高，特別是一些精密復(fù)雜的冷沖模、塑料模、壓鑄模等。采用熱處理技術(shù)提高模具的使用性能，可以大幅度提高模具壽命，有明顯的經(jīng)濟(jì)效益。我國(guó)模具技術(shù)工作者十分重視模具熱處理技術(shù)的發(fā)展。清潔工藝，真空熱處理是清潔熱處理工藝，它在整個(gè)熱處理過(guò)程中占有重要地位，它可以提高產(chǎn)品質(zhì)量，可以改變熱處理車(chē)間的面貌，改善操作環(huán)境，是一個(gè)值得推廣應(yīng)用的技術(shù)。江蘇直接中性淬火工藝真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空。

在冷壓毛坯軟化處理工藝中，應(yīng)采用上限溫度加熱、分段等溫和等溫回火過(guò)程。對(duì)于高速鋼，在淬火時(shí)需要進(jìn)行兩次預(yù)熱，這是因?yàn)楦咚黉撝泻写罅康暮辖鹪兀瑢?dǎo)熱性較差，為了防止工件變形或開(kāi)裂，特別是對(duì)于大型復(fù)雜工件更為重要。通過(guò)先預(yù)熱，可以縮短在高溫處理過(guò)程中的停留時(shí)間，減少氧化脫碳和過(guò)熱的風(fēng)險(xiǎn)。W18Cr4V的真空熱處理規(guī)范及硬度：①預(yù)熱溫度一次500~600℃，二次800~850℃，真空度0.1Pa， 淬火溫度1000~1100℃，真空度10~1Pa，油或氮?dú)饫鋮s，回火溫度180~220℃，硬度 58~62HRC。②預(yù)熱溫度一次500~550℃，二次800~820℃，真空度 0.1Pa，淬火溫度 1240~1300℃，真空度10~1Pa，油或氮?dú)饫鋮s，回火溫度540~600℃，硬度62~66HRC。

真空滲碳工藝參數(shù)設(shè)定，低壓真空滲碳需設(shè)定的工藝參數(shù)有工藝方式、升溫速率、保溫溫度、滲碳溫度、滲碳?jí)毫Α怏w流量、氣體壓力、淬火溫度、淬火方式、淬火時(shí)間等諸多數(shù)據(jù)。滲碳溫度由材料決定，主要避免過(guò)熱。氣體流量由裝爐工件表面積決定，表面積越大，氣體流量要適量增加，滲碳?jí)毫τ晒ぜ牧?，工件形狀等決定，供氣壓力一般在0.2mpa，滲碳時(shí)間由滲碳溫度，滲層深度決定。滲碳質(zhì)量檢測(cè)，按滲碳的質(zhì)量檢測(cè)就可以。主要是表面硬度，心部硬度，硬度梯度，金相組織內(nèi)，氧化等標(biāo)準(zhǔn)。真空熱處理按接受處理的部位，有整體、局部淬火和表面淬火。

模具的高溫淬火和降溫淬火，一些熱作模具鋼，如3Cr2W8V、H13、5CrNiMo、5CrMnMo等，采用高于常規(guī)淬火溫度加熱淬火，可以減少鋼中碳化物的數(shù)量、改善其形態(tài)和分布，使固溶于奧氏體中碳的分布均勻化，淬火后可在鋼中獲得更多的板條馬氏體，提高其斷裂韌性和冷熱疲勞抗力，從而延長(zhǎng)模具使用壽命。例如，3Cr2W8V鋼制的一種熱擠壓模具，常規(guī)淬火溫度為1080-1120℃，回火溫度為560-580℃。當(dāng)淬火溫度提高至1200℃，回火溫度為680℃（2次），模具壽命提高了數(shù)倍。W6Mo5Cr4V2、W18Cr4V高速鋼和Cr12MoV等高合金冷作模具鋼，可適當(dāng)降低其淬火溫度，以改善其塑韌性，減少脆性開(kāi)裂傾向，從而提高模具壽命。例如，W6Mo5Cr4V2的淬火溫度可選用1140-1160℃。從外觀上說(shuō)真空滲碳油淬爐和真空油淬爐相似，真空滲碳?xì)獯銧t和真空高壓氣淬爐相似。蘇州雙介質(zhì)真空硬化淬火技術(shù)

機(jī)械中重要零件，尤其在汽車(chē)、飛機(jī)、火箭中應(yīng)用的鋼件幾乎都經(jīng)過(guò)淬火處理。江蘇直接中性淬火方法

模具的真空淬火：（1）預(yù)熱，低合金鋼（40Cr、60Si2Mn等）、中合金鋼（CrWMn、9CrSi、5CrNiMo等）可選擇兩級(jí)加熱（如650℃預(yù)熱→850℃淬火加熱）；高合金鋼（H13、Cr12MoV等）可選擇三級(jí)加熱（如650℃預(yù)熱→850℃預(yù)熱→1030℃淬火加熱）。（2）冷卻方式，模具鋼的真空淬火可采用油淬、氣淬、水淬、硝鹽淬火等。合金模具鋼均可實(shí)施真空油淬，從而獲得光亮的表面及合理的性能。與氣冷淬火相比，因油冷速度快而容易獲得高的韌性和強(qiáng)度。氣冷淬火可獲得更小的淬火畸變。江蘇直接中性淬火方法