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5.5.2當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室(區(qū))內(nèi),電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規(guī)定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構(gòu)造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求,并應方便操作和運送。根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應避免渦流區(qū)。北京手術(shù)室潔凈室檢測服務(wù)
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應符合下列要求:1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時,也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。醫(yī)療器具潔凈室檢測目的設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應簡潔、明快,并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術(shù)夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設(shè)有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機。
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。為了達到規(guī)定的潔凈度級別,有效地控制微粒的污染。江蘇半導體凈化車間潔凈室檢測哪家好
凈化空調(diào)系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。北京手術(shù)室潔凈室檢測服務(wù)
5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴密結(jié)合,使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內(nèi),同時使?jié)崈羰以谡9ぷ鲿r易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多,如液槽密封、機械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝??傊?,沒有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應具有一定的承重能力,以便施工、運行時人員行走。北京手術(shù)室潔凈室檢測服務(wù)