氟化氫氣體易溶于水,其水溶液稱(chēng)為氫氟酸。市售商品常為氟化氫氣體35%-50%的水溶液,較高濃度可達(dá)75%,為無(wú)色澄清的發(fā)煙液體。有刺激性氣味,易揮發(fā),在空氣中發(fā)白煙。屬中等強(qiáng)度的無(wú)機(jī)酸,腐蝕性極強(qiáng),能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。也能與金屬、金屬氧化物及氫氧化物作用生成各種鹽類(lèi),但作用不及鹽酸那樣劇烈。金、鉑、鉛、石蠟及某些塑料等與它不起作用,故可制作容器。氟化氫氣體很易聚合,形成(HF)2(HF)3···等鏈形分子,在液態(tài)時(shí),聚合度增大。需貯存于鉛制、蠟制或塑料制的容器中。有劇毒,皮膚觸及則潰爛。在使用氫氟酸時(shí),必須對(duì)周?chē)h(huán)境進(jìn)行檢查和監(jiān)控。河北氫氟酸批發(fā)
氟化氫是一種無(wú)機(jī)酸,化學(xué)式為HF,熔點(diǎn)-83.37℃、沸點(diǎn)19.51℃,氣體密度0.922 kg/m3(標(biāo)態(tài)下),相對(duì)分子量20.008。在常態(tài)下是一種無(wú)色、有刺激性氣味的有毒氣體,具有非常強(qiáng)的吸濕性,接觸空氣即產(chǎn)生白色煙霧,易溶于水,可與水無(wú)限互溶形成氫氟酸。氟化氫是無(wú)色有刺激性氣味的氣體,氟化氫及其水溶液均有毒性,容易使骨骼、牙齒畸形,氫氟酸可以透過(guò)皮膚被黏膜、呼吸道及腸胃道吸收,中毒后應(yīng)立即應(yīng)急處理,并送至就醫(yī)。是一種極強(qiáng)的腐蝕劑,有劇毒。它是無(wú)色的氣體,在空氣中,只要超過(guò)3ppm就會(huì)產(chǎn)生刺激的味道。氫氟酸是氟化氫的水溶液,可以透過(guò)皮膚黏膜、呼吸道及腸胃道吸收。若不慎暴露于氫氟酸,應(yīng)立即用大量清水沖洗20至30分鐘,然后以葡萄酸鈣軟膏或藥水涂抹;若不小心誤飲,則要立即喝下大量的高鈣牛奶,然后緊急送醫(yī)處理。青島電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)公司氫氟酸可引起刺激、灼傷、呼吸困難、低血壓等癥狀。
氟化氫鋼瓶貯存于陰涼、通風(fēng)、室內(nèi)溫度不超過(guò)40℃的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)。嚴(yán)禁煙火,遠(yuǎn)離火種、熱源,防止陽(yáng)光直射和雨淋;氣瓶應(yīng)載有安全保護(hù)帽,直立存放并固定。倉(cāng)庫(kù)內(nèi)設(shè)置泄漏檢測(cè)報(bào)警裝置,備有止漏及緊急處理裝置(如自動(dòng)噴淋裝置等),定期檢查,做好記錄。在有氧存在時(shí),銅很快被HF腐蝕,但無(wú)氧化劑時(shí),則不會(huì)反應(yīng);某些合金如蒙乃爾合金對(duì)HF有很好的抗腐蝕性,但不銹鋼的抗腐蝕性很差,在溫度不太高時(shí),碳鋼也具有足夠的耐蝕能力。氟化氫不可燃,但與一些物質(zhì)(如鈉、氧化鈣、硝酸甲酯、氯酸鈉等)混合接觸時(shí)有危險(xiǎn)性在電子工業(yè)中,無(wú)水氟化氫用于電解合成三氟化氮的原料,半導(dǎo)體制造工藝中的刻蝕劑等。
即使我國(guó)克服了所有困難生產(chǎn)出符合要求的高純氟化氫,想替代日本公司也是很難的,因?yàn)樾酒a(chǎn)企業(yè)需要重新調(diào)試生產(chǎn)工藝,以便測(cè)試新原料對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的影響。據(jù)估算調(diào)試工藝的時(shí)限大概是兩個(gè)月的時(shí)間。一般的芯片企業(yè)不被逼到一定程度,不會(huì)下定決心更換原料的。半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中所要用到的氫氟酸并不是普通的氫氟酸,而是超高精純的電子級(jí)氫氟酸。由于普通工業(yè)級(jí)氫氟酸含有大量雜質(zhì),倘若用來(lái)生產(chǎn)半導(dǎo)體,基本上只能生產(chǎn)出廢品來(lái)。因?yàn)樾酒a(chǎn)容不得過(guò)多的雜質(zhì),普通工業(yè)級(jí)氫氟酸含有的雜質(zhì)對(duì)芯片生產(chǎn)影響十分大。那么問(wèn)題來(lái)了,半導(dǎo)體生產(chǎn)中所需的高純氟化氫要求多純呢?據(jù)了解,日本生產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.9%,這個(gè)純度的高純氟化氫,在目前較先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工藝中都能夠完全適配,這也是韓國(guó)極度依賴(lài)從日本進(jìn)口高純氟化氫的重要原因了。氫氟酸的毒性與濃度和暴露時(shí)間有關(guān)。
電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)工藝技術(shù)特征:1. 雜質(zhì)砷是電子級(jí)氫氟酸中需要控制的一種重要雜質(zhì)指標(biāo),在氫氟酸原料中砷一般以三價(jià)態(tài)形式存在,而且AsF3與氫氟酸的沸點(diǎn)相差不大,所以只靠精餾對(duì)其分離的效果不會(huì)十分理想。為去除雜質(zhì)砷,可在精餾前,加入適量的強(qiáng)氧化劑(如高錳酸鉀等)將三價(jià)態(tài)的砷進(jìn)行氧化,使其在精餾過(guò)程中沉積于塔釜中而被除去。2. 生產(chǎn)設(shè)備與工藝:生產(chǎn)設(shè)備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料,生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化,采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。3. 高純水制備:通過(guò)離子交換與過(guò)濾器先制得普通純水,再經(jīng)過(guò)反滲透、電滲析后進(jìn)入殺細(xì)菌、超微過(guò)濾制得高純水。4. 在無(wú)水氫氟酸預(yù)處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設(shè)置HF有毒氣體濃度探測(cè)、集中報(bào)警系統(tǒng)。氫氟酸不應(yīng)該與硝酸、過(guò)氧化氫等化學(xué)物質(zhì)混合。江蘇純氫氟酸哪里有
在進(jìn)行氫氟酸處理時(shí),必須對(duì)廢水和廢液進(jìn)行密閉和妥善處理。河北氫氟酸批發(fā)
氫氟酸是氟化氫的水溶液,無(wú)色透明,有強(qiáng)烈刺激性氣味,并有強(qiáng)烈腐蝕性,能迅速腐蝕玻璃和含硅材料。用 途:作為腐蝕劑和化工原料普遍應(yīng)用于化工、電子、冶金、玻璃、搪瓷、礦山、采油以及原子能工業(yè)。氫氟酸是氟化氫的水溶液,無(wú)色透明,有強(qiáng)烈刺激性氣味,并有強(qiáng)烈腐蝕性,能迅速腐蝕玻璃和含硅材料。用 途:作為腐蝕劑和化工原料普遍應(yīng)用于化工、電子、冶金、玻璃、搪瓷、礦山、采油以及原子能工業(yè)。具有極強(qiáng)的腐蝕性,能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。如吸入蒸氣或接觸皮膚會(huì)造成難以防治的灼傷。實(shí)驗(yàn)室一般用螢石(主要成分為氟化鈣)和濃硫酸來(lái)制取,需要密封在塑料瓶中,并保存于陰涼處。河北氫氟酸批發(fā)
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