1.氣流速度及其均勻性的檢測(cè)：該檢測(cè)是清潔空間效應(yīng)其他基本檢測(cè)的前提。其檢測(cè)的目的是，確定單向潔凈空間工作區(qū)域內(nèi)的平均氣流及其均勻性。2.系統(tǒng)或空間風(fēng)量檢測(cè)。3.室內(nèi)清潔度檢測(cè)：清潔度檢測(cè)是指在清潔環(huán)境中，可達(dá)到的空氣清潔度水平。可以使用顆粒計(jì)數(shù)器識(shí)別。4.自潔時(shí)間檢測(cè)：確定自潔時(shí)間，以了解潔凈室污染時(shí)恢復(fù)原始清潔度的能力。5.氣流模式的檢測(cè)。6.噪聲檢測(cè)。7.光強(qiáng)檢測(cè)：光強(qiáng)檢測(cè)的目的是確定潔凈室內(nèi)的光強(qiáng)水平和光強(qiáng)的均勻性。8.振動(dòng)檢測(cè)：振動(dòng)檢測(cè)的目的是檢測(cè)潔凈室的振動(dòng)幅度。9.溫濕度檢測(cè)：溫濕度檢測(cè)的目的是將溫度和濕度調(diào)節(jié)到一定限度。其內(nèi)容包括無塵室供氣溫度檢測(cè)、代表性測(cè)點(diǎn)氣溫檢測(cè)、無塵室中心氣溫檢測(cè)、敏感元件氣溫檢測(cè)、相對(duì)室內(nèi)溫度檢測(cè)和回風(fēng)溫度檢測(cè)。潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃，相對(duì)濕度應(yīng)為45%~65%。遼寧實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)誠(chéng)信推薦

(1)凈化處理原則：能用局部?jī)艋膱?chǎng)合，就盡可能不用凈化；或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對(duì)來說，潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下)，測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下，可以看出，各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然，其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒有較好調(diào)節(jié)的原因，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)好生物潔凈室它與工業(yè)潔凈室一樣所不同的是控制參數(shù)中增加了控制室內(nèi)細(xì)菌的濃度。

潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是指對(duì)潔凈室進(jìn)行檢測(cè)和評(píng)估時(shí)所遵循的一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。以下是一些常見的潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：ISO 14644系列標(biāo)準(zhǔn)：這是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）制定的一系列標(biāo)準(zhǔn)，用于評(píng)估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO 14644-1是**常用的標(biāo)準(zhǔn)，定義了潔凈室中空氣中顆粒物的數(shù)量限制。GMP（Good Manufacturing Practice）：這是一種制藥行業(yè)常用的質(zhì)量管理體系，包括對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)、操作和維護(hù)等方面的要求。USP（United States Pharmacopeia）：這是美國(guó)藥典，其中包含了對(duì)潔凈室的要求和測(cè)試方法。EU GMP（European Union Good Manufacturing Practice）：這是歐盟制藥行業(yè)的質(zhì)量管理體系，對(duì)潔凈室的要求和測(cè)試方法與GMP類似。FDA（Food and Drug Administration）：這是美國(guó)食品藥品監(jiān)督管理局，對(duì)潔凈室的要求和測(cè)試方法進(jìn)行監(jiān)管。IEST（Institute of Environmental Sciences and Technology）：這是一個(gè)專門研究潔凈技術(shù)的組織，制定了一些潔凈室測(cè)試和評(píng)估的標(biāo)準(zhǔn)。以上是一些常見的潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，具體的標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域和要求來確定。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。

2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。***個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。3、壓差這項(xiàng)檢測(cè)的目的是驗(yàn)證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項(xiàng)檢測(cè)適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)。壓差的測(cè)試應(yīng)在所有的門都關(guān)閉的條件下，由高壓向低壓、由平面布置上與外界**遠(yuǎn)的里間房間開始，依次向外測(cè)試;有孔洞相通的不同等級(jí)相鄰的潔凈室(區(qū))，其洞口處宜有合理的氣流流向等等。按潔凈度級(jí)別劃分為1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)、4級(jí)、5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)、9級(jí)。9級(jí)為低等級(jí)別。檢測(cè)技術(shù)好

主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。遼寧實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)誠(chéng)信推薦

A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學(xué)布點(diǎn)，而且要避開回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè)，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)，工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右，送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。遼寧實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)誠(chéng)信推薦