IC除銹劑不傷害皮膚,長(zhǎng)期接觸時(shí),應(yīng)采取適當(dāng)?shù)膭趧?dòng)保護(hù)措施(眼鏡、橡膠手套、勞動(dòng)防護(hù)服、膠鞋),確保操作員的安全。IC除銹劑不能接觸眼睛,如果意外接觸液體,必須立即用水沖洗或接受療養(yǎng)。請(qǐng)不要誤食IC除銹劑。IC除銹劑的使用方法:根據(jù)被除銹的材質(zhì)不同,除銹時(shí)的要求不同,IC除銹劑的使用方法也不同,必須按照正確的使用要求,才能達(dá)到好的除銹效果。手動(dòng)除銹法:將水和IC除銹劑按照2比1的比例進(jìn)行調(diào)和,將IC除銹劑進(jìn)行稀釋;用稀釋后的IC除銹劑對(duì)生有銹跡的表面進(jìn)行清洗擦拭。IC封裝藥水防止金屬與腐蝕介質(zhì)接觸。蘇州芯片制程藥劑廠家地址
有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個(gè)單獨(dú)的器件連接起來(lái),首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對(duì)沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。這個(gè)過程對(duì)IC制程也是一個(gè)潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時(shí),也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。南京芯片封裝藥水報(bào)價(jià)IC封裝藥水能通過硫化氫和鹽霧測(cè)試48小時(shí)以上。
隨著芯片尺寸加大,工藝線寬減小,從9Onm工藝開始,以往IC清潔劑在清洗過程中使用的超聲波清洗遇到一些問題,如造成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)損傷,在65nm及以下工藝,其損傷程度可能會(huì)加劇。芯片中的深溝槽結(jié)構(gòu)清洗時(shí)清洗液和漂洗去離子水很難進(jìn)入結(jié)構(gòu)內(nèi)部,難以達(dá)到清洗目的。高堆桑式和深溝槽式結(jié)構(gòu)清洗后的干燥過程也是很關(guān)鍵的技術(shù)問題。一般小于130nm工藝中,要求必須去除所有大于或等于100nm的顆粒,而由于表面邊界層的限制,現(xiàn)行清洗技術(shù),如液體或高壓〈液體〉噴射清洗已無(wú)法洗去0onm的顆粒。
IC封裝藥液顆粒主要是一些聚合物、光致抗蝕劑和蝕刻雜質(zhì)等。通常顆粒粘附在硅表面,影響下一工序幾何特征的形成及電特性。根據(jù)顆粒與表面的粘附情況分析,其粘附力雖然表現(xiàn)出多樣化,但主要是范德瓦爾斯吸引力,所以對(duì)顆粒的去除方法主要以物理或化學(xué)的方法對(duì)顆粒進(jìn)行底切,逐漸減小顆粒與硅表面的接觸面積,終將其去除。有機(jī)物雜質(zhì)在IC制程中以多種形式存在,如人的皮膚油脂、凈化室空氣、機(jī)械油、硅樹脂真空脂、光致抗蝕劑、清洗溶劑等。每種污染物對(duì)IC制程都有不同程度的影響,通常在晶片表面形成有機(jī)物薄膜阻止清洗液到達(dá)晶片表面。IC封裝藥水不含H202,藥液維護(hù)容易。
選擇清洗介質(zhì),即IC清潔劑是設(shè)備設(shè)計(jì)、清洗流程、工藝的前提,根據(jù)現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求,結(jié)合當(dāng)前材料科技發(fā)展中出現(xiàn)的新觀念、新成果,把目光集中到超臨界、超凝態(tài),常壓低溫等離子體等介于氣、液相的臨界狀態(tài)物質(zhì)是順理成章的事。超臨界清洗劑:氣相清洗方法,使晶圓在氣相加工過程中可以一直保持在真空是內(nèi),避免污染,因而增加了成品率,并降低了成本,氣相清洗方法采用了非常重要的CO2,超臨界CO2技術(shù)是使CO2成為液態(tài),用高壓壓縮成一種介于液體和氣體之間的流體物質(zhì),"超臨界"狀態(tài)。IC封裝藥水經(jīng)本劑處理的工件,可保持金屬本色,不影響加工精度。江蘇IC剝錫藥水供應(yīng)商
IC封裝藥水使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達(dá)到防腐蝕的作用。蘇州芯片制程藥劑廠家地址
在IC除銹劑涂抹完20分鐘時(shí)間里,必須保證生銹的表面盡量的濕潤(rùn),如果效果不好,可以用IC除銹劑進(jìn)行反復(fù)的擦拭;在擦拭完畢后,用清水沖洗表面,盡量是使用熱水,這樣可以讓表面更快的干燥,同時(shí)還可以預(yù)防生銹。浸泡槽除銹法:在浸泡槽里水和IC除銹劑按照5比1的比例進(jìn)行調(diào)和;除銹的溫度保持常溫即可,如果有條件可以將IC除銹劑進(jìn)行加溫,加溫至上限70攝氏度即可;銹蝕的物體放在浸泡槽內(nèi)浸泡的時(shí)間不能超過三個(gè)小時(shí);浸泡完畢后,用清水沖洗表面,盡量是使用熱水,這樣可以讓表面更快的干燥,同時(shí)還可以預(yù)防生銹。蘇州芯片制程藥劑廠家地址
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