-連接氮氣，檢查氮氣供氣壓力為50psig()。，等幾分鐘后，氣溶膠到達終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值，調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間，讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標(biāo)至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認”鍵，調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框，距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp，使用3cm*3cm正方形采樣頭時，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭，Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度，Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時間變化不應(yīng)超過平均測量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮氣繼續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級（高效檢漏）非層流潔凈室（高效檢漏）A.拆除層流罩B.額定風(fēng)速確定測量點距過濾器出風(fēng)面約150-300mm測試點數(shù)取測試面積10倍的平方根，且不少點。蔚亞科技提供科學(xué)、公正、具有法律效力的檢測數(shù)據(jù)和報告。廣東實驗室環(huán)境檢測認真負責(zé)

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。

1、凡有試運轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進行單機試運轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機組、送風(fēng)增壓風(fēng)機箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機試運轉(zhuǎn)合格后需對送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達到設(shè)計要求。這個階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進行多次。此項檢測主要由承包商負責(zé)建設(shè)方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)時間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動運轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動作正確無異常現(xiàn)象。

（1）亂流潔凈室a.對于不安裝過濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測試的方法進行。b.對于安有過濾器的風(fēng)口，根據(jù)風(fēng)口形式可選用輔助風(fēng)管，即用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同、長度等于2倍風(fēng)口邊長的直管段連接于過濾器風(fēng)口外部在輔助風(fēng)管出口平面上，按**少測點數(shù)不少于6點均勻布置測點，用熱球風(fēng)速儀測定各點風(fēng)速，以風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈截面積確定風(fēng)量。c.對于安有同類擴散板的風(fēng)口，可以根據(jù)擴散板的風(fēng)量阻力曲線和實測擴散板阻力，查出風(fēng)量測定時用微壓計和畢托管或用細橡管代替畢托管，但都必須使測孔平面與氣流方向垂直使測值正確反映靜壓值。設(shè)備及儀器方面：先進的設(shè)備和技術(shù)，可確保測試結(jié)果準(zhǔn)確。

單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)模瑖獾囊恍?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點。例如，英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞，并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時使用的成語中，“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年，我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠轉(zhuǎn)，但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。江蘇國內(nèi)檢測規(guī)范性強

凡有試運轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。廣東實驗室環(huán)境檢測認真負責(zé)

（二）潔凈室制造竣工驗收的調(diào)試工作1、凡有試運轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進行單機試運轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機組、送風(fēng)增壓風(fēng)機箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機試運轉(zhuǎn)合格后需對送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達到設(shè)計要求。這個階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進行多次。此項檢測主要由承包商負責(zé)建設(shè)方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)時間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動運轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動作正確無異常現(xiàn)象。廣東實驗室環(huán)境檢測認真負責(zé)