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1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨(dú)特的性質(zhì)。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。
2. 利用DLC來(lái)制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。
3. 甲烷濃度對(duì)DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢(shì)。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時(shí),薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見(jiàn)光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見(jiàn)光區(qū)的多波段增透效果。 類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結(jié)合強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)?;窗卜冷PDLC產(chǎn)品介紹
類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料,它具有較高的硬度,良好的熱傳導(dǎo)率,極低的摩擦系數(shù),優(yōu)異的電絕緣性能,高的化學(xué)穩(wěn)定性及紅外透光性能.類金剛石涂層作為質(zhì)量硬質(zhì)涂層的材料,在不同領(lǐng)域展現(xiàn)了適合的應(yīng)用前景,國(guó)內(nèi)外對(duì)它的研究一直是熱點(diǎn)問(wèn)題,然而由于涂層過(guò)程和摩擦磨損過(guò)程影響因素眾多,對(duì)于涂層疲勞磨損作用機(jī)理和失效機(jī)理的研究目前還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠.本文以等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法在45鋼基體表面上噴涂類金剛石涂層,與45淬火鋼組成圓盤(pán)滾滑摩擦副,在M-2000型磨損試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行了全接觸,水平往復(fù)運(yùn)動(dòng),垂直運(yùn)動(dòng)三種不同工況下的疲勞磨損試驗(yàn)研究,并根據(jù)試驗(yàn)數(shù)據(jù)和現(xiàn)象對(duì)不同工況下類金剛石涂層的摩擦磨損性能和疲勞磨損機(jī)理進(jìn)行了系統(tǒng)而細(xì)致的研究.
無(wú)錫鍍黑DLC聯(lián)系人DLC涂層在模具上的應(yīng)用,半導(dǎo)體模具:引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。
1.類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)是一類含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp3雜化鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質(zhì),具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性,但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導(dǎo)致的內(nèi)應(yīng)力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學(xué)行為敏感等問(wèn)題,明顯限制了其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
2. 類金剛石薄膜的幾種常見(jiàn)制備方法如下:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過(guò)濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。
耐腐蝕性純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續(xù)性所致。
表面狀態(tài)DLC膜表面一般較光潔,對(duì)基材的表面光潔度沒(méi)有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會(huì)下降。不同的沉積方法所得到的DLC膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術(shù)沉積的DLC膜表面質(zhì)量明顯優(yōu)于電弧離子鍍。DLC膜具有很好的抗粘結(jié)性,特別是對(duì)有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對(duì)塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結(jié)性。? 國(guó)外采用DLC,提高了模具的壽命和盤(pán)片的質(zhì)量。硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等。
按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無(wú)氫DLC涂層分別采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和電弧離子鍍沉積。
對(duì)含氫DLC、無(wú)氫DLC和Teflon涂層的結(jié)構(gòu)、成分和表面形貌進(jìn)行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結(jié)構(gòu)、元素組成,而不同成分、結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)涂層的表面性能造成不同的影響,因此對(duì)三種涂層的結(jié)構(gòu)、成分進(jìn)行表征,為涂層表面性能的改進(jìn)提供理論依據(jù)。結(jié)果表明,兩種DLC涂層粗糙度均小于Teflon涂層的粗糙度,三種涂層結(jié)構(gòu)均勻致密,無(wú)明顯沉積裂紋產(chǎn)生。
對(duì)含氫DLC、無(wú)氫DLC和Teflon涂層的表面性能進(jìn)行測(cè)量與比較。對(duì)三種涂層的疏水性、納米硬度、彈性模量和結(jié)合強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量,分析三種涂層性能的優(yōu)劣并對(duì)DLC涂層在輪胎模具上的應(yīng)用性進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果表明,DLC涂層在粗糙度較小的情下,疏水性能低于Teflon涂層。但增加DLC涂層的粗糙度,疏水性能也較為增加,當(dāng)涂層粗糙度為754nm時(shí)水接觸角達(dá)到比較大96o。無(wú)氫DLC、含氫DLC涂層硬度、結(jié)合強(qiáng)度均大于Teflon涂層。通過(guò)對(duì)DLC、Teflon涂層結(jié)構(gòu)、成分、表面形貌和主要表面性能的對(duì)比研究可以得出:DLC涂層疏水性、硬度、結(jié)合強(qiáng)度均可滿足輪胎模具的使用要求,DLC涂層可以應(yīng)用于輪胎模具。 16. 氮化鈦鍍膜工藝一般應(yīng)用于全磨制成型的刀具,由于磨制刀具的表面光潔度高,結(jié)合力強(qiáng),可提高刀具壽命。蘇州納米DLC
8. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進(jìn)行污水處理時(shí),具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果?;窗卜冷PDLC產(chǎn)品介紹
1. 由于含有金剛石成分,DLC具有很多優(yōu)良的特性:高硬度-60GPa或Hv4800以上;低摩擦系數(shù)0.02;極好的膜層致密性;良好的化學(xué)穩(wěn)定性以及良好的光學(xué)性能等。應(yīng)用于模具上的DLC涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過(guò)其它硬質(zhì)涂層。涂以DLC的沖壓模具主要應(yīng)用包括:石墨切削,各種有色金屬(如鋁合金,銅合金等)切削,非金屬硬質(zhì)材料(如亞克力,玻璃纖維,PCB材料)切削等。
1. 類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無(wú)氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類 。無(wú)氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedral carbon,簡(jiǎn)稱ta-C)(主要由超過(guò)80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer—like carbon,簡(jiǎn)稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時(shí)還結(jié)合一定數(shù)量的氫。類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過(guò)相同簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)單元通過(guò)共價(jià)鍵重復(fù)連接而成的化合物。這種類金剛石薄膜因?yàn)閟p2鍵占據(jù)了主要數(shù)量,所以比較軟,又不具備石墨的特性,使得它的用途受到了限制,在摩擦學(xué)的應(yīng)用上還處在起步階段。 淮安防銹DLC產(chǎn)品介紹
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