微型化真空泵技術及發(fā)展本節(jié)簡要介紹一些研究進展較為明顯，或當前關注度較高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/擴散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級膜片泵通常由一個腔體、一個泵膜、兩個閥門和一個致動器組成，它利用泵膜的往復運動營造腔體容積的周期性變化，利用單向閥門控制氣體流向，實現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結構相對簡單，膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物，驅(qū)動機制可采用靜電、壓電、電滲、氣動和磁力等[16]。關鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝，使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成，構建片上型系統(tǒng)[17]。蠕動泵工作時滾輪或轉(zhuǎn)子沿軟管長度方向滾動，滾動過程中擠壓軟管，使軟管內(nèi)形成自吸壓力將液體吸進軟管中。海南BOXER真空泵

蠕動泵，英文翻譯為peristaltic pump。蠕動泵行業(yè)中的稱呼有：蠕動泵、計量泵、恒流泵、軟管泵、軟管蠕動泵。從輸送的精度方面說屬于計量泵、恒流泵。從產(chǎn)品構造來說屬于軟管泵；從產(chǎn)品的原理來說屬于蠕動泵。 蠕動泵的工作原理是通過擠壓軟管實現(xiàn)液體的輸送，因此這種泵輸送的液體在泵內(nèi)只經(jīng)過軟管，沒有死角，因此極易清洗，不會產(chǎn)生殘留，非常適合于需要潔凈輸送的用途。再因為蠕動泵每轉(zhuǎn)一圈都會輸出固定量的流體，因此蠕動泵也非常精細，可以通過調(diào)速和計時的方式實現(xiàn)精確的計量輸送。蠕動狀態(tài)的軟管就像人的腸道一下推動管內(nèi)的流體，因此不會對流體產(chǎn)生擠壓和破壞，不像離心泵的高速葉輪會對流體中的固體產(chǎn)生葉輪旋切。特別適合輸送類似橙子果粒一樣的物料。浙江真空泵變速泵微型蠕動在沒有液體冷卻和潤滑的情況下可能會產(chǎn)生更高的溫度。

提高蠕動泵工作效率的小技巧：蠕動泵管軟管接頭的選擇蠕動泵所產(chǎn)生的吸力是由蠕動泵頭的管輪總成擠壓軟管后軟管回彈所產(chǎn)生的。因此，如果所需要傳輸?shù)牧黧w距離蠕動泵頭過長或者軟管接頭扣邊變小會使得吸入端的阻力變大，阻力變大是使蠕動泵軟管回彈受然后造成實際傳輸流量損失嚴重。同理，如果輸出端的軟管過長或者軟管接頭口徑變小會造成軟管內(nèi)輸出阻力變大，造成輸出流量變小。因此在選擇蠕動泵軟管接頭的時候軟管接頭不要小于泵頭裝卡軟管的口徑。同時蠕動泵軟管入口處也要盡可能短。5、關于流量在蠕動泵選型時理論流量應該大于實際的流量。因為蠕動泵泵管質(zhì)地較軟在其工作過程中產(chǎn)生的排擠壓力和負壓相對較小，所傳輸?shù)牧黧w如有粘度亦或者蠕動泵管長度較長，期間就會損失一定的流量，因此在選購蠕動泵的時候應該選擇理論流量高于實際流量。

蠕動泵的工作原理蠕動泵的工作原理是，通過旋轉(zhuǎn)的滾輪或轉(zhuǎn)子交替擠壓和釋放彈性輸送軟管來泵送流體，使管內(nèi)形成負壓，流體隨之流動。具體來說，蠕動泵通常由驅(qū)動器、泵頭和軟管三部分組成。當蠕動泵工作時，滾輪或轉(zhuǎn)子沿著軟管的長度方向滾動，在滾動的過程中會擠壓軟管，使得軟管內(nèi)部形成自吸壓力，將液體吸進軟管中。隨著滾輪或轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動，將液體運送到出液端，同時將液體推送到出料口，實現(xiàn)流體的輸送。泵內(nèi)部不需要真空泵油和潤滑油，對工作介質(zhì)不產(chǎn)生污染，允許介質(zhì)富含水汽，無需維護；3. 任意方向安裝，體積、噪音小，真正做到了便攜、袖珍。根據(jù)蠕動泵的設計和制造，大部分蠕動泵目前在一定程度上可以干運轉(zhuǎn)。

分配型蠕動泵的特點1.精度高：分配型蠕動泵可以實現(xiàn)非常高的精度，可以滿足對流量和壓力等參數(shù)要求較高的場合。2.可調(diào)性強：分配型蠕動泵可以通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子速度和軟管或者管道壓力來實現(xiàn)流量和壓力等參數(shù)的調(diào)節(jié)。3.無污染：由于蠕動泵不會產(chǎn)生剪切力，因此不會對輸送液體造成污染。4.維護簡單：分配型蠕動泵只需要更換軟管或者管道即可進行維護，非常簡單方便。分配型蠕動泵的安裝和維護1.安裝：需要按照廠家提供的說明書進行安裝，注意安裝位置和方向，確保泵體穩(wěn)固。2.維護：需要定期更換軟管或者管道，清洗泵體和轉(zhuǎn)子等部件。同時需要定期檢查電機和控制系統(tǒng)的運行情況。蠕動泵還具有較好的自吸能力和可逆性，可以通過反轉(zhuǎn)滾輪或滑塊的方向來實現(xiàn)液體的反向流動。KMC真空泵變速

蠕動泵能能輕松的輸送固、液、氣多相混合體及粘性流體，量調(diào)節(jié)簡單方便；具有雙向同等流量輸送能力。海南BOXER真空泵

什么是無油活塞式真空泵？無油活塞真空泵它是連桿通過軸承與偏心壓裝在一起，偏心輪鎖緊在電機軸上，由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，帶動連桿往復運動，從而實現(xiàn)空氣的的吸入、壓縮和排出過程。空氣進入進氣管在進入壓縮機內(nèi)有電機的轉(zhuǎn)動讓活塞往復運動，把空氣壓縮。無油活塞真空泵運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復運動。當汪室在等舸內(nèi)從存端向右端話動時。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減少，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到靠右位置時，氣缸內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內(nèi)氣體的壓強達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環(huán)，如此反復下去，直到被抽容內(nèi)的氣體壓力達到要求時為止。海南BOXER真空泵