潔凈室竣工驗(yàn)收潔凈室竣工以后和投產(chǎn)后，都需要進(jìn)行性能測定和驗(yàn)收；在系統(tǒng)大修或更新時(shí)，也要進(jìn)行***測定，在測定前對(duì)潔凈室的概況必須***了解。主要內(nèi)容包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和工藝布置的平、剖面圖及系統(tǒng)圖對(duì)空氣環(huán)境條件潔凈度級(jí)別溫、濕度風(fēng)速等的要求空氣處理方案送回風(fēng)、排風(fēng)量及氣流組織人、物凈化方案潔凈室的使用情況廠區(qū)及其周圍污染情況等。各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。混合流潔凈室：單向流和非單向的氣流的潔凈室。江蘇潔凈室檢測值得推薦

潔凈室制造竣工驗(yàn)收的調(diào)試工作1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺(tái)、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲(chǔ)物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對(duì)送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這個(gè)階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項(xiàng)檢測主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動(dòng)作正確無異?，F(xiàn)象。廣東潔凈工作臺(tái)檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)技術(shù)實(shí)力：全國多家自建實(shí)驗(yàn)室分支，檢測更便捷。

潔凈室正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下，室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來達(dá)到。為了保證潔凈室正壓值，送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)機(jī)比較好聯(lián)鎖，系統(tǒng)開啟時(shí)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)先關(guān)排風(fēng)機(jī)，再關(guān)回風(fēng)機(jī)和送風(fēng)機(jī)，以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開啟和關(guān)閉時(shí)受到污染。

維持潔凈室正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設(shè)初期由于圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風(fēng)量;目前維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風(fēng)量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風(fēng)量。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn)，但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。

    每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍：m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標(biāo)準(zhǔn)(高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3?？諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來區(qū)分的，而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境檢測方便客戶

對(duì)于來流的潔凈度，對(duì)通過高效以上過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來說是不成問題的。江蘇潔凈室檢測值得推薦

定義：氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬級(jí)凈化級(jí)別）。特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）（1）自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)（2）換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。江蘇潔凈室檢測值得推薦