DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

■特點(diǎn)：

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。

■安全性：

● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測、氮?dú)饬髁繖z測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。

浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫?zé)o氧烘箱。天津高溫?zé)o氧烘箱產(chǎn)生故障

烘干設(shè)備介紹

一、人性化的箱體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

1、單開門結(jié)構(gòu)，取放物料方便。

2、高質(zhì)量不銹鋼內(nèi)膽，使用安全。鋼板外體，造型大方、新穎。

3、耐高溫風(fēng)機(jī)和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，保證室內(nèi)溫度均勻性。

4、體積小，重量輕，利用率高，方便放置實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線的任何位置。

5、玻璃門可視窗，可隨時(shí)觀察箱內(nèi)產(chǎn)品烘烤情況。

二、控溫精確，電氣合理安全

1、智能PID溫控器控溫，控溫精確。

2、電氣控制元器件均采用國內(nèi)**品牌。

3、電氣線路設(shè)計(jì)新穎，合理布線，安全可靠。

4、箱體頂部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。 浙江雅瑪拓高溫?zé)o氧烘箱高溫?zé)o氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，用戶的信賴之選，歡迎您的來電！

氣氛爐抽真空效果不佳解決辦法

一、檢查氣氛爐自身的密封性

      檢查一下爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，熱電偶，輻射管，推拉料機(jī)等處的密封性是否正常；

二、檢查氣氛爐真空泵

      真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時(shí)必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)溶劑時(shí)，有機(jī)溶劑會(huì)被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會(huì)腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會(huì)使油成乳濁液而抽壞真空泵。

無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱的比較

      無氧烘箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。

一、無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在結(jié)構(gòu)上的區(qū)別

      無氧烘箱會(huì)對內(nèi)箱進(jìn)行滿焊，同時(shí)做密封處理，這樣充入的惰性氣體就不會(huì)泄露，同時(shí)保證了內(nèi)部的無氧環(huán)境。而普通烘箱內(nèi)箱雖然也是滿焊，但是沒有做密封處理。

二、無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在控制系統(tǒng)上的區(qū)別

      無氧烘箱需要增加氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)，同時(shí)需要有延時(shí)加熱功能，就是說在加熱之前進(jìn)行延時(shí)充氮，以此來保證加熱時(shí)箱內(nèi)已經(jīng)形成無氧環(huán)境，避免高溫氧化。當(dāng)然，一些其他的控制技術(shù)包括雙流量充氮省能源控制等方式也被許多用戶采納，即雙流量+延時(shí)加熱，大流量氮?dú)獬淙?，延時(shí)加熱，當(dāng)箱內(nèi)充滿氮?dú)夂?，自?dòng)切換為小流量以此節(jié)省氮?dú)狻?而普通烘箱則沒有這些功能。 浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司，有想法可以來我司咨詢！

C1-008 潔凈厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。

●程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

●全不銹鋼材質(zhì)。

●在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓?、氮?dú)饬髁慨惓?、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍：室溫+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時(shí)間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時(shí)間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

潔凈度：100級

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫室溫+50～500℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍：室溫+50～500℃

溫度分布精度：±8.0℃（a500℃）

溫度上升時(shí)間：90min（室溫→500℃）

溫度下降時(shí)間：120min（500℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

潔凈度：100級

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

浚和(上海)儀器有限公司高溫?zé)o氧烘箱值得用戶放心。廣東高溫?zé)o氧烘箱DNN430C

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C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

●用途：電子元器件高溫處理工藝。

●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

●在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ?/span>

●常、氮?dú)饬髁慨惓?、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時(shí)間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時(shí)間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能：定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫+50～600℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：室溫+50～600℃

溫度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

溫度上升時(shí)間：90min（室溫→600℃）

溫度下降時(shí)間：120min（600℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能：定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

天津高溫?zé)o氧烘箱產(chǎn)生故障

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應(yīng)國內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個(gè)行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時(shí)，結(jié)合行業(yè)和市場需求，加強(qiáng)和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流，努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員，依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù)，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括：等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時(shí)，公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn)，以客戶需求為導(dǎo)向，不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力，不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進(jìn)步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。