硅晶圓經(jīng)過SC-1和SC-2溶液清洗后,由于雙氧水的強氧化力,在晶圓表面上會生成一層化學氧化層。為了確保閘極氧化層的品質(zhì),此表面氧化層必須在晶圓清洗過后加以去除。另外,在IC制程中采用化學汽相沉積法(CVD)沉積的氮化硅、二氧化硅等氧化物也要在相應(yīng)的清洗過程中有選擇的去除?;瘜W清洗是利用各種化學試劑和有機溶劑去除附著在物體表面上的雜質(zhì)的方法。在半導(dǎo)體行業(yè),化學清洗是指去除吸附在半導(dǎo)體、金屬材料以及用具表面上的各種有害雜質(zhì)或油污的工藝過程。IC封裝藥水無毒、無味等特點,不含有害物質(zhì),環(huán)保型水性產(chǎn)品。蘇州IC封裝藥水報價
IC封裝藥液由于連續(xù)處理過程中濃度不斷變化,要定期測定PH值,確定IC-502清洗劑含量濃度,保持在規(guī)定的濃度范圍內(nèi),及時補充添加,以確保清洗效果。工件油污清洗干凈后用清水沖洗,水洗后的工件再做后續(xù)處理。工件如需防銹,油污清洗干凈后直接烘干,不需要水洗,用水沖洗會影響防銹效果。定期清理脫脂槽,定期倒槽排渣。IC芯片容易生銹,不但影響外觀質(zhì)量,還會影響噴漆、粘接等工藝的正常進行,如不及時處理,更會造成材料的報廢,導(dǎo)致不必要的經(jīng)濟損失。蘇州IC除膠清潔廠家地址IC封裝藥水經(jīng)本劑處理的工件,可保持金屬本色,不影響加工精度。
在我們會用到IC除銹劑,那么大家是否了解使用IC除銹劑時需要注意什么?下面為大家詳細介紹:為了更好的除銹效果,如果,被處理的工件表面腐蝕嚴重,首先要用鋼刷或其他機械方法去除腐蝕嚴重的部分,然后用IC除銹劑處理。處理中的材料表面如果有油層,則需要用除油劑去除油污后,再用IC除銹劑進行除銹處理。處理之后的金屬工件表面附著了鈍化膜或者磷化膜(致密氧化層),厚度約為1微米、可防止工件被二次腐蝕,可以有效地切斷空氣和工件基體之間的接觸。
IC清潔劑在諸多的清洗工序中,只要其中某一工序達不到要求,則將前功盡棄,導(dǎo)致整批芯片的報廢,所以可以毫不夸張地說,沒有有效的清洗技術(shù),便沒有集成電路和超大規(guī)模集成電路的現(xiàn)在。傳統(tǒng)清洗技術(shù)主要使用酸、堿、雙氧水、甲苯、三氯乙烯、氟利昂等化學試劑,成本高,而且有毒,有腐蝕性,危害安全與健康并污染環(huán)境,特別是氟利昂等ODS物質(zhì)研究破壞地球臭氧層,危及人類生態(tài)環(huán)境,是國際上限期禁止生產(chǎn)和使用的物質(zhì)。多年來,國內(nèi)外科學家就致力于研究無毒,無腐蝕性的清洗工藝,但尚未取得突破。IC封裝藥水微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。
IC除銹劑使用方法及注意事項:浸泡法:優(yōu)點是可以在表面形成均勻的防銹膜,保證產(chǎn)品的完全覆蓋,成本較低,缺點是只適用于小型產(chǎn)品,使用低粘度的防銹油,浸泡槽必須有很好排水系統(tǒng)。噴霧法:適用于大型且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的產(chǎn)品,必須使用高效能的噴霧器,容易出現(xiàn)產(chǎn)品未能完全形成防銹膜,使用時工作環(huán)境要求通風性能要好。刷涂法:此方法使用簡單,但是必須要確保工件的每一個位置都有刷涂到,使用前刷子必需保持清潔。沖洗法:效率高,循環(huán)使用,可節(jié)省成本,但是需要定期對槽內(nèi)的產(chǎn)品進行排水以及定期進行更換,避免水分及其他物質(zhì)過多影響防銹效果。IC封裝藥水穩(wěn)定性好,防腐蝕性強,保護效果好,金屬表面不褪色,從保護金屬元件的穩(wěn)定性。IC芯片清洗劑報價
IC封裝藥水牢固地吸附在金屬表面上的物理膜。蘇州IC封裝藥水報價
表面顆粒度會引起圖形缺陷、外延前線、影響布線的完整性以及鍵合強度和表層質(zhì)量。顆粒的去除與靜電排斥作用有關(guān),所以硅片表面呈正電時,容易降低顆粒去除效率,甚至出現(xiàn)再沉淀。傳統(tǒng)的濕法化學清洗中所需要解決的主要問題有:化學片的純度、微粒的產(chǎn)生、金屬雜質(zhì)的污染、干燥技術(shù)的困難、廢水廢氣的處理等。尋求解決上述問題的過程中,發(fā)現(xiàn)改用氣相清洗技術(shù)是一個有效途徑。隨著微電子新材料的使用和微器件特征尺寸的進一步減小,迫切需要一種更具選擇性更環(huán)保、更容易控制的清潔清洗技術(shù),IC清潔劑在后道工序中銅引線、焊盤、鍵合等都需要進行有機污染物的清洗,用濕法清洗也很難達到目的。蘇州IC封裝藥水報價