潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對(duì)室內(nèi)的污染。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個(gè)房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排到室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國(guó)有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動(dòng),使塵粒只能向前(向下)移動(dòng)而不能返回, 在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過(guò)濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會(huì)將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對(duì)于有開(kāi)口與外界相連的局部?jī)艋O(shè)備,如潔凈工作臺(tái),這種氣流會(huì)導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計(jì)中,必須減少濾框占用的無(wú)效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過(guò)濾器的有效風(fēng)截面。廣東電子廠房環(huán)境檢測(cè)抽樣對(duì)有設(shè)計(jì)要求的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。
(1)亂流潔凈室a.對(duì)于不安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試的方法進(jìn)行。b.對(duì)于安有過(guò)濾器的風(fēng)口,根據(jù)風(fēng)口形式可選用輔助風(fēng)管,即用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同、長(zhǎng)度等于2倍風(fēng)口邊長(zhǎng)的直管段連接于過(guò)濾器風(fēng)口外部在輔助風(fēng)管出口平面上,按**少測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)均勻布置測(cè)點(diǎn),用熱球風(fēng)速儀測(cè)定各點(diǎn)風(fēng)速,以風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈截面積確定風(fēng)量。c.對(duì)于安有同類擴(kuò)散板的風(fēng)口,可以根據(jù)擴(kuò)散板的風(fēng)量阻力曲線和實(shí)測(cè)擴(kuò)散板阻力,查出風(fēng)量測(cè)定時(shí)用微壓計(jì)和畢托管或用細(xì)橡管代替畢托管,但都必須使測(cè)孔平面與氣流方向垂直使測(cè)值正確反映靜壓值。
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器,設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過(guò)程及判定(1)測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。(2)潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣,除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外,另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。(3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。(4)被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。(5)被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書(shū)測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.(7)測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。檢測(cè)是驗(yàn)證潔凈室是否達(dá)標(biāo)的一個(gè)指標(biāo)。
對(duì)于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長(zhǎng)的支管段,且已經(jīng)或可以打孔時(shí),可以用風(fēng)管法確定風(fēng)量,測(cè)定斷面距局部阻力部件距離在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長(zhǎng)度。對(duì)于矩形風(fēng)管,將測(cè)定截面分成若干個(gè)相等的小截面,每個(gè)小截面盡可能接近正方形邊長(zhǎng),比較好不大于200mm測(cè)點(diǎn),設(shè)于小截面中心,但整個(gè)截面上的測(cè)點(diǎn)數(shù)不宜少于3個(gè)。對(duì)于圓形風(fēng)管,應(yīng)該按等面積圓環(huán)法劃分測(cè)定截面和確定測(cè)點(diǎn)數(shù)。具體可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)管法測(cè)量風(fēng)量的方法進(jìn)行。按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)哪家好
凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
、溫濕度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:潔凈區(qū)的溫度和相對(duì)濕度與藥品生產(chǎn)工藝要求相適應(yīng)。無(wú)特殊要求時(shí),潔凈區(qū)溫度為18℃~26℃,相對(duì)濕度控制在45%~65%。有特殊要求車(chē)間根據(jù)工藝控制。溫度觀察:檢查溫濕度計(jì)是否完整,視線正對(duì)溫濕度計(jì)水平讀取顯示的數(shù)據(jù),需要記錄的應(yīng)立即填入表格中。濕度觀察:視線正對(duì)濕度表,準(zhǔn)確讀數(shù)。需記錄的應(yīng)立即填入表格中。需要加水的濕度計(jì),在觀察前應(yīng)檢查在蓄水腔內(nèi)是否有水,無(wú)水則需加入適量水,再觀察濕度。潔凈區(qū)的溫濕度每天至少記錄兩次,上午一次,下午一次。設(shè)備計(jì)量人員每年至少組織校驗(yàn)一次監(jiān)控系統(tǒng)的儀器設(shè)備。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦