氟化氫是一種有毒氣體,溶于水形成氫氟酸。氫氟酸是一種弱酸,具有特殊腐蝕性,所謂特殊腐蝕性,是指它能腐蝕其他強酸所不能腐蝕的玻璃、單晶硅等半導(dǎo)體材料。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中有重要應(yīng)用。氫氟酸的生產(chǎn)并不困難,其主要原料是螢石,而我國螢石的探明儲量與南非并列世界一位,按說是具有得天獨厚優(yōu)勢的。但應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的氫氟酸可不是普通的氫氟酸,是超凈高純的電子級氫氟酸。普通工業(yè)級氫氟酸,洗個玻璃還行,用來洗半導(dǎo)體,基本上只能生產(chǎn)出廢品來。因為普通工業(yè)級氫氟酸,含有大量雜質(zhì),這些雜質(zhì)對芯片生產(chǎn)是致命的。使用氫氟酸應(yīng)當(dāng)使用質(zhì)量可靠的試劑和設(shè)備。廣東40%氫氟酸生產(chǎn)廠商
氫氟酸座為氟化工行業(yè)的關(guān)鍵中間體,其中制冷劑等約占比50%左右,2019年起,下游制冷劑需求持續(xù)疲弱,有部分新增氫氟酸產(chǎn)能投產(chǎn),供過于求下氫氟酸價格呈現(xiàn)出單邊下滑的態(tài)勢,期間價格只受制冷劑行情的季節(jié)性變化和偶爾開工受限影響小幅波動。2021以來,受全球整體螢石供給下降影響,整體價格小幅度下降,隨著國外逐步企業(yè)復(fù)工,供需恢復(fù),整體價格回到每噸11500元左右。就我國氫氟酸進(jìn)出口狀況而言,目前我國氫氟酸主要以出口為主,2021年出口金額穩(wěn)定在4億元左右,主要出口地為日本、韓國和中國臺灣等地,就進(jìn)口情況而言,隨著優(yōu)越氫氟酸整體(電子級氫氟酸)需求持續(xù)增長,進(jìn)口量持續(xù)增長,2021年我國電子級氫氟酸進(jìn)口金額為0.4746億美元,占比總進(jìn)口金額的99.3%以上,主要進(jìn)口來源為韓國、日本等。重慶電子級氫氟酸制造廠在使用氫氟酸時必須使用一定質(zhì)量的防護(hù)設(shè)備。
電子級氫氟酸生產(chǎn)方法的難點:1. 分析控制與產(chǎn)品檢測要求高。制備電子級氫氟酸所應(yīng)用的測試儀器如下: (1)電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀( ICP - MS);(2)電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀( ICP - AES);(3)原子吸收分光光度計;(4)氧原子發(fā)生無焰原子吸收分析儀;(5)離子色譜分析儀;(6)激光散射液體微粒計數(shù)器;(7)水表面雜質(zhì)分析系統(tǒng);(8)原子間力顯微鏡;(9)光學(xué)顯微鏡微粒計數(shù)器;(10)掃描電子顯微鏡;(11)光學(xué)膜厚測定和表面仿形儀;(12)表面張力測定儀;(13) 空氣中塵埃微粒測定儀;(14)水電阻率測定儀。2. 對水質(zhì)要求高,要求水的電阻率≥18.0MΩ·cm。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見是先通過離子交換柱和微過濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過濾便可得到高純水。
生產(chǎn)氫氟酸有采用螢石及磷礦石兩種原料路線。而以螢石為原料的硫酸法是工業(yè)上普遍采用的方法。將干燥后的螢石粉和硫酸按配比1:(1.2-1.3)混合,經(jīng)高溫分解、粗餾、精餾及水吸收而制得氫氟酸。[安全與防護(hù)]氫氟酸屬一級無機酸性腐蝕物品,危規(guī)編號:91035。用聚乙烯塑料桶或四氟乙烯塑料桶包裝。每桶凈重20kg或25kg。量少可用塑料瓶盛裝,每瓶0.5kg包裝,包裝上應(yīng)有“劇毒的物品“或“腐燭性物品“標(biāo)志。不可與氧化劑,有機物、易燃物、堿、金屬粉等共貯混運。失火時可用黃砂、二氧化碳滅火器撲教,禁用柱狀水撲救。氫氟酸腐蝕性極強,蒸氣極毒,較高容許濃度為1mg/m3。皮膚誤觸時、應(yīng)立即用大量清水沖洗,或立即用3%堿液,10%碳酸銨溶液沖洗。嚴(yán)重時應(yīng)送醫(yī)院防治。氫氟酸一般可溶于水和乙醇。
即使我國克服了所有困難生產(chǎn)出符合要求的高純氟化氫,想替代日本公司也是很難的,因為芯片生產(chǎn)企業(yè)需要重新調(diào)試生產(chǎn)工藝,以便測試新原料對產(chǎn)品生產(chǎn)的影響。據(jù)估算調(diào)試工藝的時限大概是兩個月的時間。一般的芯片企業(yè)不被逼到一定程度,不會下定決心更換原料的。半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所要用到的氫氟酸并不是普通的氫氟酸,而是超高精純的電子級氫氟酸。由于普通工業(yè)級氫氟酸含有大量雜質(zhì),倘若用來生產(chǎn)半導(dǎo)體,基本上只能生產(chǎn)出廢品來。因為芯片生產(chǎn)容不得過多的雜質(zhì),普通工業(yè)級氫氟酸含有的雜質(zhì)對芯片生產(chǎn)影響十分大。那么問題來了,半導(dǎo)體生產(chǎn)中所需的高純氟化氫要求多純呢?據(jù)了解,日本生產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.9%,這個純度的高純氟化氫,在目前較先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工藝中都能夠完全適配,這也是韓國極度依賴從日本進(jìn)口高純氟化氫的重要原因了。廢氫氟酸必須依照法律和規(guī)定妥善處理。山東40%氫氟酸多少錢
在使用氫氟酸時必須格外小心和謹(jǐn)慎。廣東40%氫氟酸生產(chǎn)廠商
通過相關(guān)資料了解到,國內(nèi)外相關(guān)產(chǎn)品各標(biāo)準(zhǔn)在相同項目的測定方法基本是一致的。如氫氟酸含量采用以酚酞為指示劑,以氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液為滴定劑的酸堿中和滴定法;氟硅酸含量的測定采用在鉀鹽存在下使其生成氟硅酸鹽后分離,沉淀溶解后用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定。對于低含量的氟硅酸的測定,一般采用硅鉬藍(lán)分光光度法進(jìn)行測定;硫酸含量的測定是將氫氟酸分離后,用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定。日本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的灼燒殘渣含量的測定為700℃下灼燒后穩(wěn)重的方法。相關(guān)資料了解,日本標(biāo)準(zhǔn)JIS K1405-1995《氫氟酸》相對于其它國外標(biāo)準(zhǔn),技術(shù)要求、指標(biāo)項目、試驗方法等方面均處于先進(jìn)水平。但由于日本標(biāo)準(zhǔn)主要是針對本國的生產(chǎn)、使用要求而制定的,與我國對氫氟酸的要求存在一定的差異。但對我國標(biāo)準(zhǔn)有借鑒作用。廣東40%氫氟酸生產(chǎn)廠商
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