為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過(guò)一次烘烤，稱(chēng)之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過(guò)優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤，稱(chēng)之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應(yīng)；激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點(diǎn)，加快干燥的速度。舟山雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗真空烘箱PID調(diào)節(jié)

    本實(shí)用新型的工作原理：首先將不同熱量需求的原料放置在相應(yīng)的支撐板13上，然后將熱水源與每一個(gè)進(jìn)水管6以及出水管8相連通，熱水同時(shí)從每一個(gè)進(jìn)水管6進(jìn)入到每一層對(duì)應(yīng)的導(dǎo)流管10內(nèi)，并對(duì)支撐板13上的原料進(jìn)行烘干，每一個(gè)導(dǎo)流管10內(nèi)的熱水經(jīng)對(duì)應(yīng)的出水管8流出，并回到熱水源中進(jìn)行加熱以便再次循環(huán)使用。本實(shí)用新型的有益效果：（1）本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可對(duì)不同原料進(jìn)行加熱烘干，烘干效果好、烘干效率高、適用范圍廣。（2）本實(shí)用新型中每一個(gè)進(jìn)水管6與上層對(duì)應(yīng)導(dǎo)流管10之間、上下相鄰兩個(gè)導(dǎo)流管10之間、下層每一個(gè)導(dǎo)流管10與對(duì)應(yīng)出水管8之間均采用螺紋式快速連接，操作簡(jiǎn)單，使用方便，連接牢靠，保證了其內(nèi)熱水的穩(wěn)定流動(dòng)，從而提高了烘干效率。（3）本實(shí)用新型在每一個(gè)進(jìn)水管6、出水管8以及導(dǎo)流管10內(nèi)均沿其長(zhǎng)度方向錯(cuò)位豎直設(shè)有上隔板11和下隔板12，用于降低熱水的流速，從而提高了烘干效果。溫州雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗真空烘箱監(jiān)控系統(tǒng)鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀(guān)察工作室內(nèi)物體，一目了然。

真空烘箱，是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它的工作原理是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點(diǎn)，加快干燥的速度。真空烘箱能在較低溫度下得到較高的干燥速率，熱量利用充分，主要適用于對(duì)熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥。在干燥前可進(jìn)行消毒處理，干燥過(guò)程中不得有任何雜物混入，本干燥器屬于靜態(tài)真空干燥器，故干燥物料的形成不會(huì)損壞。加熱方式有：蒸汽、熱水、導(dǎo)熱油、電熱。

    比起常規(guī)干燥技術(shù)具備以下優(yōu)勢(shì)：真空環(huán)境降低了需要驅(qū)逐的液體的沸點(diǎn)，所以真空干燥可以輕松應(yīng)用于熱敏性物質(zhì)；對(duì)于不容易干燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時(shí)間；各種構(gòu)造復(fù)雜的機(jī)械部件或其他多孔樣品經(jīng)過(guò)清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何參與物質(zhì)；使用更安全――在真空或惰性條件下，完全消除氧化物遇熱膨脹的可能；與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比，粉末狀樣品不會(huì)被流動(dòng)空氣吹動(dòng)或移動(dòng)?？刂铺攸c(diǎn)：具有因停電、死機(jī)造成狀態(tài)數(shù)據(jù)和保存的參數(shù)記憶丟失，來(lái)電恢復(fù)功能。產(chǎn)品材料及特點(diǎn)：采用流線(xiàn)型圓弧設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；本機(jī)溫控系統(tǒng)采用微電腦單片機(jī)設(shè)計(jì)，具有溫控、定時(shí)、超溫報(bào)警功能；這款真空烘箱采用雙屏高亮度數(shù)碼管顯示，示值準(zhǔn)確直觀(guān)，性能優(yōu)越，觸摸式按鍵設(shè)定調(diào)整參數(shù)；溫度具有定時(shí)功能,定時(shí)時(shí)間長(zhǎng)達(dá)9999分鐘；內(nèi)膽均為3mm厚不銹鋼材料制成，半圓形四角設(shè)計(jì)更方便清潔；外箱采用，鋼板外表面采用精密雙層粉體烤漆處理,與通常的外表噴涂處理相比外觀(guān)更加美觀(guān)大方及增強(qiáng)了其防腐防生銹性能；加熱方式為鎳鉻合金電加熱器，均勻分布在工作室四周外壁，保證箱體內(nèi)部溫度均勻。干燥完成后，先將放氣閥打開(kāi)，放出里面氣體，再進(jìn)行打開(kāi)真空干燥箱箱門(mén)，取出物料。

    高溫真空烘箱主要是針對(duì)各種電子、塑膠、金屬.....耐高溫性能測(cè)試。用于干燥、烘烤、預(yù)熱各種材料或試片。采用特殊設(shè)計(jì)之強(qiáng)制循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)，可靠保證工作溫度分布均勻度。性能特點(diǎn)箱體結(jié)構(gòu)：整機(jī)結(jié)構(gòu)為一體式；真空泵安裝：真空泵安裝于機(jī)器下部面板安裝：控制面板安裝于機(jī)臺(tái)下方開(kāi)門(mén)方式：?jiǎn)伍T(mén)由右至左開(kāi)啟；可視窗：門(mén)上帶可視窗，規(guī)格W200*H250mm安裝帶剎車(chē)活動(dòng)腳輪，可任意推動(dòng)溫度控制為PID數(shù)顯儀表（臺(tái)**松儀表EM705），單點(diǎn)式控溫，可自動(dòng)演算，PV/SV同時(shí)顯示，按鍵設(shè)定定時(shí)器設(shè)定:1秒－9999時(shí)（可選擇設(shè)定小時(shí)、分鐘、秒）溫到計(jì)時(shí)，時(shí)間到停止加熱，同時(shí)報(bào)警提示300度高溫真空烘箱技術(shù)參數(shù)型號(hào)：GT-TK-125溫度范圍：常溫+20℃~+300℃內(nèi)尺寸：500(寬)×500(深)×500(高)mm；（單箱式）外尺寸約：800(寬)×820(深)×1420(高)mm+110輪高,以實(shí)物為準(zhǔn)內(nèi)材質(zhì)為：304#不銹鋼板外材質(zhì)為：冷軋鋼板保溫材質(zhì)為：耐高溫巖棉，保溫效果好控制精度：±℃;顯示精度：℃；溫度過(guò)沖：≤3℃真空感應(yīng)器為：壓力感應(yīng)；真空度使用范圍：真空保壓泄漏率：約；真空控制方式為，自動(dòng)控制，達(dá)到上限停止，低于下限啟動(dòng)，循環(huán)工作300度高溫真空烘箱使用說(shuō)明超溫保護(hù)系統(tǒng)：溫度失控時(shí)。箱門(mén)可調(diào)節(jié)式松緊閉合。舟山真空烘箱

定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換。舟山雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗真空烘箱PID調(diào)節(jié)

一般的電熱真空干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以?xún)?nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。舟山雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗真空烘箱PID調(diào)節(jié)

杭州宏譽(yù)智能科技有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量管理的追求。公司自創(chuàng)立以來(lái)，投身于防潮防氧化設(shè)備，精密烘箱，設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備，智能安全存儲(chǔ)設(shè)備，是機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的主力軍。杭州宏譽(yù)科技始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。杭州宏譽(yù)科技創(chuàng)始人田光宏，始終關(guān)注客戶(hù)，創(chuàng)新科技，竭誠(chéng)為客戶(hù)提供良好的服務(wù)。