16.4.22臭氧濃度的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時(shí)，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下，檢測(cè)室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：當(dāng)對(duì)新風(fēng)效果作細(xì)致確認(rèn)時(shí)，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行、室內(nèi)處于動(dòng)態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測(cè)室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當(dāng)需要測(cè)定分子態(tài)污染物濃度時(shí)，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗(yàn)方商定的方法檢測(cè)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求或雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)塵室的重要性遠(yuǎn)超我們的想象。浙江國(guó)內(nèi)無(wú)塵室檢測(cè)范圍

無(wú)塵室凈化車間管理規(guī)范1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等3、嚴(yán)格各類設(shè)備，設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備，設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn)，包括凈化系統(tǒng)，各類水，氣，電系統(tǒng)。上海半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)無(wú)塵室創(chuàng)造了一個(gè)幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間，為高精密制造、敏感實(shí)驗(yàn)和科研工作提供了理想的環(huán)境。

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間，并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高超凈間等級(jí)。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動(dòng)路線和物料傳輸布置時(shí),應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置;空氣潔凈度等級(jí)相同的工序或工作室宜集中布置。潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)。

2.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。無(wú)塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)量。上海照度無(wú)塵室檢測(cè)報(bào)告

無(wú)塵室在需要對(duì)空氣中的微粒、微生物和污染物進(jìn)行控制的行業(yè)中都會(huì)有廣泛的應(yīng)用。浙江國(guó)內(nèi)無(wú)塵室檢測(cè)范圍

11. 4.1 生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管，應(yīng)同時(shí)安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺(tái)生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時(shí)，支管應(yīng)采用防回流裝置，并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風(fēng)管道之前，應(yīng)對(duì)高效過濾器安裝邊框及整個(gè)濾芯面掃描檢漏。當(dāng)為零泄漏排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)對(duì)濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關(guān)的手動(dòng)調(diào)節(jié)閥定風(fēng)量系統(tǒng)中，當(dāng)多臺(tái)安全柜排風(fēng)并聯(lián)時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)在安全柜安裝后應(yīng)重新平衡，采用壓力無(wú)關(guān)的風(fēng)量平衡閥時(shí)可不做此項(xiàng)平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應(yīng)進(jìn)行下列現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn).浙江國(guó)內(nèi)無(wú)塵室檢測(cè)范圍