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南通正規(guī)四氟化碳推薦企業(yè)

來源: 發(fā)布時間:2022-04-18

四氟化碳和氧氣瓶在高溫下不反映,四氟化碳是現(xiàn)階段電子光學制造業(yè)中使用量較大的低溫等離子蝕刻工藝汽體,其高純度氣及四氟化碳高純度氣配高純氧氣的混合體,可市場應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢塑料薄膜原材料的蝕刻工藝。針對硅和二氧化硅管理體系,選用CF4-H2反映正離子刻蝕時,根據(jù)調(diào)整二種汽體的占比,能夠得到45:1的可選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅塑料薄膜時很有效。不良影響簡述危險因素類型:GB2.2類不燃氣體入侵方式:吸進身心健康傷害:吸進高濃的四氟化碳出現(xiàn)呼吸不暢、嘔吐等室息病癥。只有適當?shù)臈l件下,四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進行反應。南通正規(guī)四氟化碳推薦企業(yè)

半導體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù),每一步均有嚴格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導體器件的質(zhì)量與成品率,特種氣體產(chǎn)品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求,“超純”要求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N(N 是 Nine 的簡寫,幾個 N 就有幾個 9“超凈”即要求嚴格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的參數(shù),純度每提升一個 N,粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級,都將帶來工藝復雜度和難度的提升。 杭州口碑好四氟化碳哪里有不燃氣體,遇高熱后容器內(nèi)壓增大,有開裂、危險。

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),鋁合金門窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。同時,由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。

二氧化碳鋼瓶的使用方法及注意事項; 使用前檢查連接部位是否漏氣,可涂上肥皂液進行檢查,調(diào)整至確實不漏氣后才進行實驗。使用時先逆時針打開鋼瓶總開關觀察高壓表讀數(shù),記錄高壓瓶內(nèi)總的二氧化碳壓力。然后順時針轉(zhuǎn)動低壓表壓力調(diào)節(jié)螺桿,使其壓縮主彈簧將活門打開。這樣進口的高壓氣體,由高壓室經(jīng)節(jié)流減壓后進入低壓室,并經(jīng)出口通往工作系統(tǒng)。使用后,先關閉順時針,關閉鋼瓶總開關,再逆時針旋松減壓閥。各種氣瓶必須定期進行技術(shù)檢查。充裝一般氣體的氣瓶三年檢驗一次;如在使用中發(fā)現(xiàn)有嚴重腐蝕或嚴重損傷的,應提前進行檢驗。






常溫常壓下穩(wěn)定,避免強氧化劑、易燃或可燃物。

 四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對惰性的,在不通風的地方會引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中,氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時不利于各種特殊的控制(如半導體各項異性控制)。其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。



四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發(fā)性較高。蘇州銷售四氟化碳哪里有

也要注意使用四氟化碳的注意事項。南通正規(guī)四氟化碳推薦企業(yè)

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