(二)潔凈室制造竣工驗(yàn)收的調(diào)試工作1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這個階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項(xiàng)檢測主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動作正確無異?,F(xiàn)象。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測技術(shù)好
3. 壓差檢測:潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4. 氣流速度檢測:潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5. 表面潔凈度檢測:潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測,評估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。湖北實(shí)驗(yàn)室檢測動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運(yùn)行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。
(一)根據(jù)潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)的結(jié)果及風(fēng)險(xiǎn)評估,確定取樣點(diǎn)的位置并進(jìn)行日常動態(tài)監(jiān)控。(二)在關(guān)鍵操作的全過程中,包括設(shè)備組裝操作,應(yīng)當(dāng)對A級潔凈區(qū)進(jìn)行懸浮粒子監(jiān)測。生產(chǎn)過程中的污染(如活生物、放射危害)可能損壞塵埃粒子計(jì)數(shù)器時,應(yīng)當(dāng)在設(shè)備調(diào)試操作和模擬操作期間進(jìn)行測試。A級潔凈區(qū)監(jiān)測的頻率及取樣量,應(yīng)能及時發(fā)現(xiàn)所有人為干預(yù)、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時,由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴,允許灌裝點(diǎn)≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標(biāo)準(zhǔn)的情況。(三)在B級潔凈區(qū)可采用與A級潔凈區(qū)相似的監(jiān)測系統(tǒng)??筛鶕?jù)B級潔凈區(qū)對相鄰A級潔凈區(qū)的影響程度,調(diào)整采樣頻率和采樣量。(四)懸浮粒子的監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)考慮采樣管的長度和彎管的半徑對測試結(jié)果的影響。(五)日常監(jiān)測的采樣量可與潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)時的空氣采樣量不同。(六)在A級潔凈區(qū)和B級潔凈區(qū),連續(xù)或有規(guī)律地出現(xiàn)少量≥5.0 μm的懸浮粒子時,應(yīng)當(dāng)進(jìn)行調(diào)查。
人們認(rèn)為這種單向、平行的氣流應(yīng)該充滿整個潔凈室,但這在技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著知識的發(fā)展,人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動”,相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過整個空間的潔凈空氣的單向流動特性為主的房間也稱為單向流動潔凈室。也就是說,不需要在整個房間內(nèi)有單向平行流線、勻速、無渦流,而只需要單向平行流特性來支配房間,例如 整個工作區(qū)水平空間保證單向流動,本房間為單向流動潔凈室。前面介紹的國內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和措施中單向流潔凈室所達(dá)到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達(dá)到的潔凈度。因此,密集布置的流線型擴(kuò)壓器頂部進(jìn)料和全孔板頂部進(jìn)料也被用作實(shí)現(xiàn)垂直單向流動的手段。安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。
(1)檢測前,被測潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài),其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi);被測試的潔凈室(區(qū))應(yīng)已進(jìn)行過消毒;同時,潔凈室的測試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求,并在測試報(bào)告中注明其測試狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))。(2)測試人員必須穿戴潔凈服,而且一般不得超過兩個人。(3)凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時間對單向流如5 級(100 級)潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_不得少于10min;對非單向流如7 級(10000 級)、8 級(100000 級)的潔凈室不得少于30min。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體,風(fēng)機(jī),初效空氣過濾器,高效空氣過濾器。浙江消毒液凈化車間環(huán)境檢測
凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測技術(shù)好
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測技術(shù)好