四氟甲烷(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane),亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14),化學(xué)式CF4,商品名稱Reflube 14,相對(duì)分子量88.00。在常溫下,四氟甲烷是無(wú)色、無(wú)臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn)-128℃,熔點(diǎn)-183.6℃。液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74MPa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006。揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,在900攝氏度時(shí),不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng),在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí), 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物,危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。蘇州新能源四氟化碳哪里有
四氟化碳是不燃燒的無(wú)色、無(wú)味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定,可以長(zhǎng)時(shí)間停留在大氣層中,是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年,全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500(二氧化碳的系數(shù)是1)。雖然結(jié)構(gòu)與氟氯烴相似,但四氟化碳不會(huì)破壞臭氧層。這是因?yàn)閷?dǎo)致臭氧層破壞的是氟氯烴中的氯原子,它被紫外線輻射擊中時(shí)會(huì)分離。碳-氟鍵比較強(qiáng),因此分離的可能性比較低。鎮(zhèn)江優(yōu)良四氟化碳哪里有.由碳與氟反應(yīng),或一氧化碳與氟反應(yīng)。
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體,廣用于硅、氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電予氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)格,各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)發(fā)展,越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言,四氟化碳以其相對(duì)低廉的價(jià)格長(zhǎng)期占據(jù)著蝕刻氣體市場(chǎng),因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過(guò)程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過(guò)程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。在蝕刻過(guò)程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉。
四氟化碳與氧在高溫下不反應(yīng)]四氟化炭是目前微電子行業(yè)使用比較多的等離子蝕刻氣體,它是由高純氣與高純氣配高純氧的混合物,可用于硅粉、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢薄膜材料的蝕刻。在使用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕的硅及二氧化硅系統(tǒng)中,通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這對(duì)刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜是非常有用的。危害概覽危險(xiǎn)類別::吸入健康危險(xiǎn):吸入濃度高的四氟化碳后,出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀。 四氟化碳沒(méi)有腐蝕性。無(wú)錫***四氟化碳廠家供貨
與可燃性氣體一起燃燒時(shí),發(fā)生分解,產(chǎn)生的氧化物。蘇州新能源四氟化碳哪里有
隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)邁入新時(shí)代,化工行業(yè)在增強(qiáng)供給、**供給和高質(zhì)量供給上持續(xù)發(fā)力,也將面臨如何努力正確探索平穩(wěn)健康運(yùn)行和高質(zhì)量發(fā)展的新機(jī)遇。雖然近年來(lái)我國(guó)化工行業(yè)整體規(guī)模飛速壯大,但有限責(zé)任公司(自然)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力、收入能力、人均收入等方面指標(biāo)與發(fā)達(dá)地區(qū)差距較大,在人均收入等部分指標(biāo)上我國(guó)部分企業(yè)不足全球優(yōu)先企業(yè)的1/10。加快提升企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,培育具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的企業(yè)和企業(yè)集團(tuán),是我國(guó)化工產(chǎn)業(yè)必須要下大力氣補(bǔ)齊的短板。建議加快培育創(chuàng)新型企業(yè),通過(guò)各種手段支持企業(yè)建立工程技術(shù)中心等研發(fā)機(jī)構(gòu),著力帶領(lǐng)自主創(chuàng)新超純氣,電子氣,標(biāo)準(zhǔn)氣,同位素氣體產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。在全球化工行業(yè)業(yè)績(jī)承壓的環(huán)境下,各個(gè)塑料巨頭們都在找尋下一個(gè)收入點(diǎn)。未來(lái),經(jīng)濟(jì)上的成功將越來(lái)越取決于數(shù)字化、生產(chǎn)流程和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的有機(jī)融合,這需要?jiǎng)?chuàng)新的貿(mào)易型。如今,*根據(jù)材料的功能來(lái)評(píng)估材料價(jià)值是不夠的,可持續(xù)性也越來(lái)越重要。蘇州新能源四氟化碳哪里有
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