KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設(shè)備簡介（包括對(duì)功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設(shè)計(jì)排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時(shí)內(nèi)部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統(tǒng)組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機(jī)械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單

一、 技術(shù)參數(shù)：

式樣：SDE60N20

MAX排氣速度（L/min）：100000

達(dá)到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V，380-480V

消費(fèi)電力（KW）：3.7KW

外型尺寸WHL [mm]：515×950×1080

二、 配置清單：

設(shè)備原產(chǎn)地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設(shè)備長期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節(jié)省空間。

3、采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）結(jié)構(gòu)，可以排出所吸取的水蒸氣。

4、若只抽取空氣與氮?dú)獾那闆r下，只需三年維護(hù)一次，延長了設(shè)備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。

北京SDL12E50干式真空泵中國授權(quán)代理商干式真空泵的系列有：多級(jí)羅茨干式真空泵、渦旋干式真空泵、螺桿干式真空泵、爪式干式真空泵等。

       評(píng)價(jià)爆裂有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆裂！泵內(nèi)既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質(zhì)。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個(gè)軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機(jī)，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。

干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個(gè)方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛猓瑒t用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

樫山工業(yè)Neodry36E小型風(fēng)冷干式真空泵成為等離子清洗機(jī)制造商的新寵。

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單

一、 技術(shù)參數(shù)：

式樣：MU1218X

MAX排氣速度（L/min）：20000

達(dá)到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V

消費(fèi)電力（KW）：O.9KW

外型尺寸WHL [mm]：870×380×751

質(zhì)量【kg】：270kg

二、 配置清單：

設(shè)備原產(chǎn)地：日本

干式真空泵多種系列供您選擇。成都NEODRY 30E干式真空泵銷售電話

       無油干式真空泵有著空前的節(jié)能與環(huán)保優(yōu)勢，更表未來泵業(yè)發(fā)展的一種趨勢，而眾多的干式無油真空泵有著不同真空參數(shù)和不同的功能區(qū)別，如何根據(jù)自身工藝特點(diǎn)選擇那種干式無油真空泵的型號(hào)，就首先了解各種不同類型干式無油真空泵的選型知識(shí)。這樣做出的選擇才能夠盡可能采購到理想的真空泵和降低采購成本，從而獲得一個(gè)穩(wěn)定的真空需求。給企業(yè)的未來帶來很高的經(jīng)濟(jì)效益。無油干式真空泵的用戶大部分是由原先的油封真空泵、水環(huán)真空泵用戶轉(zhuǎn)換而來。那為什么越來越多的企業(yè)客戶要放棄原先的油封真空泵或水環(huán)真空泵，而選擇干式無油真空泵呢？成都NEODRY 30E干式真空泵銷售電話

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應(yīng)國內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個(gè)行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時(shí)，結(jié)合行業(yè)和市場需求，加強(qiáng)和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流，努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員，依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù)，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括：等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時(shí)，公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn)，以客戶需求為導(dǎo)向，不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力，不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進(jìn)步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。