現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟效益等。硅片清洗技術(shù)評價的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對環(huán)境的污染;經(jīng)濟的可接受:包括設(shè)備與運行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷。防變色劑一般分為兩種:一種為有機封閉劑,一種為油性封閉劑。IC封裝藥水供求信息
翻新工藝中可根據(jù)回收物情況不同設(shè)計多次清洗環(huán)節(jié)。在污染情況不是很嚴(yán)重的情況下,需在工藝設(shè)計清洗環(huán)節(jié)即可,去除自有污染物及翻新工藝污染物(如維修補焊、打磨、拋光工藝后的污染物殘留)。如回收來的線路板或芯片污染嚴(yán)重,需根據(jù)污染物組成設(shè)計第1次粗洗,去除大部分污染物,以利于其他翻新工藝的順利進行,然后在工藝設(shè)計精洗環(huán)節(jié)。清洗方法主要有手工刷洗、超聲清洗、噴淋清洗、震蕩清洗等,需根據(jù)企業(yè)實際情況進行選擇??傮w來講,超聲清洗的運行成本、清潔度、清洗效率等綜合來比較優(yōu)。江蘇IC除膠清潔液銷售價IC封裝藥水使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達(dá)到防腐蝕的作用。
IC清潔劑對金屬不腐蝕,可蒸餾回收,反復(fù)使用,比較經(jīng)濟;毒性較低,對環(huán)境污染少;清洗與漂洗可用同一種介質(zhì),使用方便。烴類清洗工藝的缺點,主要的是安全性問題,要有嚴(yán)格的安全方法措施。醇類清洗工藝特點:醇類中乙醇和異丙醇是工業(yè)中常用得有機極性溶劑,甲醇毒性較大,一般做添加劑。醇類清洗工藝特點是:對離子類污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊劑效果非常好,對油脂類溶解能力較弱;與金屬材料和塑料等相容性好,不產(chǎn)生腐蝕和容脹;干燥快,容易晾干或送風(fēng)干燥,可不必使用熱風(fēng);脫水性好,常用做脫水劑。
IC封裝藥液適用于金屬表面,塑料表面,玻璃表面等的清洗和光亮,可以高效去除其表面的松香焊藥,吸塑膠以及墻上粘貼的膠紙,并且有很好的光亮效果。對表面的深層頑固污漬的去除有很好的效果??刹捎媒莘ê筒潦梅ㄟM行除膠。浸泡十分鐘~3小時后,取出工件,再用棉布或軟毛刷將粘膠剝離擦除。由多種進口表面活性、緩蝕劑及其它助劑配制而成的水基清洗劑,針對去除切割工藝的膠粘合劑特別研制。具有除膠速度快,除膠徹底,工作溫度低等優(yōu)點。按比例稀釋成工作液后,加熱至40-60度,浸泡4-6分鐘。防變色劑又稱防腐蝕劑,IC除銹劑。
在執(zhí)行晶圓的前、后段工藝過程時,晶圓需要經(jīng)過無數(shù)次的IC清潔劑清洗步驟,其次數(shù)取決于晶圓的設(shè)計和互連的層數(shù)。此外,由于清洗工藝過程要剝離晶圓表面的光刻膠,同時還必須去除復(fù)雜的腐蝕殘余物質(zhì),金屬顆粒以及其他污染物等,所以清洗過程是及其復(fù)雜的過程。清洗介質(zhì)的選擇從濕法清洗的實踐中,越來越多出現(xiàn)難于解決的問題時,迫使科技人員探索和尋找替代的技術(shù),除了如增加超聲頻率(采用MHz技術(shù))等補救方法之外,選擇的途徑就是選擇氣相清洗技術(shù)來替代(熱氧化法、等離子清洗法等)。IC封裝藥水耐腐蝕性能提高5-20倍。無錫IC芯片清洗劑生產(chǎn)商
IC封裝藥水抗硫化性和耐候性能優(yōu)越,5%硫化鉀測試可通過1-2小時。IC封裝藥水供求信息
IC封裝藥液對于重污垢工件,延長清洗時間或使用多槽多次方式徹底清洗干凈。極易漂洗,無殘留,并對玻璃材質(zhì)無不良影響。本品不含重金屬,亞硝酸鹽等RoHS禁止之物質(zhì)。本品應(yīng)儲于陰涼干燥的庫房內(nèi),嚴(yán)禁日曬雨淋。本品無刺激性,如接觸皮膚,立即用大量清水沖洗15min,如不慎濺入眼中,立即用大量清水沖洗15min,嚴(yán)重者應(yīng)就醫(yī)。使用除膠劑可采用浸泡法和擦拭法進行除膠,浸泡十分鐘~3小時后。取出工件,再用棉布或軟毛刷將粘膠剝離擦除即可。需要注意的是產(chǎn)品有揮發(fā)性,要用塑料桶盛裝,浸泡時蓋好蓋子。IC封裝藥水供求信息
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