為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對晶片進行預處理。預處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮氣的機臺中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低。實際上軟烘工藝需要通過優(yōu)化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對晶片進行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應；激發(fā)化學增強光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護基團發(fā)生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。 防止潮濕氣體進入真空泵，造成真空泵故障。湖州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱維修維護

常用PI/BCB/BPO膠的固化方法如下：1、在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑；2、通過旋轉(zhuǎn)方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)PI/BCB/BPO膠，接著將涂覆好PI/BCB/BPO膠的半導體芯片放入固化爐中，并通入氮氣保護；3、加熱固化爐，使涂覆PI/BCB/BPO膠的半導體芯片達到一溫度，穩(wěn)定一段時間，使PI/BCB/BPO膠中的溶劑分布均勻4、再將加熱固化爐升高到第二溫度，穩(wěn)定一段時間，使PI/BCB/BPO膠中的溶劑充分揮發(fā)；5、再將加熱固化爐升高至第三溫度，穩(wěn)定一段時間，在半導體芯片表面形成低介電常數(shù)PI/BCB/BPO膠薄膜；6、將加熱固化爐的溫度降至一預定溫度，關(guān)氮氣，取出樣品，完成固化工藝。蘇州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱適用范圍真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

真空干燥箱和一般的烘箱區(qū)別真空箱：是在負壓下工作，氧含量少，可以減少或杜絕氧化反應。負壓下溶劑的沸點降低，避免高溫干燥損壞物料品質(zhì)。若溶劑為有害或有價值的氣體可以冷凝回收。缺點：溫度均勻性不好控制，如需控制均勻性必須做多層層板且單獨加熱。也有真空箱體帶風機，先真空再充氮氣的加熱的。這樣可以減少氧化，且通過鼓風保證均勻性。但是沒有辦法降低溶劑沸點。一般烘箱：是通過電加熱再加鼓風，用熱空氣換熱使物料干燥。通常較真空干燥比造價低，運行成本低。

    真空鍍膜蒸鍍塑料件工藝流程：1、來料檢查；2、干燥待真空鍍膜鍍件來料時含較多的水分，需干燥處理3-5小時，溫度50-60度；3、上架，一般注塑時基本按真空鍍膜機生產(chǎn)，因此待真空鍍膜鍍件表面一般油污較少經(jīng)過一般的擦拭就可上架，但是來料油污多時需進行去污處理。方法是用清沾劑逐件刷洗，漂洗，烘干。油污嚴重時還需要用清洗劑在50-60度，浸泡15-20min進行脫脂處理；4、除塵，這道工序是保證真空鍍膜鍍膜質(zhì)量的關(guān)鍵之一，方法有兩種：一種是用吸塵器對準待真空鍍膜鍍件仔細地除塵，另一種是用高壓其“吹塵”的方法；5、涂底漆；6、烘干，涂漆流平后進行干固處理，方法有紅外線加熱法，電熱加熱法及紫外線(UV)固化法等，固化溫度為60-70度，固化時間為；7、真空鍍膜，真空鍍膜是保證真空鍍膜鍍膜質(zhì)量的關(guān)鍵。真空鍍膜的鍍膜操作：待真空鍍膜鍍件上架并裝上鎢絲，然后入爐，檢查接觸是否良好，轉(zhuǎn)動正常，關(guān)真空鍍膜真空室，抽真空，真空鍍膜蒸發(fā)鋁，作為裝飾膜真空鍍膜蒸鋁時的真空鍍膜真空度控制在（1-2）*10-2Pa，真空鍍膜蒸發(fā)采用快速蒸發(fā)可減少氧化概率，又不會使真空鍍膜磨蹭的組織結(jié)構(gòu)變粗。冷卻充氣，真空鍍膜蒸鋁以后，即可充氣出爐；8、涂面漆。 工作室采用不銹鋼鋼板。

    充氮真空烘箱(N2VacuumOvens)適用范圍:適用于半導體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。產(chǎn)品特點:1、迅速脫氧：該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造，箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接，密封性能較好，能快速脫氧；2、氮氣功能：可充入氮氣、氬氣等惰性氣體，實現(xiàn)氣氛、無氧、降溫之功能；3、高效率：穩(wěn)定和快速的升溫性能，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率；4、保溫節(jié)能：箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料，有效保溫節(jié)能；5、密封性好：箱門與工作室外框設有耐高溫無塵密封條和壓緊裝置,有效地保證了箱體的密封性能；6、置物架：工作室內(nèi)設計可抽取的載物網(wǎng)板；7、美觀簡潔：設備外形美觀，操作簡便，控溫靈敏準確；8、寬泛的溫度范圍選擇。將物料均勻放入真空干燥箱內(nèi)樣品架上，推入干燥箱內(nèi)；麗水快速干燥真空烘箱調(diào)試調(diào)整

盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內(nèi)。湖州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱維修維護

    比起常規(guī)干燥技術(shù)具備以下優(yōu)勢：真空環(huán)境降低了需要驅(qū)逐的液體的沸點，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質(zhì)；對于不容易干燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間；各種構(gòu)造復雜的機械部件或其他多孔樣品經(jīng)過清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何參與物質(zhì)；使用更安全――在真空或惰性條件下，完全消除氧化物遇熱膨脹的可能；與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動?？刂铺攸c：具有因停電、死機造成狀態(tài)數(shù)據(jù)和保存的參數(shù)記憶丟失，來電恢復功能。產(chǎn)品材料及特點：采用流線型圓弧設計，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；本機溫控系統(tǒng)采用微電腦單片機設計，具有溫控、定時、超溫報警功能；這款真空烘箱采用雙屏高亮度數(shù)碼管顯示，示值準確直觀，性能優(yōu)越，觸摸式按鍵設定調(diào)整參數(shù)；溫度具有定時功能,定時時間長達9999分鐘；內(nèi)膽均為3mm厚不銹鋼材料制成，半圓形四角設計更方便清潔；外箱采用，鋼板外表面采用精密雙層粉體烤漆處理,與通常的外表噴涂處理相比外觀更加美觀大方及增強了其防腐防生銹性能；加熱方式為鎳鉻合金電加熱器，均勻分布在工作室四周外壁，保證箱體內(nèi)部溫度均勻。湖州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱維修維護