在執(zhí)行晶圓的前、后段工藝過程時,晶圓需要經(jīng)過無數(shù)次的IC清潔劑清洗步驟,其次數(shù)取決于晶圓的設(shè)計和互連的層數(shù)。此外,由于清洗工藝過程要剝離晶圓表面的光刻膠,同時還必須去除復(fù)雜的腐蝕殘余物質(zhì),金屬顆粒以及其他污染物等,所以清洗過程是及其復(fù)雜的過程。清洗介質(zhì)的選擇從濕法清洗的實踐中,越來越多出現(xiàn)難于解決的問題時,迫使科技人員探索和尋找替代的技術(shù),除了如增加超聲頻率(采用MHz技術(shù))等補救方法之外,選擇的途徑就是選擇氣相清洗技術(shù)來替代(熱氧化法、等離子清洗法等)。IC封裝藥水對表面的深層頑固污漬的去除有效果。蘇州IC封裝表面處理液廠家直銷價
IC封裝藥液具有剝鎳鍍層功能,有機封閉劑:屬于干性防銹/防變色劑,適用于等產(chǎn)品后防變色,防腐蝕處理。環(huán)保,無鉻,符合國家檢測標準。防變色劑又稱防腐蝕劑,IC除銹劑。封閉劑:是通過化學(xué)品與金屬之間發(fā)生的一種物理反應(yīng),使其金屬表面轉(zhuǎn)化成不易被氧化的狀態(tài),延長金屬使用壽命的方法。封閉的原理:可用薄膜理論來解釋,即認為封閉是由于金屬與氧化性質(zhì)作用,作用時在金屬表面生成一種非常薄的、致密的、覆蓋性能良好的、牢固地吸附在金屬表面上的物理膜。這層膜成單獨相存在,通常是氧化金屬的化合物。南京IC封裝表面處理液供應(yīng)信息IC封裝藥水使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達到防腐蝕的作用。
半水清洗主要采用有機溶劑和去離子水,再加上一定量的活性劑、添加劑所組成的清洗劑。該類清洗介于溶劑清洗和水清洗之間。這些IC清潔劑都屬于有機溶劑,屬于可燃性溶劑,閃點比較高,毒性比較低,使用上比較安全,但是須用水進行漂洗,然后進行烘干。有些清洗劑中添加5%~20%的水和少量表面活性劑,既降低了可燃性,又可使漂洗更為容易。半水清洗工藝特點是:清洗能力比較強,能同時除去極性污染物和非極性污染物,洗凈能力持久性較強;清洗和漂洗使用兩種不同性質(zhì)的介質(zhì),漂洗一般采用純水,漂洗后要進行干燥。
因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學(xué)溶液或氣體去除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機物之雜質(zhì)。污染物雜質(zhì)的分類:IC制程中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,制作過程總是在人的參與下在凈化室中進行,這樣就不可避免的產(chǎn)生各種環(huán)境對硅片污染的情況發(fā)生。根據(jù)污染物發(fā)生的情況,大致可將污染物分為顆粒、有機物、金屬污染物及氧化物。IC封裝藥水通過各種腐蝕測試,具有很強的防銀變色效果。
IC封裝藥液拆膠液切勿觸及眼睛、皮膚,如不慎接觸可用水清洗。用畢及時封好瓶蓋,以免液體揮發(fā)比例失調(diào)影響效果,瓶內(nèi)液體會產(chǎn)生氣體,小心開啟,低溫避光保存。是一種單組份高性能混合溶劑,能有效脫除環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸樹脂、聚丁二烯、三聚氰胺等聚合物為基礎(chǔ)的膠層和經(jīng)環(huán)氧樹脂膠粘接、灌封并固化的零件。揮發(fā)快,溶解及清潔力優(yōu)良。對金屬無損傷、但對塑膠有輕微腐蝕性。用于首飾、標牌、電子、電器各種產(chǎn)品零件返修不良品之用并可清潔相關(guān)工具。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。南京IC封裝表面處理液供應(yīng)信息
由多種進口表面活性、緩蝕劑及其它助劑配制而成的水基清洗劑,針對去除切割工藝的膠粘合劑特別研制。蘇州IC封裝表面處理液廠家直銷價
IC封裝藥液清潔ACF用,對已上溫并硬化的TYPE上的MELAMINE,URETHANE都可以膨脹分離。特別是對HITACHI。SONY的ACF有良好的除去效果。去除能力強,并且效果好無揮發(fā)性,容易保存無刺激性氣味。半導(dǎo)體IC制程主要以20世紀50年代以后發(fā)明的四項基礎(chǔ)工藝(離子注入、擴散、外延生長及光刻)為基礎(chǔ)逐漸發(fā)展起來,由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當(dāng)微細,因此制造過程中,如果遭到塵粒、金屬的污染,很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞,形成短路或斷路等,導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。蘇州IC封裝表面處理液廠家直銷價
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